Способ приготовления объекта для определения разрешающей способности электронного микроскопа
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П И С А Н И Е (и) 458 О 59ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Саветскик Социалистических РеспчблииГосударственный комитет овета Министров СССР(54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ОБЪЕКТА ЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОС ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПАя к электроннои микь использовано для для проверки разреэлектронного микроия объ- особноа опор- ополнина нее енку 3,Предл екта для сти вып ную мет тельную монтиру агаемыи способ приготовлен определения разрешающей с лняют следующим образом. аллическую сетку 1 наносят металлическую микросетку 2 ют дырчатую коллодиевую п Изобретение относитсроскопии и может бытприготовления объектовшающей способностископа. 5Известны способы приготовления объектов для определения разрешающей способности, при осуществлении которых на опорную металлическую сетку наносят сплошную угле- родную пленку, на которую в свою очередь 10 наносят слой металла.Однако эти способы не позволяют использовать пленки толщиной до 50 А, необходимые для определения высоких разрешений, и не дают возможности получать объекты, по кото рым можно проверять астигматизм и разрешающую способность прибора без смены объекта. Это приводит к необходимости смены объекта в процессе определения разрешающей способности. 20Цель изобретения - улучшить отвод тепла и электрического заряда от объекта (толщиной порядка 50 Л), устранить необходимость смены объекта в процессе определения разрешающей способности. 25Это достигается тем, что на опорную металлическую сетку наносят дополнительную металлическую микросетку, на нее наносят дырчатую коллодиевую пленку, на которую напыляют углерод и металл (сплавы золото 2палладий, платина-палладий или чистые платина, иридий). Коллодиевую дырчатую пленку затем растворяют, а получившаяся на ней углеродная дырчатая пленка с напыленными частицами металла оседает на сетку.На чертеже изображен объект для определения разрешающей способности до момента растворения дырчатой коллодиевой пленки. На чертеже показаны опорная металлическая сетка 1, предназначенная для укрепления на ней исследуемого объекта, дополнительная металлическая микросетка 2, предназначенная для разделения окна опорной сетки 1 на более мелкие ячейки; коллодиевая дырчатая пленка 3, которая служит основой для получения дырчатой углеродной пленки, 4 - дырчатая углеродная пленка, предназначенная для проверки астигматизма прибора при определении разрешающей способности и служащая подложкой для напыленных благородных металлов; частицы металла 5, предназначенные для определения разрешающей способности прибора.458059 Составитель Б. Калинактор О. Степина Техред Т. Миронова Корректоры; А. Николаеви Л, Корого ПодписСССР Изд.330И Государственного ком по делам изобрет Москва, Ж, Рау Тираж 833тета Совета Министий и открытийская наб., д. 4/5 551/13 ЦСапунова,ипография затем напыляют углеродную пленку 4 нужной толщины и частицы металла 5.В полученном таким образом объекте растворяют, например в амилацетате, коллодиевую дырчатую пленку 3, а дырчатая углеродная пленка 4 с напыленными частицами металла 5 оседает на дополнительную металлическую микросетку 2.Таким образом, нанесение на опорную металлическую сетку 1 дополнительной металлической микросетки 2 позволяет улучшить отвод тепла и электрического заряда от исследуемого объекта (4 и 5) и обеспечивает возможность работы с тонкой углеродной пленкой, а нанесение в качестве основы дырчатой коллодиевой пленки 3 обеспечивает получение дырчатой углеродной пленки 4 нужной толщины, которая служит для проверки астигматизма прибора и является подложкой для напыления частиц металла, по которым определяется разрешающая способность электронного микроскопа, Использование дырчатой углеродной пленки 4 позволяет выполнять операции по проверке астигматизма и определению разрешающей способности электронного микроскопа на одном объекте.5Предмет изобретенияСпособ приготовления объекта для определения разрешающей способности электронного микроскопа, состоящий в приготовлении угле родной подложки на опорной металлическойсетке и нанесении на эту подложку частиц металла, отличающийся тем, что, с целью улучшения отвода тепла и электрического заряда от объекта при его толщине до 50 Л и 15 устранения операции смены объекта в процессе юстировки микроскопа, на опорную металлическую сетку наносят дополнительную металлическую микросетку, на которую наносят дырчатую коллодиевую пленку и на нее 20 напыляют сначала углеродную пленку, а затем частицы металла, после чего коллодиевую пленку растворяют.
СмотретьЗаявка
1893014, 09.03.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2613
ВЛАСЕНКО НАДЕЖДА АЛЕКСАНДРОВНА, ВЕРЕЩАГИН ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ГУРИНА ВАЛЕНТИНА ПАВЛОВНА, КОЛОМИЕЦ ВАЛЕНТИНА ГРИГОРЬЕВНА, ЛЮТЕНКО МИХАИЛ ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01N 1/36, H01J 37/26
Метки: микроскопа, объекта, приготовления, разрешающей, способности, электронного
Опубликовано: 25.01.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-458059-sposob-prigotovleniya-obekta-dlya-opredeleniya-razreshayushhejj-sposobnosti-ehlektronnogo-mikroskopa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ приготовления объекта для определения разрешающей способности электронного микроскопа</a>
Предыдущий патент: Способ сканирования светового луча
Следующий патент: Способ получения многослойных защитных покрытий
Случайный патент: Устройство для блокировки дифференциальной защиты трансформатора при периодическом броске намагничивающего тока