Способ изготовления проводящего покрытия

Номер патента: 443120

Автор: Кищенко

ZIP архив

Текст

й1ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТРРСИРМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(51) л 4 Кл. С 23 с 17/О НО 5 В 3/ОО Гааударатненный намнтет Сената йнннстроа СССР нн делам юобретеннй н аткрытнй(71) Заявитель 1Изобретение отнОсится к области изготовления проводниковых элементов схем на керамических подложках, применяемых в микроэлектронике.5Известен способ получения медного покрытия на диэлектрике путем нанесения на его поверхность пасты на основе меди с последующим вжиганием ее на воздухе при тевпера- то туре 1190-125 ооС и в водороде при тевпературе 1 ОООоС и выше. недостатком предложенного технологического процесса является низкий класс чистоты поверхности покрытия )5 (чр 5 - рь)С целью повышения класса чистоты поверхности проводящего покрытия на диэлектрической подложке вжигание пасты на воздухе произво- "о дят при тевпературе 1000-1050 оС, а после вжигания ее в водороде поверхностный слой покрытия снимают до основания подложки.Пример реализаций предла мого способа.На подложку из алюмооксидной керамики наносится паста на основе окиси меди методом сеткографии, Вжигание пасты осуществляется сначала на воздухе при температуре 1000-1050 оС, а затем вт водороде при тевпературе 1030 - 20 оС. После вжигания пасты в водороде покрытие снивают до основания подложки. При атом поверхность подложки, пропитанная медью, повторяет класс чистоты поверхности подложки (Р 8 -- РЭ) е является электропроводной и может в дальнейшем покрываться другими металлами гальваническим методом без изменения класса чистоты поверхности.В качестве материала подложки можно применить стеатитовую или форстеритовую керамику, в качестве матерюла пасты - закись меди.ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯСпособ изготовления проводягае 4) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИ443120 Составитель ЯФЕтИООВЭРедактор Я ЦВеткбватехред КФЕти 0038 вэд. а 1 ф Ьаказ ДР тираж Й 5 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений ы открцтнй Москва, 113035, Рауаскаи ыаб., 4 к Предприятие сПатент, Москва, Г.69; Бережковская иаб., 24 щего покрытия на диэлектрическойподложке с использованием пасты наоснове меди, основанный на нанесении пасты на нодложкуа предварительном вжигании ее на воздухе и окончательном - в водороде, отличающий 4ся тем, что, с целью повышения чис тоты поверхйости покрытия, вжигание пасты на воздухе производят при теюературе 1000-1050 оС, а по сле вжигания пасты в водороде поверхностный слой покрытия снимают до основания подложки,

Смотреть

Заявка

1835682, 10.10.1972

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1998

КИЩЕНКО МАРИЯ СЕРГЕЕВНА

МПК / Метки

МПК: C23C 17/00

Метки: покрытия, проводящего

Опубликовано: 15.09.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-443120-sposob-izgotovleniya-provodyashhego-pokrytiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления проводящего покрытия</a>

Похожие патенты