Способ осаждения металлов и сплавов

Номер патента: 443119

Авторы: Кусаев, Николаев, Сидоров

ZIP архив

Текст

АНИЕ оюз Советскиоциадистическ Республик ЗОБРЕТЕН И Ва ОР СКОМУ СВИДИЮЛЬСТВ 61) Зависим 22) Заявленс присое етельств т авт(51) М 11 0 дарстаеннын наинтетата Мнннстраа СССРделам нэобретеннйн аткрытнй) Авторы изобретения ов твердого тела АН СССР 71) Заявител ститут фи(5) СП ОСАЖДЕНИЯ МЕТА И СПЛАВОВ олщин Опубликовано 15,09.7 а. Б (45). Дата опубликования Изобретение относится к области получения металлов и сплавов, в частности к осаждению металлов и сплавов на подложке за счет химического восстановления летучих со единений атих металлов водородом.Известен способ осаждения ме- таллов и сплавов путем восстановления летучих соединений этих металлов водородом посредством пода о чи водорода и паров летучего соединения по одну сторону подложки, на поверхности которой происходит осаждение металла или сплава.15Предлагаемый способ отличается от известного раздельной подачей водорода и паров летучего соедине-. ния с противоположных сторон подложки, на одной из сторон которой 20 вследствие диффузии водорода через подложку происходит восстановление летучего соединения и осаждение металла или сплава, Это позволяет повысить равномерность осадков по 25 т е и снизить содержание примесей.Процесс осаждения осуществляют следующим образом.Водород, являющййся восстановителем, подают под давлением с одной стороны покрываемой поверхности, которая должна быть выполнена из материала, обеспечивающего относителЬно высокую скорость диффузии водорода, а летучее соединение наносимого металла - с другой стороны. Оба пространства герметизируют, и весь объем нагревают до температуры восстановления летучего соединены. Перенос паров летучего соединения к покрываемой поверхности и отвод газообразных продуктов реакции производят инертным газом. За счет диффузии водорода через йодложку на ее противоположной поверхности осаждается металл или сплав.Для ускорения пропесса его проводят при ваксшально. высоких теьпературах, обеспечиваицих достаК ИеранР;," орИ,Корцеи 1;о оа,ед Н.Сенина к рре р Т.Добровольская Заказ,а 3орик Ч 1 одииевое 111 осударегвеииоо аомите 1 а Совпа Миииесроа СССР ио делам изобретений и огкрюий Моеква, 13035, ауииз 1 ав иаб., 4/б редириимиаеи, Ыоедва, 1 1. Ьрекковскаи иаб, 4 3 ИЗ точно высокие скорости диффузии водорода и воссиновленщя летучего соединения, а также при повышенном давлении водорода от 1 до 15 ати с постепенным повышением его по 5 мере роста толи 1 ины осаждаемого металла или сплава). Время процесса определяется требуемой толщиной металлического осадка. При получении чистых металлов или сплавов, а так о же изделий, подложка может быть затем удалена.предложенным способом получают компактные чистые металлы и различные сплавы, однослойные и многослой ные покрытйя, композиционные материалы и разнообразные изделия.П р и м е р 1. Для получения осадка чистого никеля в кварцевый реактор загружают никелевую труб- :2 о ку с толщиной стенки 0,1 мм и никелевую лодочку с предварительно обезвоженным хлоридом никеля марки "осч". Реактор продувают аргоном и затем внутрь никелевой трубки пода ют водород под давлением 1-3 ати При н грезе реактора до 950 ПООбс начинается диффузия водорода через стенку трубки и восстановление паЛ 9ров хлорида никеля до металла. Скорость осаждения никеля 7 г/час. Полученный на внешней стенке трубки осадок никеля имеет ровную гладкую поверхность. Суммарное содержание примесей посторонних металлов в осадке 210 вес.% (д исходном хлориде никеля7 10-" вес.%).П р и м е р 2. Для получения сплава никель-медь используют смесь обезвоженных хлорида никеля и одно- хлористой меди в весовом соотношении.2:1. При 900-970 оС формируется осадок сплава Никель-медь с содержанием меди 18. ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯСпособ осаждения металлов и сплавов путем восстановления летучих соединений этих металлов водородом на поверхности подложки, отличающийся тем, что, с целью йовышения равномерйости осадков по толщине и снижения содержания примесей, водород и летучее соединение подают с противоположных сторон покрываемой поверхности.

Смотреть

Заявка

1822072, 14.08.1972

ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА АКАДЕМИИ НАУК СССР

КУСАЕВ ЮРИЙ ИЛЬИЧ, НИКОЛАЕВ РУДОЛЬФ КОНСТАНТИНОВИЧ, СИДОРОВ НИКОЛАЙ СЕРГЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: C23C 11/00

Метки: металлов, осаждения, сплавов

Опубликовано: 15.09.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-443119-sposob-osazhdeniya-metallov-i-splavov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ осаждения металлов и сплавов</a>

Похожие патенты