424254

Союз Советских Социалистических Республик(51) М.Кл. Н 011 9/02Н 011 1/30 Гос 1 сдарстеенный комитетСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий(088.8) Дата опубликования описания 07.01.75(72) Авторы ьсзобср етеьс ьс я Г. А. Кудинцева и В, П, Савченко(71) Заявитель Ордена Ленина физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИГОЛЬЧАТЫХ ЭМИТТЕРОВ Изобретение относится ск технике изготовлецспя острссссньсх автокатодов электролитцческим полированием. Эта техника является оновной прьс изготовлении одноострийных и мнсгоострийцых автокатодов из металлов ц металлоссодобссых соединений. Такие катоды применяются в вакуумных электронных приборах, диодах, триодах, рентгеновских трубкаьх сн электронных микроскопа.Известен способ изготовления острийного автокатода цз металлоспосдобного соединения путем электролитьсческого тразлеция образцов из 1.В 6 в спостояцно обновлясощейся (в потоке)00% иной серной кссслоте. Образец пресдставляет собой 15 штабьск квадратного сечения, сторона квадрата равна 0,2 лл, Положительный, потенциал в 60 В подается ца образец импульсами частотой в 1 - 10 Гч, длсстельность импульса варьируется от 0,1 до 1 сек. Катодом служит пла- ро типовая шайба с внутренним огверстием диаметром 0,5 мл, сквозь которое образец погружают в серную кислоту.Несмотря ца сложность установки и жесткий режим травления этот способ дал воз молсьсость получить острия с регулярной ловерхьсостьсо и радспусом закругления вершины в 1000 - 6000 А только из переплавленных электрической дугой образцов. Размеры отдельных монокрпстальцых зерен в таких пере- ЗО плавленных ооразцах всегда в 2 - 4 раза превышали размеры кончика острцйцого автокатода.Для использования заготовок цз порошков оорпдов и упрогценпя техцолопш предлагается способ, по которому образец, напр;смер 1. Вбпспеременцо травят в растворах серноц и сртофосфсрносс кислот, Может быть использован 80 - 96% -ный раствор серной кислоты и 50 - 70% -ный раствор ортсфосфорцой кислоты. Поскольку поверхность образца, приготовленного спеканцем, неоднородна, скороссь травлесссся разлсс сссьсх ее хчастсов неодиссасова в одном электролите прсс люоом режиме травления. Поэтому предлагается вести трал- ление попеременно в нескольких электрол;стах. Свойства электролитов и режимы травлеьсця подобраны так, что они активно растворяют разные участки поверхности. Выступы ца поверхности, сбразусощссеся в одном эле- тролссте, легко удаляются в другом ц т. д. Это позволяет получать игольчатые автскатоды регулярной боковой поверхсностью, т. е. такой поверхностью, выступы ца которой настолько малы, что прц электрических полях достаточных для автоэм:сссцц с острия, автоэмпссця с выступов ничтожна,Предлагаемый способ получения острпйцых424254 Составитель Г, ЖуковаТехред Е. Борисова Корректор А. Дзесова Редактор И, Шубина Изд,1518 Тираж 760 ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5Заказ 3668 Подписное Обл. тип. Костромского управления издательств, полиграфии и книжной торговли 3явтокатодов из спеченнык штаоиков 1 о Вв опробован в лабораторнык условияк.Образец 1.а Вс гпредставляет собой стерженек длиной 10 лж квадратного сечения; сторона квадрата равна 1 льн, Размер зерна,в образце 5 - 10 к,н.Травление ведется в 96%-ной Н,504 пр 1 комнатной температуре. На дне ванны расположен катод площадью в 5 см, При этом на анод образца подают напряжение постоянного тока 5 - 6 В. Электрическая цепь потенциометрическая. Время травления меняется от образцов к образцу, но редко превышает 10 .чин. Затем образец промывают в дистиллированной воде и переносят в ванну с 55 о/о.ным,раствором НзР 04. Размеры ванны н электрическая цепь те же. Напряжение на аноде постоянное и равно 2,5 В, Время травления 4 - 5,пин до полного сглаживания, Число ц:1 клов травления выбирают и зависимости от качества поверкно"т;1 образца и в некоторык случаяк оно,достигает десяти,Предлагаемый способ прост в осушествле нии и не требует специального оборудования,П,редмет изобретения 1. Сяособ:,1 зготовления эгольчатык эмитт.- ров из боридов лантаноидоз путем электроли тического травления заготовки в растворе серной кислоты, отличавгииися тем, что, с целью использования заготовок из порошков боридов и упрощения текнологии, заготовь травят поочередно в растворак серной :, орто фосфорной кислот.2. Способ по п. 1, отлиишои 1 ийся тем, чтоиспользуют 80 - 96%-ный раствор серной кислоты и 50 - 70 о/о-ный раствор ортофосфорной кислоты.