Способ получения легированных бором слоев

ZIP архив

Текст

(19) (111сии С 30 В 31/02 Й НОМИТЕТ СССР РЕТЕНИЙ И ОТНРЬ(ТИЙГОСУДАРСТВЕНПОДЕЛАМ И ПИСАН АВТОРСКОМ ОБРЕТЕН ЕТЕЛЬСТВУ 6782 8/23-26,7186. Бюл.кун, Ю.П(54) (57 НЫХ БОР кремния, о из газовой окучаеовскийаров ния бора, тем, что, опасности производим емых слоев Ю.В.Мосв, Н.П.Ба 592 ра испол лы ВС,Н имер, и(21) 16701 (22) 09.06 (46) 30.03 (72) А.В.Ба И.И;Лапидус И.М.Скворцо и Б,Г,Анохин (53) 621.3 ПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕТИРОВАНСЛОЕВ, например, двуокиси саждением их на подлозку фазы с добавкой соединет л и ч а ю щ и й с я с целью обеспечения безпроцесса и повьвпения восости параметров получав качестве соединения зуют карбонаты общей фор,и их производные, напропилкарборан В, С, Н.Техред И.Верес Корректор И.ЭрдейиПодписное Редактор Л.Письман Заказ 1627/4 Тираж 349 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная, 4 Известен способ получения легированных бором слоев, например, дву"окиси кремния, осаждением их на подложку из газовой фазы с добавкойсоединения бора,Концентрация легирующего вещества в окисле контролируется относительными концентрациями легирующеговещества и вещества, содержащего полупроводниковый материал, в частности кремния, в газовой фазе,Однако, известный способ связав ,с использованием взрывоопасного и. высокотоксичного диборана. Разбавление диборана аргоном приводит к нестабильности смеси во времени изза разложения диборана, что существенно влияет на воспроизводимость результатовЦель изобретения - обеспечение безопасности процесса и повышение воспроизводимости параметров получаемых слоев. 403241 3Для этого по предложенному способу в качестве соединения бора используют карбораны общей формулойВСН, и их производные, напримеризопрохнлкарборан ВС,Н,.Использование карборановых соединений в качестве легирукщих веществпозволяет повысить воспроизводимость процесса легирования слоев, 10 а также получать слои с низким содержанием бора, что затруднено прииспользовании других методов.П р и м е р. Для получения диффузионных слоев глубиной от 0,2-3 мкм1 З с поверхностной концентрацией от2 ф 10 -5 10 ат/смф используют изо.пропилкарборан СД В, жидкость с температрой кипения (при 760 мм рт.ст.)287 С, упругостью насыщенного пара ;р при 25 и 20 фС соответственно 10 фи10 мм рт.ст. В результате достигнута воспроизводимость результатов отпроцесса к процессу +33, разброс поподложке не превышает + 103.

Смотреть

Заявка

1670148, 09.06.1971

БАКУН А. В, ДОКУЧАЕВ Ю. П, ЛАПИДУС И. И, МОСКОВСКИЙ Ю. В, СКВОРЦОВ И. М, БАЗАРОВ Н. П, АНОХИН Б. Г

МПК / Метки

МПК: C30B 31/02

Метки: бором, легированных, слоев

Опубликовано: 30.03.1986

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-403241-sposob-polucheniya-legirovannykh-borom-sloev.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения легированных бором слоев</a>

Похожие патенты