Способ получения бездислокационных монокристаллов кремния

Номер патента: 396124

Авторы: Березенко, Блецкан, Мисюра

ZIP архив

Текст

32)3 с.3 Ос от двт. ОВ:)детеьства ЪЗ)5)В:)О 09.Х 11.19711726137/н)шсое;.)Нсц:с 3 351 Вк Ло --11 рцор)тст г. В О 1 17 18 сударственнй камите авета Министраа ССС аа делам изааретений УДК 669.046-172:546.) 088.8).1973. )юлгСТОН), М 6 ЦМОГКО 3)1") 2) )2 и атк ыти 21 Т д 0 1 м О ;110)1)О11.51 4 . 1 .9 )Л вторы 11;)) С) ЦЦ Е, Березенко и К. Л. Мисюра Н, И. Блецкан,яс ) СОБ ПОЛУЧЕНИЯ БЕЗДИСЛОКАЦИОННЬ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ 51 О Е 3 Д)1ОК Д- лупроводнцко;) 1 охр дл ьс ком у, 51 ВЫРЯП 1)ВД)лТ тром, ме:пп;м цвяют )поск,)й Инвестые с, Осооы п 03130 ля)01 13 ьводи 1 ь лислокацин ца по 3 ерхцость растуц 2 его мо;окрцстяля ц 1 цачяльцои стадии его ростя, -")т) условие является необходимым, цо цедост;1- точным для тстои)1 ВОЙ 30 епро;3 ВО 1;1 мостц бездислокаццоццых моцокрцсталлоц с учетом особенностей цх роста в различных крцсталлографических направлениях. Так, например, при выращивании монокристалло 3 в направлении 1110, в которых имеется группа плоскостей (111), параллельных оси выращивацпя, под действием термических,напряженнй легко происходит заронсдение и размножение дислокаций ца цх коццческой и цпиндрической ЧДСТ 51 Х. П:) с:Зобр тецц ЕЦЦЯ ОЕЗДИС,10МЦН 5 ВЫТЯГПВ С.ею,оо полу криста,пов к 30 цд по Т 1 охрял моцокрцстд,пд Зд здт 3 В)и, н Т 51 ГИ ВД;)п 51 П,1 О ОТ.22 П22222202 нных моноЦЗ Р 1 СПЛЯем учдсткд цм дцямстроиссе выа 1)цзяццбеспечен;я капп нцех НВДП меныВ Пкрис ЛЯО кому с выряц 1)метром,ПОДДЕРЖДЦИЕ кого фронт т; о. с цеЦель изоб условий, обе бездислокаци в цаправлени создание теплоых х устойчивый рост кристаллов кремния 30СТЕНИ 51печивающнных мот11101. м,:т 1 Зобретгцие Относится к метяллургцц .10ПР О ВОДИ и КС и.Известны способы получецицпоццых моцокристаллов повытягввяц;ем из расплава,пов которых после затравливНиучасток мо:окрцсталла с диамедиасегрд затравки, ц поддержфЭОЦТ КРНСТЯЛ;1 ИЗДЦ)М 1. Д,51 ЗОГО Ц 15 П) ВЬРЩ 16 ВЦИЦ ОЕЗД 1 Ь,ОКЦЦОЦ)ЫХ МЬОХРСТ 1,1,1 ОВ У 1 ЯЗЯЦНОЙ ОРНЕПТ 3 ЦИЦ Ве,тцчпну О;свого температурного градиенпга В твердоц фдз поддерживают не больше 50 С,с.)2. Пр Ятом предотврягцяется 3:рождсцне делокц:111, В сВязц с чю уВеличцвяется прд)3)одцте ь;Ость процесс.П рм Г р 10 НОкзнстдллэ креъИпя, Орне 3. т;ровнные В прдвлеццц 1101, Вырщцвяют цз рсцлВпО С 10 хрдг скому с нспос) Зов- пнем теплово Опс)ем 1, сост 051 цей цз нагревателя -- :опрот)влецпя цилиндрической формы Высотоц 118 лл; дцдметром 140 лл, пяти )Око 3 х ц дмх пото,очц.х зк 132)НОВ 3 споло)ксццых ц;1 )ысоте 50 ц 100 32,) От нове)3 хцйсгц р;)сл 3). Скорость Вьтя 11 гв 1 ни 5 Н 1)п )ыр 1 щю)дц 3 Оцохр:ст,г 013 ддметром 35 лл линейно 133 е)51 От От 1,0 ЛО 1,0 .).)/)я, Вь 1 ход оезд;) елок ццоц:)и; м Оцокри тллоц состцляет 8)",Ь,396124 Составнтель С. Полякова Тск 1 ед Л. Грачева Корректор Е, Хмеева Редактор К. Вейсбейи Заказ 6507 Изд. М 924 ТП 1)агк 678 ЦНИИПИ Государственного котПтег Совсга Мпннстров СССР по де;ав ИообретегП 1 и открытн 1 Москва, Ж, Раугпокая наб., д, 4/5 Оба. тип. КостОмскоГО управенпЯ нздатег 1 ьств, ногГрафнп и кпнткной торГовлибездислокапионного роста моцокристаллов в направлении 110, величину осевого температурного градиента в твердой фазе поддерживают не больше 50 С/см.

Смотреть

Заявка

1726137

Н. И. Блецкан, Л. Е. Березенко, К. А. Мисюра

МПК / Метки

МПК: C30B 15/00, C30B 29/06

Метки: бездислокационных, кремния, монокристаллов

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-396124-sposob-polucheniya-bezdislokacionnykh-monokristallov-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения бездислокационных монокристаллов кремния</a>

Похожие патенты