Устройство для катодного распыления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П И С А Н И Е 38806ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоцинпистицбскихРаспубпик тсльстваЗависимое от авт. св Заявлено 01,Ч 11.1970 Сл. С 23 с 15/00 ЪГо 1457005/26-9) присоединением заявкиГосударственный комитет Совета Министров СССР оо делам иЗобретений и открытийарит ДК 539.234.002.5(088,8) Опубликовано 22.Ч.1973. Бюллетень28Дата опубликования описания 10.Х.1973 Авторы зобретени ф. Васильев и Г. И. Лаб явите УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСНЫЛЕНН Анод 3 имсет форм ной плоскости катодо. ной и,.и с ооепх сторо от распыления держа гольтпьчг то"Оцвод 5 напряжения на катодОтдельные цилиндр щаются с интервалом условиях распыления Изобретение относится к области пленочпоп электроники и может быть использовано при изготовлении катодпым распылением тонких пленок различных материалов.Известны устройства для катодного распыления, содержащие вакуумную камеру с размещенными в ней анодом-подложкодержателем в виде плоскости и расгыляемым катодом.Цель изобретения - повышение равсти наносимых на подложку слоев.Цель достигается тем, что катод выполнен в виде двух или более цилиндров, осп которых расположены в одной плоскости парал лсльпо друг другу и плоскости анода-подлож кодержателя.Схема устройства изображена на чертеже.Устройство содеркит цилиндрический катод 1, держатель катода 2, анод 3, экран 4, высоковольтный токоввод 5, 1 - расстояние 2 между катодами, д - диаметр катода, 1 г - расстояние между анодом и осевой линией катодов, и - число катодов.В цилиндрическом катоде 1 высверливается отверстие для держателя 2. Для получения 2 более хорошего теплового и электрического контакта держатель 2 может быть припаяв к катоду 1. Оси отдельных цилиндрических катодов расположены параллельно в одной плоскости. 3 ости, параллельоложенной с одран 4 защищает атода , высоко. минус высокого у плоск в н расп и ее. Эг тель 2 к по ает 1 ические катоды размег. Причем при данных 1 - гК2долхспо быть больтодного пространства. дом 3 и осевой линиейтакже больше размепространства. Более пределяется эксперния равномерного расго материала на протемного ка г ме;кду ано я катодов 1 катодного асстояние о ля полученраспыляемо ии г(и - 1),ше размераРасстояниерасположенира тсмноготочно это рментально дпреодолениятяжснии ли 1-1 а анод 3, служащийпомещаются подложкизавы), В камере, где радля распыления, создаусловия для распылештоковводу 5 подаетсяПри распылении матери3 образуется равпомеррасположения катодовстоянии между анодомдов, Равномерность на подложкодсркателсм, (на чертеже не покасположепо устройство ются технологические я, к высоковольтному высокое напряжение. ала катода 1 на аноде ый слой вдоль линии при определенном раси плоскостью катопыленного слоя вдольаказ 2758/4ЦНИИПИ Г Изд.1685 дарственного комитета Совет и открь Москва, Ж, РауТираж 826 Министров СССР п тийшская наб 4/5 Поелам изоб исно тени ипография, пр. Сапунова. оси катода достигается г.ыбором катодов соответствующей длины. Предмет и зоб ре те нияУстройство для катодного распыления, содержащее вакуумную камеру с размещенными в ней анодом-подложкодержателем в виде плоскости и распыляемым катодом, отличаюи 1 ееся тем, что, с целью повышения равномернссти наносимыха подложку слоев, катод выполнен ь виде двух или более цилиндров, оси которых расположены в одной плоскости параллельно друг другу и плоскости анода-подложкодержателя.
СмотретьЗаявка
1457006
Г. Ф. Васильев, Г. И. Лабудин
МПК / Метки
МПК: C23C 14/36
Метки: катодного, распыления
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-388061-ustrojjstvo-dlya-katodnogo-raspyleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для катодного распыления</a>
Способ контроля температуры катода катодно подогревательного узла электронного прибора
Номер патента: 1537066
Опубликовано: 30.01.1994
Авторы: Верин, Киселев, Кузичев, Федоров
МПК: H01J 9/42
Метки: катода, катодно, подогревательного, прибора, температуры, узла, электронного
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТЕМПЕРАТУРЫ КАТОДА КАТОДНО-ПОДОГРЕВАТЕЛЬНОГО УЗЛА ЭЛЕКТРОННОГО ПРИБОРА, включающий подачу напряжения канала, измерение в электрической цепи подогреватель - корпус катода контролируемого электрического параметра, связанного с температурой катода, и определение температуры катода по заранее проградуированной зависимости этого параметра от температуры катода, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения температуры катода, в качестве измеряемого параметра используют термоЭДС в цепи подогреватель - корпус катода, напряжение канала в период измерений формируют из периодически повторяющихся импульсов напряжения и пауз со скважностью не менее 50, измеряют термЭДС в паузах между импульсами напряжения, причем...
Способ снятия катодного цинка и других металлов с основных катодов
Номер патента: 128616
Опубликовано: 01.01.1960
Автор: Поликарпов
МПК: C25C 1/00, C25C 1/16, C25C 7/08
Метки: других, катодного, катодов, металлов, основных, снятия, цинка
...основногзста тлОВ с Основных като целью облегчения уповий го металла, катодньш осаемой под давлением выше нтакта катодного осадка с о цинка и другихи й с я тем, что, сии сдирки катодыют водой, подавой в плоскость коатрицей). ия катодног тличающ ации операц сновы отдел и направленн о катода (и В настоящее время сдирка цинка с катодов производит"я вручнуючто связано с тяжелым ручным трудом.Предлагаемый способ снятия катодного цинка и других метосновных катодов-матриц механизирует эту операцию. Сущностьсостоит в том, что отделение листов от основы производят приводы, подаваемой под давлением выше 4 пт.и из сопел, направляструю в плоскость контакта катодных осадков с листом основногоматрицы.На чертеже показана принципиальная...
Устройство для нанесения диэлектрических покрытий катодным распылением в вакууме
Номер патента: 1322701
Опубликовано: 10.10.1995
МПК: C23C 14/42
Метки: вакууме, диэлектрических, катодным, нанесения, покрытий, распылением
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ В ВАКУУМЕ, содержащее катод-мишень, подложкодержатель и кольцевой анод, расположенный между катодом-мишенью и подложкодержателем соосно геометрической оси катод-мишень подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции устройства и повышения его экономичности, на кольцевом аноде, равномерно по его периметру, выполнено не менее трех выступов игольчатой формы.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что длина выступов не менее 4 мм.
Устройство катодов катодных ламп и катодных выпрямителей
Номер патента: 837
Опубликовано: 15.09.1924
Автор: Львович
МПК: H01J 1/16
Метки: выпрямителей, катодных, катодов, ламп
...при питании нитей переменным током, часто встречает затруднения вследствие особого шума, возникающего при этом.Предлагаемое устройство катодов катодных ламп и катодных выпрямителей имеет целью такое соединение нитей накала катодных ламп и выпрямителей, предназначенных для радиотехники и электротехники, при котором устранялся бы вышеуказанный недостаток и возможно было бы питание нитей накала многофазным током.В этом случае магнитные поля внутри трубки (катодной лампы), от токов, проходящих через нити, взаимно компенсируются, общая тепловая инерция увеличивается, в результате чего магнитные и тепловые колебания значительно уменьние по ХУ фиг, 1, и на фиг, 3 - схема включения для трехфазного тока, со следующими обозначениями: А -...
Способ изготовления микроострийного катода (его варианты) и устройство для изготовления микроострийного катода
Номер патента: 1217935
Опубликовано: 15.03.1986
Авторы: Айтхожин, Дедловский, Хаблак
Метки: варианты, его, катода, микроострийного
...другой конец анода-заготовки 2 соединен через вторую пару нормально замкнутых контактов 10 с первым входом ДУ 7,а второй вход ПУ соединен с источником 11 опорного напряжения. Выход ДУ 7 по цепи обратной связи соединен через усилитель 15 с обмоткой реле 8, вторая обратная связь соединяет выход ДУ 7 через последовательно соединенные сопротивления 12 и 13 с первымвходом ДУ.Изготовление микроострийного катода осуществляется следующим образом.Заготовку-анод в виде проволоки (стержня) 2 помещают по оси катода 1, состоящего из симметрично рас"положенных подвижных игл, соединен ных с минусом источника 5 питания (фиг. 1). Пипеткой вносят в зону травления заготовки каплю электролита. Включают источник 5 питания, осуществляют...
Предыдущий патент: Устройство для получения покрытий переменной толщины катодным распылением (
Следующий патент: Раствор для пассивирования алюминиевой
Случайный патент: Устройство для образования оболочек из гибкого рукавного материала