Способ измерения вакуума

(19) (1 1/00 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ВИДЕТЕПЬСТ ВТОРСКОМ(54)(57) СПОСОБ ИЗМУМА путем измерения изтивления полупроводниковвызванного адсорбцией него чувствительного элечаюшийся тем,повышения чувствительносе измерения на поверхн НИЯ ВАКУ ого элемента полупрово аправляют пучок медле по величине полного т вительного элемента смер яемого вакуума. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) 1, Вакуумные элементы и системьСправочник под ред. В, Д. Лубенца.М."Машиностроение", 19 68.2. Авторское свидетельство СССР534662, кл, Св 01 Ь 21/00,15,07,75 (прототип). менения сопроого датчика,а поверхностимента, от ли -что, с цельюсти, в процесость чувствительдникового датчиканных электронов,ка в цепи чувстят о величине из2899 Составитель В, КазаковРедактор Н. Безродная Техред М,Тепер Корректор П, ПатайЗаказ 8847/37 Тираж 873 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж"35 в Раушская набде 4/5Подписное филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3 1 О 5Изобретение относится к физическойэлектронике и предназначено для измерения давления газа в вакуумных системах,Известен способ измерения давлениягаза в вакууных системах, основанный 5на:явлении ионизвции газа потоком электронов, имитированных катодом с послдующей регистрацией величины ионноготока 1Недостатком известного способа является ограничение нижнего предела измеряемых давлений,Наиболее близким к предлагаемомуявляется способ, основанный на адсорбции газа на поверхности чувствительного 6влеиите детчиив дввлеиии 2Недостаток такого способа заключается в низкой чувствительности к маым давлениям.Еель изобретения - повышение чувствительности.Поставленная цель достигается тем,что согласно способу, заключающемусяв измерении сопротивления полупроводникового датчика, вызванного адсорб- д 5цией газа на поверхности его чувствительного элемента, в пооцессе измеренияна чувствительный элемент датчика направляют пучок медленных электронов и повеличине полного тока в цепи чувстви- ЗОтельного элемента судят о величине измеряемого вакуума.Полный ток электронов, прошедшихв тело, определяется особенностями отраЖЕННОГО КотоРЫй СКЛадЫВавтсЯ ИЗ УПРУГго и неупруго отраженных электронов,В полупроводниках неупругое рассеиваниеприводит к возбуждению переходов науровне локальных центров прилипвния,что приводит к их перезарядке и изменя Оет характер упругого рассеивания, что из меняет особенности в поведении упругойкомпоненты отраженного тока и тем самымвлияет на величину медленных электронов,ПрОХОдящих В ПОЛУПРОВОДНИК. Адсорбцкя Гае за на поверхности полупроводников изменяст систему энергетических уровней приповерхностной области и тем самым резко Изменяет условия прохождения медленныхэлектронов в полупроводник. Таким образомд ВСЛедСтВИе того 1 то колИчеСтВОмедленных электронов постоянной энергиии неизменной плотности, падающих извакуума и проходящих в полупроводник,зависит не только от энергетическойструктуры поверхнбсти, но и от давленияокружающего его газа, то величина полного тока может служить мерой давлениягаза в вакууме. Поскольку процесс взаимодействия медленных электронов носитбезынерционный характер, а величинаполного тока имеет определенную величину, то можно измерять низкие давлениябез применения усилителей постоялоготока,На чертеже изображен один из вариантов устройства для. осуществления способа.Устройство содержит катод 1, фокусирующий цилиндр 2, анод 3 и коллектор 4. Параллельно плоскости коллектора 4 размещен монокристал попупроводника 5П 1) с окисной пленкой.Способ измерения давления вакуумаосуществляют следующим образом,Электронный луч, эмитироввнный катодом 1 и сформированный электрическими полями цилиндра 2, анода 3 и коллектора 4, направлякт на поверхностьполупроводника 5, Часть электроновпроходит в полупроводник, а часть отражается и захватывается коллектором 4.Ток, проходящий в цепи полупроводника, регистрируют, и по его величинеопределяют давление окружающего газа,При этом суммарный ток полупроводника и коллектора при любом давлениигаза остается постоянным.Использование изобретения позволитповысить чувствительность устройства,что исключает необходимость использования усилителя постоянного тока.,