Зсесоюзная

О П И С А Н И Е 375708ИЗОБРЕТЕНИЯ Свез Советски Содиалистическил РеспублинТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое вт. свидетельства Н 011 3/04 Н 05 Ь 7/00 М. К 335926/26-25 1969 ( явлено с присоединением заяв Го Комитет ао деламзобретеиий и отирмтийори Совете Министров Приоритет публиковано 3,11.19 3. Бюллетень16исания 1.И.1973 УДК 537,534.2(088,8) 621.384,6 (088.8) Дата опубликования Авторыизобретен, Д. Донец, В.бъединенный и Заявитель ИСТОЧНИК МНОГОЗАРЯДНЫХ ИОНОВ ся к ускорительной технике ионных источя импульсной подачи р вует устроисгво д бочего вещества. Известный ион области ионизаци 5 внешних вакуумн этом ионном исто электроны, которь ионизационных ст коллектор электр О ную в анодной д ки, При увеличен ного пучка сетка ся, Если же прим без,сетки, то мед 5 ваются в области вероятность,реком Цель ызобретен нолучевото источи гозарядности ноно О Цель достигает источнике после э лена дрейфовая т ную стенку с отв ных участков для 25 щества и раздел изолированных с через резисторы таисия.ся тем, что в предлагаемом лектронной пушки установрубка, имеющая гермегичерсгием в одном из оконечнапуока паров рабочего веенная на,ряд электрически екций, каждая из которых соединена с источником пиДля экстракции медленных вторичных ктронов из области ионизации используют полнительные улавливающие электроды в Изобретение относиттехнике, в частности кников.Известен источник многозарядных ионов, в котором ионизация паров рабочего вещества осуществляется электронным пучком в магнитном поле.В известном ионном источнике многозарядных ионов катод и анодная диафрагма с сеткой образуют электронную пущку, которая находится в фокусирующем магнитном поле. Генерируемый пушкой протяженный сфокусированный пучок электронов проходит вдоль оси ионизационной,камеры, в которой находятся электрод для выталкивания ионов и электрод для экстракции ионов поперек магнитных сило 1 вых линий, Электроны после прохождения через ионизационную камеру регистрируются электронным, коллектором, Объем источника откачивается внешним вакуумным насосом, Имеется устройство для непрерывной подачи газообразного рабочего вещества внутрь ионизационной,камеры,При непрерывной инжекции паров, рабочего вещества в электронном пучке устанавливается режим динамического равновесия между скоростью подачи нейтральных атомов и скоростью экстракции образовавшихся ионов. В этом режиме зарядный спектр является мыногокомпонентным прои относительно низкой предельной зарядности. В источнике отсутстныи источник для откачки и требует использования ых насосов. Кроме того, в чнике медленные вторичные е образуются в результате олкновений, собираются на онов и сетку, расположениафрагме электронной пушии мощности тока электрон- перегревается и,р азрушаетенять анодную диафрагму ченные электроны накаплиионизации и увеличивают бинации.ия - упрощение электроника при обеспечении мно375708 чок образуют ионный насос, который эффективно откачивает атомы остаточного газа, диффундкрующие извне в объем дрейфовой врубками, и осуществляет развязку по вакууму 5 между областью ионизации и внешним пространством. Потенциалы на оконечных секциях образуют ловушки, в которых накапливаются медленные вторичные электроны.Удаление вторичных электронов изпучка осу.10 ществля ется под действием электрическихпотенциалов на электродах 3, выполненных в виде пластин или стержней, Электроды 3, электрически озонированные друг от друга и от дрейфовой трубки, соединены с источниками постоянных и импульсных напряжений,1, Источник многозарядных ионов, в которомионвзация паров рабочего вещества осуществляется электронным пучочком в магнитномполе, содержащий дрейфовую трубку, источник атомов рабочего вещества, улавливаю 25 щие электроды с,источниками питания, предназначенные для удаления вторвчных электроноввозникающих прв ионизации, отличающийся тем, что, с целью увеличения зарядности ионов, дрейфовая трубка имеет герметич 30 ную стеньку с отверстием;в одном из оконечных участков и расположенным за отверстием источни 1 ком атомов, и разделена на несколько электрически изолированньх секций,каждая из которых соединена через резисто 35 ры с источником питания,2, Источник по п. 1, отличающийся тем, чтоулавливающие электроды расположены воконечных секциях дрейфовой трубки,Заказ 1604/3 Изд.1373 Тираж 780 Подписное ЦНИИПИ Типогр афин, и р. Сапунов а, 2 виде пластин или стержней, расположенных внутри оконечных секций дрейфовой трубки параллельно электронному пучку,На чертеже изображен предлагаемый источник с разрезом. Катод 1 и анод 2 образуют электронную пупсику, электроды 3 используются для экстр акциями медленных вторичных электронов, элементы 4, б, б являются изолированными секциями дрейфовой трубки. Фокусирующее магнитное поле В направлено вдоль оси источника.После откачки внешним насосом объема источника до давления 10-" мм рт. ст. в электронной пушке формируется импульс электронного тока; при распределении потенциалов, показанном сплошной линией а, производится эффективная откачка объема дрейфовой трубки, - атомы рабочего вещества поступают в электронный пучок через отверстие 7.Через некоторое время на секцию б поступает запирающий импульс, создающий распределенве потенциалов, показанное линией б, длительность которого определяет время инжекции. По окончаниии действия этого импульса продолжавщие поступать внутрь дрейфовой трубки пары, рабочего вещества ионизируются к удаляются наружу, не попадая в область ионизации, а на секцию б поступает основной запирающий импульс, создающий распределение потенциалов, показанное линией в, длительность которого определяет время ионизации. По оконфании действия основного запирающего импульса мнотозарядные ионы рабочего вещества поступают на выход источника. В течение всего,рабочего цикла градиенты потенциалов на оконечных секциях дрейфовой трубки и электронный пуПредмет изобретения