Всесоюзная

Союз Советских Социалистических РесоубликТОРСКОМУ СВйДЕТЕЛЬСГ Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено ЗО.ХП.1970 (Фе 1605665/26. Кл. Н 011 9/02 Н 011 1/30исоединение явки Ю Номитет по делам рите изовретеиий и открытиври Совете ЫииистревСССР Опубликовано 23.111,1973, бюллетень16 УДК 621,385,032.2(088.8)Дата опубликования описания 28 Х.1973 Авторыизобретения А. П. Коржавь С, И. Файфер, С. М. Жданов, В. Ф. АрцыховичЕ, А. Трофимов и Н. Н, Кунец 3 у.," втт Ь ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛОДНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХКАТОДОВ 2 электронной технизготовления холодзрядных приборов например оптичеИзобретение о ке, в частности ных катодов д с инертным нап ских квантовыхВ газоразрядн лодных катодов тоды, изготовлен келя, тантала, м или их сплавов,тносится кк технике иля газораолнением,генератороых прибориспользуюные из алюолибдена х в ка металл естве хоческие каелеза, ниметаллов10 иния,других Известны способы повышения эксплуатационной стойкости металлических холодных катодов, которые заключаются в предварительном окислении рабочей поверхности катодов 15 путем термического окисления в кислородсодержащей среде.Однако известный способ не обеспечивает достаточной стойкости катодов при повышенных токовых нагрузках. 20Цель изобретения - повышение устойчивости холодного катода в процессе его эксплуатации при повышенных удельных токовых нагрузках.Согласно изобретению поставленная цельдо стигается путем окисления катодов в среде кислорода пониженного давления 0,1 в30 мм рт. ст. при одновременном наложении внешнего высокочастотного электромагнитного поля, 30 Внешнее высокочастотное электромагнитное поле в выбранном интервале давлений кислорода воздействует на процесс окисления таким образом, что уже на первоначальных стадиях процесса на поверхности окисляемого при контролируемой температуре металла или сплава образуется пленка оптимальной структуры, что ооуславливает ее ценные защитные свойства: высокую электропроводность и повышенную стойкость к катодному распылению в условиях аномального тлеющего разряда.Конкретные параметры процесса окисления: давление кислорода, температура окисления, время выдержки при температуре окисления, частота внешнего электромагнитного поля и. т. д., - определяются природой металлического катода и конструктивными особенностями изделия.П р и м е р изготовления по предлагаемому способу холодных катодов газовых ОКГ,Полые цилиндрические катоды изготовляют из алюминия, бериллия, магния и сплавов на их основе. После механической и технохимической ооработки образцы загружают в стеклянпыс или кварцевые трубы, обезгаживают в вакууме и дополнительно очищают разрядом в среде неона. Затем производят напуск кислорода до давления 3 - 5 мм рт. ст. и проводят окисление во внешнем высокочастотном электромагнитном поле. Для катодов, изготовлен375709 Предмет изобретения Составитель Г. ЖуковаРедактор И, Орлова Техред Е, борисова, Корректор О. Тюрина Заказ 1441/19 Изд,1345 Тираж 780 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 ных из алюминия, магния и их сплавов, температуру окисления выбирают в пределах 420 - 460 С, а для бериллиевых катодов впределах 550 - 770 С. Время выдержки при температуре окисления составляет 30 - 60 мин. Частоту колебаний внешнего электромагнитного поля, в котором производят окисление катодов, изменяют в зависимости от типа катодов в пределах от 0,5 - 1 Мги, После окисления катоды монтируют в газоразрядные приборы. Режимы последующей обработки и тренировки катодов не отличаются от общепринятых для холодных катодов.Испытания холодных катодов, изготовленных по предлагаемому способу, в газоразрядных приборах с наполнением гелийнеоновой смесью (с соотношением 5: 1 и 10: 1) при давлении 3 - 5 мм рт. ст. показали, что срок 4службы катодов при плотности тока 0,7 ма/см составляет не менее 1100 час, Катоды, изготовленные известным способом, обеспечивают в указанных условиях срок службы не более 5 50 в 1 час. Способ изготовления холодных металличе ских катодов для газоразрядных приборов,преимущественно с инертным наполнением, путем их термического окисления в кислород- содержащей среде, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы катодов при 15 повышенных токовых нагрузках, окисление катодов производят при давлении кислорода 0,1 - 30 мм рт. ст, в высокочастотном электромагнитном поле.