349052
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 349052
Авторы: Дураев, Ильина, Родченкова
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликЗаявлено 06,Х.1966 ( 1107094/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 23.Ч 11.1972. Бюллетень25Дата опубликования описания 7.1 Х.1972 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете ввинистрое СССРУДК 621.375.8(088.8) 621.793.14 (088.8) Авторыизобретения В, П, Дураев, 3. В, Ильина и Л. А. Родченкова-1=;, т т.ОМЛЕТг." "т, т.г.т,ч 1 жФЙ Заявитель СПОСОБ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛАСТИН Изобретение относится к технолопш изготовления лазерных диодов и других квантовых приборов.Известны способы металлизации диэлектрических пластин, например кварцевых, заключающиеся в том, что металлические пленки наносят на диэлектрические подложки при 300 С и низком вакууме -10 -- 10 -мм рт. ст. для изготовления на их основе пленочных сопротивлений. В процессе нанесения пленок на подложки детали подвергаются термическому окислению, которое улучшает адгезию пленки с подложкой и увеличивает электрическое и тепловое сопротивление пленки. При изготовлении лазерных диодов после металлизации подложки из сапфира или алмаза необходимо получить максимальную теплопроводность и минимальное электрическое сопротивление металлизирующей пленки, поэтому термическое окисление исключается.Предложен новый способ металлизацип диэлектрических пластин, Способ заключается в следующем. Диэлектрические пластины, например сапфировые, промывают в хромовой смеси 2 - 3 мин при комнатной температуре, затем в дистиллированной воде при 100 С в течение 3 - 5 мин, после промывки пластины сушат в термостате около 10 мин при температуре 120 - 150 С, Высушенные пластины загружают в вакуумную камеру и очищают в поле тлеющего разряда в течение 10 - 15 мин при вакууме 1 10- - 1 10 - - мм рт. ст. Затем камера откачпвается до 1 10 -- 1 10 - т мм рт. ст., пластины нагревают до температуры 5 не выше 800 С и напыляют хром толщиной неболее 2 мк. Затем наносят пленку никеля, например, в электрохимпческой ванне, толщиной не более 2 мк и отжпгают ее в вакууме при температуре 750"С. Потом пластины вновь ни келируюг и покрыьают припоем. Описанныйспособ металлизацпи обеспечивает хорошую адгезшо металлической пленки с изолирующей подложкой, сохраяст теплопроводность электропроводпость как пленки, так и под ложки, что очень важно при изготовлении лазерных диодов.Описанный способ металлпзации изолирующих пласпш используется при изготовлении лазерных диодов, работающих как при темпе ратуре 77 - 300=К в импульсном режиме, таки при комнатной температуре в непрерывном режиме. Предмет изобретения 25Способ металлпзгцпп диэлектрических пластин, например сапфировых, включающий в себя промывку пластин в хромовой смеси, очистку пластин в поле тлеющего разряда и 30 нанесение одним из известных способов меЗаказ 2879/18 Изд.1194 1 ираж 406 Пдписи.еЦНИИПИ Комитета ио делам изобретений и отк 1 илтии при Соиле Мииистров СССРМосква, Ж-з 5, Раугиская иаб., д. 4 5 Типография, пр, Сапунова, 2.ллизации пленок хрома и никеля на нагрею подложку, отличающийся тем, что, с .лью повышения теплопроводности покрытий, 1 астину нагревают в вакууме при давлении не выше 1 10 - в мм рт. ст. до температуры не выше 800 С, и после нанесения на пластину никеля производят отжиг при температуре 700 - 800 С, затем вторично наносят никель.
СмотретьЗаявка
1107094
В. П. Дураев, В. Ильина, Л. А. Родченкова
МПК / Метки
МПК: H01S 5/00
Метки: 349052
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-349052-349052.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">349052</a>
Предыдущий патент: Акустический модулятор света
Следующий патент: Распределительное устройство высокого напряжения
Случайный патент: Двухкомпонентная форсунка