Устройство для ионной обработки

- : - патенгас.тен,.,;сблолиоте. а .",О П ИС А Н Ф Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Сфюэ Советскнк Социалистических Реснубпик(22) Заявлено 2706,69(21) 1344600/26-25с присоединением заявки йв -(45) Дата опубликования описания 070678(51) М. Кл. Н 01 У 37/20 Н 0121/06 Государственный комитетСовета Министров СССРио делам изобретенийи открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ Изобретение относится к технологическому оборудованию полупроводникового производства, в частности к,установкам ионного легирования.Известно устройство для двухсто- б ронней обработки пучком ионов полупроводниковых кристаллов, элементов конструкций или деталей, содержащее непрерывный транспортер, а с рабоче стороны устройства расположены два Ю окна с индивидуально-управляемыми дверцами, которые снабжены зондами для изМерения ионного тока. Однако в известном .устройстве 1кассеты с деталями, расположенныеза облучаемой кассетой, находятся взоне действия ионного пучка, так какпучок ионов проникает вдоль всегоустройства между кассетами, что приводит к напылению на них материаластенок камеры, распыляемого ионныи: при переводе облучения с тыльнойстороны на лицевую и наоборот при-, 25ходится менять траекторию ионногопучка, что не дает расположитьсякассетам с деталями в фокальной плос"кости. Это ведет к снижению качестваобработки. ЭО 2С целью улучшения качества обработки и увеличения производительности, в .предлагаемом устройстве механизм перемещения деталей выполнен в виде непрерывного вертикального транспортера, который снабжен приводом для поворота относительно продольной оси.На чертеже изображено предлагаемое устройство.Оно содержит вертикальный транспортер 1, заключенный в раму 2, которая имеет ось 3 и вал 4, его опорь закреплены в корпусе 5 и раме. На оси закреплена шестерня б. Она находится в зацеплении с шестерней 7, На валу 8 с шестерней 7 закреплена шестерня 9, находящаяся в зацеплений с шестерней 10. Опоры вала 8 закреплены в раме. Шестерня 10 зайреЪлена на ведущем вале транспОртера. На, корпусе имеется фиксатор 11, кото- рый входит в зацепление с фиксатором 12, закрепленньи на раме. Фиксатор 1(2 входит в зацепление с диском 13, установленньм на ведомом вале транспортера. Транспортер состоит из двуи цепей, натянутых между двумя МГарами, звездочек 14 и 15, опоры валов которых закреплены в раме. К цепям с определенньм шагом прикреплены333634. ЦНИИПИ Заказ /3945 Тираж 960 одписное Филиал ППП Патентф, г.ужгород, ул подвески для крепления кассет с обрабатываемыми деталями. С рабочей стороны устройства расположено окно .прикрываемое дверцей )6 с зондами для контроля ионноготока.,Шаг креп- . ления подвесок определяется размера-. ми обрабатываемых деталей.устройство устанавливается в вакуумную камеру 17 электромагнитного сепаратора с источником ионрв . Загрузка или разгрузка транспортера осуцествляется через загрузочное око при периодическом перемещении транс,портера. Загружать и разгружать устройство можно как до установки в вакуумную камеру ионнолучевой устанонки, так и непосредственно в камере.После установки устройства в вакуумную камеру и загрузки его,обрабатываемьии деталями вакуумный фланец 18 закрывают и производят откач ху камеры. Степень разряжения определйется условиями ионной обработки После внедения в режим ионного источника пучок ионов наводится на ,дверцу 16, устанавливается необходимая платность ионного тока, измеряемая зондом. Дверца открывается поворотом рукоятки, и пучок ионов попадает на кассету 19 с обрабатываемьии деталями. По окончании обработки касетты с,деталями вал 4 начинает вращаться. Транспортер перемещается на один шаг, производится облучение следующей кассеты и т.д. При этом фиксатор 11 входит в за-цепление с фиксатором 12 и выводитего иэ зацепления с диском 13.Транспортер перемещается следующим образом.Шестерня 6, расположенная На вале4, через шестерни 7 и 9, закреплен.- ные на валу 8, передает крутящиймомент шестерне 10, которая закреп-лена на недущем валу транспортера.Ведущий вал, вращаясь, перемещаеФ 10 транспортер в ту или иную сторону взанисимости от направления вращения,Д 1 я обработки тыльной стороны кассе"ты транспортер поворачивается вокруг продольной (вертикальной) оси 15 на 180 . При этом фиксатор 11 выходит из зацепления с фиксатором 12,который входит в зацепление с диском 13. В этом случае транспортери, следовательно, нал 8,эатормажи ваются. Рама разворачивается на 180и производится облучение тыльнойстороны кассеты.формула изобретенияУстройство для ионной обработки,содержащее корпус, источник ионов,механизм перемещения деталей в видетранспортера, окно с крышкой, зонды.для .контроля.распредел ния ионноготоха, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью улучшения качества оОработки и увеличения производительности, транспортер механизма перемещения деталей расположен вертикальнои снабжен приводом для поворота относительно продольной оси