Липинецкий

Номер патента: 333634

Опубликовано: 25.07.1978

Авторы: Жуков, Зайцева, Липинецкий

МПК: H01J 37/20

Метки: ионной

...с фиксатором 12, закрепленньи на раме. Фиксатор 1(2 входит в зацепление с диском 13, установленньм на ведомом вале транспортера. Транспортер состоит из двуи цепей, натянутых между двумя МГарами, звездочек 14 и 15, опоры валов которых закреплены в раме. К цепям с определенньм шагом прикреплены333634. ЦНИИПИ Заказ /3945 Тираж 960 одписное Филиал ППП Патентф, г.ужгород, ул подвески для крепления кассет с обрабатываемыми деталями. С рабочей стороны устройства расположено окно .прикрываемое дверцей )6 с зондами для контроля ионноготока.,Шаг креп- . ления подвесок определяется размера-. ми обрабатываемых деталей.устройство устанавливается в вакуумную камеру 17 электромагнитного сепаратора с источником ионрв . Загрузка или разгрузка...

Номер патента: 277964

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Адам, Гребешев, Гусев, Заддэ, Зайцева, Лидоренко, Липинецкий, Титов, Чувпило

МПК: G21K 5/00, H01J 37/08

Метки: 277964

...9 и 10, снабжен подвесками 11, на ксторых крепятся кассеты собрабатываемыми деталями. Шаг креплениядеталей равен 1/4 длины делительной окружности звездочки. Длина цепи и, следовательно, 30 количество кассет с деталями выбирают конструктивно, Максимальная длина цепи определяется продолжительностью работы источника ионов и механической надежностью конструкции.Работает устройство следующим образом.Транспортер Ь загружают через окно при периодическом егс перемещении. Загружать и разгружать устройство можно как до установки в вакуумыю камеру, так и непосредственно в камере,После загрузки вакуумный фланец закрывают и откачивают камеру до необходимого вакуума. После этого пучок ионов наводят па дверцу 2, устанавливают с помощью зонда 4...