Ю техническая

Номер патента: 1226069

Опубликовано: 23.04.1986

Авторы: Дидковский, Квасов, Музыченко, Полонин, Прохоренко

МПК: G01H 13/00

Метки: нарушенного, пластин, поверхностного, полупроводниковых, слоя, физико-механических, характеристик

...г/а при заданных 8 и Ь (фиг,З).Определяют параметр 1 по величине ш (фиг.2).Рассчитьвают величину модуля Юнга Е по формуле4811 Г Р а" (1- у )Е------Ьф. Рассчитывают физико-механическйе характеристики по известным соотношениям с учетом полученного значения модуля Инга Е.Таким образом, определение изменения радиусов узловых окружностей при возбуждении колебаний на частотах , позволяет проконтролировать распределение физико-механических характеристик по поверхности пластины и тем самым повысить точность контроля.Устройство для осуществления способа содержит основание 1, пуансон 2, электродинамический акустический излучатель 3, генератор 4 электрического напряжения, голографический интерферометр 5, состоящий из лазера 6, модулятора 7,...

Номер патента: 1499622

Опубликовано: 15.01.1993

Авторы: Волков, Котелянский

МПК: H01L 21/302

Метки: пластин, поверхностей, полирования, химико-механического

...способствует более быстрому цболее качественному выхаживан 11 юпорр ,1верхцос ти , подавляется ормир ова ни 8на 6 о в ерхнос ти твердого тела О кис ныхи гидр о О кис ных пленок з а счет пр еимущественноГО Образования р а с ТБ О )и45МЫХ КОМПХЕЕКСНЫХ СОЕДИНЕНИЙ С ЭЛЕ"ментамц обрабатываемого материала.Примеры 1-9 выполняют ИЕ)и следую"щих постоянных режимах полирования5 ОЧастота вращения,полнровальникаУдельное дантление на цлас 100-150 г/смтиныРасход полнрующего состЕРИ ПОЛИРОПКЕ(пластиныпредварцтельцообработаны сйободиьп 1 абразивом зернистостью 5 мкм) 10-15 мкм,П р и и е р 1, Для полированияпластин фосфида индия и-типа ориентации (100) используют полируюпфе 1состав, ца 1 л воцы в котором приходится 200 г Б)0)р 80 мл глицерина,60 мл...

Номер патента: 2003201

Опубликовано: 15.11.1993

Авторы: Кулик, Павлов

МПК: H01L 21/306

Метки: плазмохимического, поверхности, твердого, тела, травления

...показывают, что время протекания гетерогенной реакции плазмо-химического травления при указанных условиях, существенно зависит от большого количества параметров и должна определяться при отработке конкретного процесса плаэмо-химического травления. Максимальное время воздействия мальная температура поверхности твердого тела при воздействии определяется условиями разрушения поверхности (например, началом ее плавления), либо условиями аморфизации приповерхностного слоя, либо недопустимым развитием рельефа поверхности при травлении и другими причинами. Эти условия определяются экспериментально, при разработке конкретного процесса травления. При известной максимально-допустимой температуре Тд поверхности твердого тела из конкретного...

Номер патента: 255794

Опубликовано: 01.01.1969

Автор: Халин

МПК: B24B 37/04

Метки: доводки, пластин, плоских, плоскопараллельных, поверхностей

...по направляющим штоком 10. Сепаратор-притир 9 имеет несколько отверстий 11, в которые вставляются приспособления 12 так, что они частично выступают за ширину рабочего диска. 25В приспособлении клеем закрепляется обрабатываемая пластина 18. Сепаратор-притир находится в зацеплении с шестерней 2 и шестерней 14, неподвижно сидящей на станине 15. Такая кинематика зацепления обеспе- Зо чивает сложное движение приспособления по рабочему диску, взаимную правку и износ рабочих поверхностей диска и приспособления. Этим достигается хорошее качество шлифуемых или притираемых плоскостей пластин.Устройство работает следующим образом. Пластины 13, рассортированные по толщине, наклеиваются на притертые поверхности штоков 10. Каждый шток перед...

Номер патента: 637241

Опубликовано: 15.12.1978

Автор: Халин

МПК: B24B 37/04

Метки: доводки, пластин, плоских, плоскопараллельных, поверхностей

...фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - ттриспособленне для крепления обрабатываемых пластин; разрез; на фиг. 3 - то же, вид сверху.1 риспособление 6 состоит иэ штока Ь, перемещающегося по направляющим, выполненным в виде упругого опорного кольца 9, шпонки-гайки 10, винта 11 и разрезного пружинного кольца 12. Шпона- У гайка 10, введенная в продольный паэ 13 штока, с винтом 11 фиксируют положение штока по высоте относительно основания кольца 9. Упругое опорное кольцо 9 выполнено с продольными гофрами 14 на на-В ружной и внутренней поверхностях, расположенными симметрично, отверстию под.винт, и с кольцевой канавкой 15 под разрезное пружинное кольцо 12, Кольцо 12, помещенное в канавку 15 заподлицо с на- И...