Номер патента: 322750

Авторы: Долинский, Матвеева

ZIP архив

Текст

ОПИСАЙИЕ ИЗОЬЕЕТ ЕНИЯ з 2275 О Союз Советско Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваМ. Кл. 6 02 Ь 21/26 Заявлено 16.11.1970 ( 1415084/18 с присоединением заявкиКомитет ао деламизобретений и открытиори Совете МинистровСССР пор итет Опубликовано 30.Х 1,1971, Бюллетень3Дата опубликования описания 9.11.1972 УДК 535 88.8 Авторы зоб ретеци. М. Долинский и Г. А. Матвеева Заявитель ОЛИК МИКРОСКОП Изобретение относится к приборостроению и может быть иопользовацо, например в измерительных приборах, микроскопах или микроманипуляторах, для точного совмещения фотошаблонов при изготовлении микроэлектронных схем на полупроводниковых пластинках методом фотолитографии с двухсторонним экспонированием.Известны столики микроскопа, содержащие привод, кинематически связанный с основанием, установленным ца вертикальной направляющей корпуса микроскопа. личается от щая верти ка виде сильфо в корпусе вязанного,с пир ающимся мое звено иизвестльцогоца, од- микро- поднручерез рнвода,Такие отличия позволяют уменьшить поперечные смещения и развороты основания прц его вертикальном перемещении.На чертеже изобракен вариант конструкции предлагаемого столика. Функции ведомого звена привода выполняет пластина 1, жестко связанная с ползуном 2 вертикальных направляющих 3 обычной конструкции, например шариковых. На пластине 1 по окружноПредлагаемыи столик о ных тем, что направляю перемещения выполнена в ним торцом укрепленного скопа, а другим жестко с жиненцым основанием, о шариковые опоры на ведо стц под углом 120 один к другому установлены три шарика 4. К шарикам цилиндрическими пружинами 5, шарнирно присоединенными на основании б корпуса микроскопа, прижи мают основание столика. В центре основания7 жестко закреплен конец вертикального силь- фона 8, нижний конец сильфоца закреплен ца основании б, Ползун 2 взаимодействует с ведущими элементами механизма (схематично 10 изображены ца чертеже в виде рычага 9).Мехацизм работает следующим образом. Рычаг 9 сообщает промежуточному звену(ползуцу 2 с пластиной 1) вертикальное пе ремещецие, которое через, шарики 4 передается основанию 7. Сильфон 8 удерживает основание 7 от поперечных смещений и разворотов вокруг вертикальной оси ;при движении пластины 1 вдоль направляющих, Благо даря тому, что основание 7 покоится на шариках, поперечные перемещения пластины 1 и ее развороты не воздействуют на основание столика, так как сила трения качения це в состоянии преодолеть силы упругости сильфо на 8, уандеркивающего основание в строго ориентироватшом,положении в пространстве, позволяя ему перемещаться прямолинейно вдоль вертикальной оси за счет упругих деформаций сильфона, возникающих при перемещении пла стины 1 вдоль своих направляющих д,С оста витель Г. А итви и Техред Л. Богданова Корректор Е. Усовй 1 зсдактор Р. Киселева Заказ 116/12 Изд.1773 Тираж 473 Подписное Ц 11 ИИ 11 И Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж. Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Возможны и другие конструктивные варианты столика. В частности, пружины Б могут быть заменены другими известными элементамп для осуществления силового замыкания, в некоторых случаях весом, ведомого звена или установленных на нем элементов. Вместо ползуна 2, взаимодействующего с вертикальными направляющими 3, в качестве промежуточного звена может быть использован клин, перемещающийся по поверхности второго, неподвижного клина; сильфон может быть установлен нс под ведомым звеном, а над ним. Предмет изобретенийСтолик микроскопа, содержащий привод,кинематически связанный с основанием, установленным на вертикальной направляющей корпуса микроскопа, отличпюш,ццся тем, что, с целью уменьшения поперечных смещений и разворота основания при его вертикальном перемещении, направляющая вертикального перемещения выполнена в виде сильфона, од ним торцом укрепленного в корпусе микроскопа, а другим жестко связанного с податружиненным основанием, опирающимся через шариковые опоры на ведомое звено привода.

Смотреть

Заявка

1415084

И. М. Долинский, Г. А. Матвеева

МПК / Метки

МПК: G02B 21/26

Метки: микроскопа, столик

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-322750-stolik-mikroskopa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Столик микроскопа</a>

Похожие патенты