Устройство для катодного распыления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 273616
Авторы: Александров, Шалимов
Текст
ОПИСАН ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советских Социалистических Республик(л. 48 Ь, 13/08 нием заявки М с .присое Приорит ПК С 23 с 13/08 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРОпублико 970. Бюллетень20 21.793.06(088,8) ликования описания 7.1 Х,197 Дата Авторыизобретения В, Шалимов и Б, А, Алексан явител УСТРОЙСТВО матерна.в в зави.скик ка- подлож- переменоны газа ым к кадит расыленные ез газ уются на ачест испол дмет изооретени г пения совнутри нее ержателями,улучшенияо использооды выполй объем каимеюгцюги сов ые подИзвестно устройство для катодного распыления, содержащее камеру с размещенными внутри нее катодами, анодами и подложкодержателями.В предлагаемом устройстве катоды вьгполнены в виде гребенки, заполняющей обьем камеры, между зубьями которой, имеющими форму дисков, расположены дисковые подложкодержатели.Такое выполнение повышает к во покрытия и при этом оптимально ьзуется рабочее пространство камеры.На чертеже представлено предлагаемое устройство.Оно состоит из камеры 1 с размещенными внутри нее катодами 2 и подложкодержателями 3. Анодом служит камера. Катоды выполнены в виде гребенки, заполняющей объем камеры, между зубьями которой, имеющими форму дисков, расположены дисковые подложкодержатели.Герметичная камера откачивается до давления не более 5 10мм рт. ст. При помощи натекателя 4 в камеру вводится рабочий газ и давление повышается до 1 10 - з - 2 10 - г м.н ТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ рт. ст. К катодам из распыляемык лов прикладывают потенциал 1 - 6 к симости от заданнык электрофизиче рактеристпк получаемых пленок. На кодсрнтатели подагот постоянное пли ное напряжение. Положительные н ускоряются потенциалом, приложенн тодам, и бомбардируют и.,. Проис.;о пыление материала катода, и расп атомы материала диффундируют чер разрядном промежутке и конденсир подложках. Устройство для катодного распь держащее камеру с размешеннымг катодами, анодами и подложкод от.гггчаюгггееся тем, что, с целью 20 качества покрытия и оптимальног вания рабочего пространства, кат иены в виде гребенки, заполняюгце меры, между зубьями которой,форму дисков, расположены дис 25 ложкодсрткателн.273616 ставитель А, КутибашвилиТсхрсд Т, П. Курилко Корректор В. Г, Трутне бкова едактор Типография, пр. Сапунов аказ 2498/6 Тираж 480 ЦНИИПИ Комитета по дтам нзобпеаен й н открытий Москва. К-З 5, Раушская наб., Подписноеи Совете Министров СССР45
СмотретьЗаявка
1293434
С. В. Шалимов, Б. А. Александров
МПК / Метки
МПК: C23C 14/38, C23C 14/40
Метки: катодного, распыления
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-273616-ustrojjstvo-dlya-katodnogo-raspyleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для катодного распыления</a>
Предыдущий патент: Кареточная линия для нанесения гальванических покрытий
Следующий патент: Установка для нанесения покрытий в вакууме
Случайный патент: Шарнирно-рычажный механизм преобразователя кривых