Устройство для обработки поверхности
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 271655
Авторы: Воесопэна, Карпушкина, Макаров, Ческа
Текст
271655 ОПИСАНИЕИЗОВРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик.ЧПК Н 01( 7/68УДК 621,382.23 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРОпубликовано 26 Х,1970. Бюллетень18Дата опубликования описания 2 б,Л 11.19 О. Авторыизобретения фееназттехн ичестсаЮтека МБФ А. А. Карпушкина и В, Н, Макаров Зеес нтентнО Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ДИСКОВИзобретение относится к оборудованию полупроводниковой промышленности и может найти применение для одновременной двусторонней обработки полупроводниковых дисков на таких технологических операциях, как ультразвуковые обезжиривание и отмывка, фотолитографические операции, травление, никелирование, при которых недопустимо соприкосновение дисков с инородными поверхностями. Известные устройства не позволяют проводить двусторонней обработки дисков.Предлагаемое устройство состоит из разрезного кольца, по внешнему диаметру которого выполнено ребро жесткости с диаметром, большим диаметра диска, и толщиной, меньшей толщины разрезного кольца, например в два раза; при этом вдоль ребра кольца симметрично разрезу выполнен сквозной паз шириной, равной толщине ребра жесткости, в который помещен клин с углом заострения в плоскости кольца, а ось клина совпадает с осью, противолежащей базовой опоры, тогда как две другие опоры кольца расположены симметрично этой оси под углом не более 90, вершина которого лежит в центре кольца.Это обеспечивает усилие при зажиме диска с одновременным ограничением смятия поверхности опор. На чертеже изображена конструкция держателя в рабочем положении.Разрезное пружинное кольцо 1 имеет реброжесткости по наружному диаметру для увеличения естественных пружинящих свойств материала, из которого выполнено кольцо (стойкий к химическим агрессивным средам материал, например фторопласт).Вдоль ребра симметрично разрезу выпол нен сквозной паз шириной, равнои толщинеребра жесткостц. В паз вставлен клин 2 с углом заострения в плоскости кольца, причем ось клина совпадает с осью противолежащей базовой опоры 3 кольца, тогда как две другие 15 опоры располагаются симметрично этой осипод углом, не более 90, вершина которого лежит в центре кольца.Для фиксации диска в держателе клин 2перемещают по направлению к центру кольца 20 1, при этом кольцо разжимается. В этот момент диск помещается между базовыми опорами и фиксируется в этом положении снятием нагрузки с клина.Держатель с диском направляется на ука занные операции для одновременной двусторонней обработки. Предмет изобретения Устройство для обработки поверхности по ЗО лупроводниковых дисков, выполненное из27 р 655 Составитель В, Шведоваедактор О, Кузнецова Текред Л. Я. Левина Корректор В. Г. Трутней Заказ 235717 Тираж 480 ПодписноеИНИИПИ Когпптета по дедам изобретений и открытий прп Совете Министров СССРМосква, К, Раушская паб., д. 45 ппограпя, пр. Сапунова фторопласта, отличаюгиееся тем, что, с целью обеспечения усилия при зажиме диска с одновременным ограничением смятия поверхности опор, устройство состоит из разрезного кольца, по внешнему диаметру которого выполнено ребро жесткости с диаметром, большим диаметра диска, и толщиной, меньшей толшины разрезного кольца, например в два раза, при этом вдоль ребра кольца симметрично разрезу выполнен сквозной паз шириной, равной толщине ребра жесткости, в который помещен клин с углом заострения в плоскости кольца, а ось клина совпадает 5 с осью, противолежащей базовой опоры, тогдакак две другие опоры кольца расположены симметрично этой оси под углом не более 90", вершина которого лежит в центре кольца.
СмотретьЗаявка
1215352
А. А. Карпушкина, В. Н. Макаров, Воесопэна атентно тех, ческа твкаМБ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/00
Метки: поверхности
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-271655-ustrojjstvo-dlya-obrabotki-poverkhnosti.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для обработки поверхности</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления конденсаторов постоянной емкости
Следующий патент: Коллектор электронного приборас1зч
Случайный патент: Способ осаждения слоев тугоплавких металлов