Способ изготовления конденсаторов постоянной емкости

Номер патента: 271654

Авторы: Атег, Блинов, Важенин

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 27)654ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советоки 1 Совиалистическиз РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваКл. 21 д, 10/02 Заявлено 15,Х.1968 ( 127553826-9) с присоединением заявкиМПК Н 01 д 13/00УДК 621,319,4(088,8) ПриоритетОпубликовано 26 Х.1970. Бюллетень18Дата опубликования описания 8.1 Х.1970 Хомитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРГЛ .:," .ф," Г. А. Блинов и И. Н. Важеннн Заявитель ьиЬЛ 1 т 0 п.х,1 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНДЕНСАТОРОВ ПОСТОЯННОЙ ЕМКОСТИ11 зобретение относится к области радиотехники, а именно к области технологии изготовления пленочных конденсаторов постояшгой . емкости для пленочных схем.Известен способ изготовления пленочных 5 конденсаторов постоянной емкости, основанный на послойном осаждении на подложку термическим испарением в вакууме из резистивного испарителя сублимата, содержащего двуокись кремния и алюминия. 10Однако этот способ очень критичен к температуре испарения, что затрудняет получение конденсаторов с высокими и повторяющимися электрическими параметрами. Предмет изобпетения Способ изготовления конденсаторов постоянной емкости, основанный на последовательном напылении в вакууме диэлектрических слоев из сублимата, содержащего двуокись кремния, и металлических слоев, например слоев алюминия, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических параметров 1(онден 15Цель изобретения - изготовление тонкопленочных конденсаторов, ооеспечивающих высокую воспроизводимость их параметров в процессе производства и уменьшение влияния температуры испарителя на параметры изго тавливаемых конденсаторов.Для этого используют сублимат, состоящий из 30 - 70% двуокиси кремния, 5 - 40% окиси алюминия, до 10% двуокиси титана, до 15% окиси кальция и до 15% окиси магния, кото рый превращают в порошок и непрерывно подают на ниооиевую или танталовую ленту, нагретую до 1700 - 1950 С, с последующей термообработкой полученных конденсаторов на воздухе при температуре 100 в 2 С, 30 В качестве подложки используют ситалловую или стеклянную пластинку, обработанную по 14 классу точности. Подложку очищают в перекиси водорода. Температуру ее при испарении поддерживают в пределах от 50 до 70 С и размещают на расстоянии около 200 .н.я от испарителя. Скорость осаждения составляет 5 - 10 Л/сек. После напыления диэлектрика напыляют алюминий, повторяя этот процесс до получения конденсатора требуемой емкости. Воспроизводимость параметров конденсаторов составляет 93% при 15%-ном допуске. При испытании на термоцпклирование полученные конденсаторы легко выдерживают 50-кратные перегрузки от - 60 до +125 С, так как температурный коэффициент расширения диэлектрической пленки близок к коэффициенту расширения подложки.Редактор Т. Иванова Заказ 2319/5 Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изооретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, )К, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 саторов и уменьшения разброса этих параметров в процессе массового производства, сублимат состоит из 30 - 70% двуокиси кремния, 5 - 40% окиси алюминия, до 10% двуокиси титана, до 15% окиси магния и до 15% окиси кальция, а испарение его производят при непрерывной подаче на нагретую до 1700 - 1950 С танталовую или ниобиевую ленту с последующим термообяигом диэлектрических 5 слоев на воздухе при температуре 100 - 250 С,

Смотреть

Заявка

1275538

Г. А. Блинов, И. Н. Важенин, АТЕГ ГЯС

МПК / Метки

МПК: H01G 4/00

Метки: емкости, конденсаторов, постоянной

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-271654-sposob-izgotovleniya-kondensatorov-postoyannojj-emkosti.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления конденсаторов постоянной емкости</a>

Похожие патенты