Способ изготовления пленочных электронагревателей

Номер патента: 1033853

Опубликовано: 07.08.1983

Авторы: Кайбин, Калнин, Кулешов

МПК: G01B 7/06

Метки: диэлектрической, нанесенной, пленки, подложку, проводящую, толщины

...натянута полимерная пленка с металлнзированным покрытием, Цилиндр заполнен жидкой средойили тонкой суспенэией, давцение которойрегулируется, благодаря чему может бытьплавно изменена пластичность электрода,чтопозволяет контролировать неравномерное по",крытие с особо шероховатой поверхностью Я.Однако выполнение электрода емкостного преобразователя из металлцолимерного композиционного материала не позволяет измерять толщину диэлектрическогопленочного покрытия, меньшую чем 35 мкм на неболыцих участках поверхности,площадь которых не превышает десятыхдолей квадратного сантиметра.Целью изобретения является повьццениеточности измерения толщины тонких пленок порядка О, 015 - 3 мкм с большой50пористостью и повышение степени локааности...

Номер патента: 947688

Опубликовано: 30.07.1982

Авторы: Ханжин, Яковлев

МПК: G01N 3/00

Метки: металлическую, нанесенной, пленки, подложку, прочности

...В процессе деформированияматериал подложки упрочняется и О,предел текучести повышается. Однако947688 формула изобретения 30 Составитель М. Кузьмин Техред М. Надь Корректор М. Шарошн Редактор М. Янович Тираж 887 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 5620/64 филиал ППП 1 Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 это увеличение ограничено предель-, ным значением предела текучести, после достижения которого увеличение деформации уже не вызывает существенного увеличения напряжения. Этот факт используется при последующем совместном деформировании подложки и пленки, когда предел текучести не изменяется и остается равным предельному значению...

Номер патента: 1280311

Опубликовано: 30.12.1986

Автор: Альперович

МПК: G01B 11/06

Метки: нанесенных, пленок, подложку, толщины, тонких

...Результатвзаимодействия лучей, отраженных отформула из обр ет енияверхней и нижней поверхностей пленки 4 О1, регистрируется устройством 6. При;измерении изменяют длину волны интерферирующих лучей и фиксируют зна,чения длин волн, соответствующиедвум соседним максимумам или минимуВыполнение пластинки клиновидной 35 дает возможность исключиь ияниена результат измерений засветки, вызываемой отражением от верхней поверхности. Способ измерения толщины тонкихпленок, нанесенных на подложку, за"ключающийся в том, что освещаютконтролируемую пленку пучком инфра 45 красного излучения, наблюдают интер" Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок,прозрачных в инфракрасной...

Номер патента: 1465739

Опубликовано: 15.03.1989

Авторы: Головчанский, Марченко

МПК: G01N 1/28, G01N 23/225

Метки: исследований, кремниевой, микроскопических, нанесенных, образцов, пленок, поверхность, подложки, приготовления, электронно

...комбинат "Патент", г.ужгород, ул, Гагарина,101 3 14657 к мнатной температуре является насыщ иным),При температуре раствора менее Зф С увеличивается продолжительностьо процесса, а использование раствора с температурой более 80 С приводит к растворению,самой отделяемой пленки.В таблице приведены результаты р ализации способа приготовления о разцов при различных параметрах п оведения процесса.П р и м е р. Проводят отделенир пренки ниобия (%) толщиной 1000 А,апыленной на кремниевую подложку (100) в 453-ном растворе КОН при 65 С. Время отделения пленки составет около 5 мин при скорости растрения самой пленки .60-70 А/мин. осле отделения с помощью специальой сетки кусочки пленки помещают в стиллированную воду. Свертыванияки не...

Номер патента: 1469444

Опубликовано: 30.03.1989

Автор: Гутлянский

МПК: G01N 29/04

Метки: диэлектрическую, металлических, нанесенных, пленок, подложку, ультразвукового

...перпендикулярно контролируемой пленке фиксируют поперечные колебания подложки, При наложении магнитного поля параллельно контролируемой пленке Фиксируют продольные колебания подложки. При наложении поля под острым углом к пленке Фиксируют продольные или поперечные колебания.Для определения площади р отслоенного участка, в случае если его площадь меньше площади Ы пятна магнитно го поля, измеряют амплитуды Аз и А колебаний для неотслоенного и отслоенного участков соответственно и определяют по Формулеа рА55А 1Устройство, реализующее способ контроля, работает следующим образом. Акустические колебания в подложке 17 возбуждаются силами Лоренца, которые возникают при прохождении переменного электрического тока, генерируемого генератором...