Интерферометр для контроля правильности формы торических поверхностей

САН ОпИ И Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ 247509 Союз Сооетоких Социалистических РесдубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельствааявлено 12,7.1967 ( 1147887125-28присоединением заявкил. 42 Ь, 12/О К 60 иоритет Комитет ло делам изобретений и открыт при Соеете 1 линистро СССР, М. Долинский ве е Заявител енинградское оптико-механическое объединение ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРАВИЛЬНОС ФОРМЫ ТОРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ еского зеркала 7 с поверхностью или в ого илп цплиндричееским зеркалом 9 с поверхностью, приакдого зеркала сисеской осью объекти. иную вжной от сочетан зерка,енней еометр совпад виде конич ражающей ия коническ а 8 с конич тражающейческая ось ает с оптпч олн ару ского внур чем г темы Известны интерферометры для контроля правильности формы торических поверхностей, например, желоба наружного и внутреннего кольца шарикоподшипника, содержащие источник излучения, например лазер, разде лительный блок, выполненный в виде кубика с полупрозрачной диагональю, эталонное зеркало, объектив и окуляр.Предложенный интерферометр отличается от известных тем, что он снабжен отражаю щей системой, выполненной в виде конического зеркала или сочетания конического зеркала с коническим или круговым цилиндрическим зеркалом, расположенной в ходе световых лучей за объективом таким образом, 15 что геометрическая ось каждого зеркала системы совпадает с оптической осью объектива.Такое выполнение интерферометра позволяет повысить производительность контроля правильности формы торических поверхно стей.На фиг. 1 дана принципиальная схема описываемого интер ферометра, настроенного на контроль желоба наружного кольца шарикоподшипника; на фиг. 2 - интерферометр, 25 настроенный на контроль желоба внутреннего кольца шарикоподшипника,Интерферометр содержит источник 1 излучения, например газовый лазер, разделительный блок, например полупрозрачную пласти ну 2, эталонное зеркало 3, объектив 4, окуляр б с сеткой б и отражающую систему, выИнтерферометр работает следующим образом.Пучок лучей от источника 1 направляется на полупрозрачную пластину 2, которая разделяет его на два пучка. Один пучок попадает на плоское эталонное зеркало 8 и, отразившись от него, направляется в окуляр б, а другой - пдст в объектив 4 и далее на коническое зеркало 7 (илп на сочетание конического или цилиндрического зеркала 8 с коническим зеркалом 9), преобразующее изображение, даваемое объективом, в кольцевую линию, совпадающую с геометрическим местом центров кривизны образующих окружностей торической поверхности кольца шарикоподшипника 10.После отражения от поверхности кольца 10 пучок идет в обратном направлении, Отражающая поверхность зеркала 7 (илп сочетание зеркал 8 и 9) направляет пучок лучей в объектив 4.Из объектива 4 пучок идет на полупрозрачную пластину 2, отражаясь от которой интерферирует с первым пучком и направляется в247509 Составитель В. МартыновРедактор Г, Гончарова Техред А. А. Камышникова Корректор С. М. Сигал аказ 3188/14 Тираж 480 ПодписноеНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква Ж, Раушская наб., д. 4 у 5 Типография, пр. Сапунова, 2 окуляр 5. Оба пучка фокусируются на диафрагму 11, непосредственно за которой находится глаз наблюдателя. При правильной геометрии поверхности кольца 10 наблюдатель видит равномерное освещенное поле. Отклонение формы поверхности контролируемого кольца от идеальной приводит к появлению в поле зрения наблюдателя интерференционных полос и их деформации. По числу видимых полос и по величине их деформации можно определить величину отклонения контролируемой поверхности от идеальной. Предмет изобретения Интерферометр для контроля правильностиформы торических поверхностей, например,желоба наружного и внутренного кольца шарикоподшипника, содержащий источник излучения, например газовый лазер, разделительный блок, например полупрозрачную пластин ку, эталонное зеркало, объектив и окуляр, вполе зрения которого наблюдается интерференционная картина, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности контроля, он снабжен отражающей системой, выТ 0 полненной в виде конического зеркала илисочетания конического зеркала с коническим или круговым цилиндрическим зеркалом, расположенной в ходе световых лучей за объективом таким образом, что геометрическая ось 15 каждого зеркала системы совпадает с оптической осью объектива.