Способ измерения парциального давления парогазовой смеси

Номер патента: 1787508

Опубликовано: 15.01.1993

Авторы: Андреев, Подрядчиков, Приходько, Шестаков

МПК: B01D 53/14, B01D 53/34, C01B 33/08

Метки: кремния, парогазовой, смеси, тетрахлорида

...точки "росы". Такое ре-шение задачи значительно отличается от решений известных аналогов и прототипа,Положительный эффект при использовании предлагаемого изобретения проявляется в высокой эффективностигазоочистки,Существенным отличием предлагаемогоспособа очистки парогазовой смеси от ТХК всравнении с аналогом и прототипом являются следующие отличительные признаки;- предварительное охлаждение парогазовой смеси до точки "росы" извлекаемогокомпонента;10 15- контактирование захоложенной парогазовой смеси в объеме воды, превышающем стехиометрическое количество в 3 - 3,5 раза, Сочетание таких существенных отличительных признаков способствует полнотегидролиза хлорсиланов и практически исключает образование тумана соляной кислоты.По каждому...

Номер патента: 1816465

Опубликовано: 23.05.1993

Авторы: Гонопольский, Гуцевич, Кроквенко, Пинчук, Сорока

МПК: B01D 5/00, G01N 25/02, G05D 27/00

Метки: парогазовых, разделения, смесей, составляющих

...два обтекаемых тела 10. Количество лопастей ротора К выбирают в зависимости от требуемой частоты Е наложения ударной волны на технологический потоккоторая определяется из выра- жения 304050 Р=К Р 1,н где Е 1 - частота вращения быстроходного вала 7 привода 8,На фиг. 1 роторы содержат йо две лопасти К=2.Измерение давления в фронте ударной волны производится при помощи преобразователя 11. Давление фазового перехода осаждаемой кбмпоненты газовой смеси выбирается по справочным или эксперимен- тальныМ данным и задается блоком задатчика давления 12. Сигналы от преобразователя 11 и задатчика 12 поступают на устройство сравнения 13, выход которого связан с входом системы управления частотой 14 вращения вала движителя привода 8....

Номер патента: 1810781

Опубликовано: 23.04.1993

Авторы: Александрова, Босов, Кузин, Поветьев, Пустошкин, Шабалина

МПК: G01N 1/00, G01N 7/10

Метки: градуировочных, парогазовых, смесей

...камеру 7, заполненную сорбентом 8, насыщенным легколетучим веществом, Камера 7 выполнена в виде стакана, соединенного открытым концом через мембрану 4 и уплотнительную фторопластовую прокладку 9. с камерой 1. Сосуд помещен в термостатируемый канал 10, через который пропускается газ-носител ь.Предлагаемый способ использовался при получении паровоздушных смесей фосгена с концентрациями 0,2 - 2 мг/м и заклюз чается в следующем:активированный уголь (сорбент) 8 насыщается парами фосгена в течение 10-15 мин, помещается в камеру 7 сосуда для дозирования и.закрывается проницаемой мембраной 9. В буферную камеру 1, которая герметично, через фторопластовую прокладку 5, закрывает камеру с сорбентом 7 помещается низколетучий растворитель -...

Номер патента: 1137860

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Волынский, Гуржий, Дюнов, Елункина, Зотов, Иванов, Казакевич, Красовицкий, Лобов, Резниченко, Синчук, Татаринов

МПК: F25J 3/08, G05D 27/00

Метки: водорода, водородного, восстановления, кремния, непрерывной, отходящей, парогазовой, печей, полупроводникового, производстве, процессом, регенерации, смеси

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода исходного хладагента, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода регенерированного водорода, увеличения извлечения трихлорсилана в основной конденсируемый продукт и уменьшения энергозатрат, испаренный азот, выходящий из теплообменника-вымораживателя и направляемый последовательно по теплообменникам процесса регенерации навстречу парогазовой смеси, перед вводом его в очередной теплообменник распределяют в зависимости...

Номер патента: 700808

Опубликовано: 30.11.1979

Авторы: Лээтс, Сийрде, Силд, Эрм

МПК: G01N 1/22

Метки: веществ, насыщенной, органических, парогазовой, подготовки, пробы, смеси

...газа-носито -ля и каплеуловителя 12, к которомуподсоединен второй конец гидравлического затвора 4. Каплеуловитель 12 сое.динен при помощи резинового уплотнения 13 и металлического капилляра 14с испарйтелем газового хроматографа15, Вне термостата 1 находятся клапан16 выключения прямого потока газа-носителя, управляемый вручную или припомощи. реле времени, и электромагйит17, служащийприводом поршня 5,Устройство работает следующим образом,Гидравлический затвор 4 устройстванаполняют жидкостью, не абсорбирующейпары исследуемых веществ, напримерртутью. Устройство соединяют с испарителем газового хроматографа 15через капилляр 14, загружают в ка-меру 2 насыщения исследуемую смесьчерез отверстие 9, закрывают отверстйе 9.Валлон с...