Подрядчиков

Способ очистки парогазовой смеси от тетрахлорида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1787508

Опубликовано: 15.01.1993

Авторы: Андреев, Подрядчиков, Приходько, Шестаков

МПК: B01D 53/14, B01D 53/34, C01B 33/08 ...

Метки: кремния, парогазовой, смеси, тетрахлорида

...точки "росы". Такое ре-шение задачи значительно отличается от решений известных аналогов и прототипа,Положительный эффект при использовании предлагаемого изобретения проявляется в высокой эффективностигазоочистки,Существенным отличием предлагаемогоспособа очистки парогазовой смеси от ТХК всравнении с аналогом и прототипом являются следующие отличительные признаки;- предварительное охлаждение парогазовой смеси до точки "росы" извлекаемогокомпонента;10 15- контактирование захоложенной парогазовой смеси в объеме воды, превышающем стехиометрическое количество в 3 - 3,5 раза, Сочетание таких существенных отличительных признаков способствует полнотегидролиза хлорсиланов и практически исключает образование тумана соляной кислоты.По каждому...