Диффузионный насос

(56) Авторское сМ 1276856, кл,Вакуумнаялов Е.С., Минайи др. М,: Машрис.10.25. сится к варетно к дифки вакуумно оборудоаметрами ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗО АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЪСТ)ч". 17нститут электронного мав, Е.Н,Ивашов, С.М.Оринков, С,В.Степанчиков етельство СССР видГ 04 Р 9/00, 1985,техника, Справочник. Фрочев В.Е., Александрова А,Тиностроение, 1988, с,244 Изобретение отно куумной технике, а более конк фузионным насосам для откач ых объемов технологическог вания с контролируемыми пар экологии среды.Цель изобретения - повышение производительности насоса при снижении потребляемой энергии,Сущность изобретения поясняется чертежом, где показана конструкция диффузи-. онного насоса.Диффузионный насос содержит корпус 1, нагреватель 2, систему охлаждения 3 и систем улавливания паров масла 4, Корпус 1 выполнен составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя часть 5 металлическая, покрыта теплоизоляционным материалом 6, средняя часть 7 иэ материала с низким коэффициентом теплопроводности, керамическая, а верхняя часть связана с системой охлаждения и выполнена в виде цилиндрической тепловой трубы 9 радиального действия, Причем отношение Ы, 1813933 А 1 ИОННЫЙ НАСОСвание: в вакуумной технике. обретения: корпус выполнен трех частей, герметично свяу собой, Нижняя часть выполческой, средняя из материала ффициентом теплопередачи, ана с системой охлаждения. корпуса покрыта теплоизоляериалом, средняя выполненаверхняя в виде цилиндричетрубы радиального действия. ин каждой из частей к общей а составляет соответственно /2:1. 1 ил,(54) ДИФФУЭ (57) Испольэо Сущность иэ составным из занных межд нена металли с низким коэ верхняя связ Нижняя часть ционным мат керамической ской тепловой Отношение дл длине корпус 1/4:1,1/4:1 и длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет соответственно 1/4;1,1/4;1 и 1/2:1.Диффузионный насос работает следующим образом,В результате нагрева нижней части 5 насоса происходит испарение рабочей жидкости (масла), которая условно не показана. Происходит диффузия остаточных молекул газа в обьем диффузионного насоса. Интенсивное охлаждение паров масла обеспечивается посредством тепловой трубы 9 радиального действия и системы охлаждения 3. Повышенная эффективность охлаждения и снижение энергозатрат на нагрев и испарение масла достигается посредством использования керамического материала (материала с низким коэффициентом теплопроводности), из которого выполнена средняя часть 7 диффузионного насоса. Наличие теплоизоляции на нижней час насоса позволяет сократить до минимуэнергопотери и, следовательно, снизить1813933 авитель С,Степанчиков.ед М.Моргентал Корректор М.К едактор В.Савина ан Заказ 1820 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 потребляемую энергию на эксплуатацию насоса,Экспериментальные исследования опытной конструкции диффузионного насоса позволили предложить ортимальные соотношения между линами каждой из частей насоса: 1/4:1/4,1/2.Применение конструкции диффузионного насоса позволяет повысить его производительность при снижении потребляемой энергии, а также улучшить экологию остаточной газовой среды,Формула изобретения Диффузионный насос, например для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, содержащий нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус, выполненный составным иэ трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполне на иэ материала с низким коэффициентомтеплопроводности, а верхняя связана с системой охлаждения, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности насоса при снижении потребляемой 10 энергии, нижняя часть корпуса покрыта теплоиэоляционным материалом, средняя часть выполнена керамической, а верхняя - в виде цилиндрической тепловой трубы радиального действия, причем отношение 15 длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет соответственно 1/4:1,1/4:1 и 1/2:1.