Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей

Номер патента: 180376

Автор: Контиевский

ZIP архив

Текст

180376 Союз Советских Социалистических Республик.Зависимое от авт. свидетельстваКл, 421 т, 34/1 лено 08.1,1965 ( 941902/26-25) с присоединением заявкиКомитет по делам зобрвтениЯ и открытиЯ при Совете Министров СССР(088.8) Опубликовано 21,1,1966. Бюллетень Дата опубликования описания 5 Л.19 Авторизобретения иевски явите ТЕРфЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕИмещением двух изображения наводки удваив перемещении п5 плоскости ее г через призму ч ремещается на личины переме 10 Предлагаемый интерферометр позволяетизмерять стрелки искривления полос равной толщины с точностью до 0,005 полосы в любой части проверяемой поверхности.Схема предлагаемого интерферометра пред ставлена на чертеже.Свет от источника 1 монохроматическогоизлучения конденсором 2 проектируется в полость диафрагмы 3, которая расположена в фокальной плоскости объектива 4. Параллель ный пучок лучей, вышедший из объектива,проходит через контролируемую 5 и эталонную б поверхности. Отраженные от этих поверхностей лучи интерферируют между собой, образуя полосы равной толщины, которые на блюдаются через окуляр, помещенный задиафрагмой 7, расположенной в фокальной плоскости объектива 4, Светоделительная пластина 8 направляет лучи в окуляр. Между объективом 4 и контролируемой поверх ностью 5 введена призма 9 Дове, главная ния.Контрольпо измерениной толщиньразом, чтобправлениемпендикулярнВысокая тционную пол Известны интерферометры для контроля качества плоских оптических поверхностей по измерению искривлений полос равной толщины посредством двухлучевой интерференции, содержащие осветительную и наблюдательную системы.Предлагаемый интерферометр отличается от известных тем, что между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную поверхность, введена призма Дове, главное сечение и отражающая грань которой параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.Призма Дове установлена на направляющие, которые обеспечивают ее прямолинейное перемещение в двух взаимно перпендикулярных направлениях, параллельных плоскости контролируемой поверхности.Направляющие снабжены отсчетным устройством для измерения величины перемещекачества поверхности производят ю стрелок искривления полос рав, которые ориентируют таким обих направление совпало с наперемещения призмы Дове, перым ее главному сечению.очность наводки на интерференосу достигается нониальным соввзаимно повернутых частеи полосы. Кроме того, точность ается благодаря тому, что при ризмы Дове в направлении павного сечения наблюдаемая асть изображения полосы певеличину, вдвое большую вещения призмы.180376 П редмет изобретения Составитель И. Иебосклонова Редактор В. Сорокин Техред А, А. Камышникова Корректоры: Л. Е, Марисич и Ю. М. федуловаЗаказ 951/9 Тирак 850 Формат бум. 60 Х 90/з Объем 0,16 изд. л. ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 плоскость и отражающая грань которой параллельны оптической оси объектива 4. Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, содержащий осветительную и наблюдательную системы, отлнчаоп 1 пйсл тем, что, с целью повышения точности контроля, между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную поверх ность, введена призма Дове, главное сечениеи отражающая грань которой параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.

Смотреть

Заявка

941902

Ю. П. Контиевский

МПК / Метки

МПК: G01B 11/30, G01B 9/02

Метки: интерферометр, качества, оптических, плоских, поверхностей

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-180376-interferometr-dlya-kontrolya-kachestva-ploskikh-opticheskikh-poverkhnostejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей</a>

Похожие патенты