Номер патента: 180375

Автор: Мотовилов

ZIP архив

Текст

Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 20,Ч,1964 ( 901347/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 21,11,1966. Бюллетень7Дата опубликования описания 5 Х 1966 Кл. 42 Ь, 34/04 Комитет по делам изабретвиий и открытий при Совете Министров СССР.611,088(088.8) Авторизобретения О. А. Мотовилов Заявитель ВИЗУАЛЬНЫЙ ФОТОМЕТР 1Визуальные фотометры для контроля толщины слоев в ультрафиолетовой области спектра методом трансформации, содержащие источники света, люминесцирующий экран и светофильтры для ультрафиолетовой области спектра, известны.Предлагаемый фотометр отличается от известных тем, что в нем установлены: спектрозональные зеркала с высоким коэффициентом отражения, выделяющие области спектра 240 в : 280 тр, 280 в : 330 тр и 330 в ; 400 тр экран, разделенный на три сектора и люминесцирующий синим, зеленым и красным светом; поворотная призма Дове перед окуляром.Это отличие позволяет повысить интенсивность рабочего потока и точность контроля толщины покрытий. На вериг. 1 изображены три оптических канала, вид сверху; на фиг. 2 - один из оптических каналов в вертикальном сечении, разрез по А-А; на фиг. 3 - экран, вид сверху.Свет от источника 1 УФ-радиации, например дуговой водородной лампы ВУ, проектируется кварцевой линзой 2 через светофильтр 3, отражающий видимую область спектра, с помощью отклоняющего плоского зеркала 4 на исследуемую поверхность б образца. 2Далее изображение светящегося тела водо.родной лампы вогнутым спектрозональным зеркалом б, отражающим заданную длину волны, переносится на светящийся экран 7, 5 который защищен кожухом (на чертеже непоказан) от засвечивания посторонними ис.точниками света, и вызывает свечение фосфора соответствующего сектора экрана своимцветом.10 Экран представляет собой кольцо из трехравновеликих секторов 8, 9 и 10, покрытых фосфором и светящимися синим, зеленым и красным светом под действием падающих на них трех потоков, разделенных по спектру, 15 На поверхность образца спроектированысовмещенные интегральные УФ-изображения 11 источников. Спектрозональные зеркала с полосами отражения 240 - ;280 тр вызывают синее свечение, 280 - :330 тр - зеленое, 20 330 - :440 тр - красное, При смешиваниитрех цветов вращением призмы 12 Дове получается кольцо,показанноештрихами на фиг. 3.При равновесии излучений фосфора всехтрех секторов цвет кольца становится белым, 25 что можно получить, изменяя потоки УФ-радиации с помощью ирисовых диафрагм 1,3, 14 и 1 б.Имеющий цвет просветленный образецнарушит равновесие излучений, светящееся 30 кольцо окрасится, и по его цвету можно суДить о толщине просветляющего покрытия (цвет видно глазом 1 б).Все три оптических канала фотометра расположены под углом 120 друг к другу.Предмет изобретенияВизуальный фотометр для контроля толщины слоев в ультрафиолетовой области спектра методом цветной трансформации, содержащий источники света, люминесцирующий экран и светофильтры для ультрафиолетовой области спектра, отличающийся тем, что, с целью повышения интенсивности рабочего потока, в нем установлены спектрозональные зер кала с высоким коэффициентом отражения,выделяющие области спектра 240 - :280 тр, 280 в : 330 тр и 330 в : 400 тр, экран, разделенный на три сектора, люминесцирующий синим, зеленым и красным светом, и поворот ная призма Доне перед окуляром.Редактор Л. А, И Составитель на Техред А. АЗаказ 951/8 Тираж 850 Формат бум. 60 Х 90/в Объем ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений н открытий приМосква, Центр, пр. Серова, д. 4ипография, пр. Сапунова,27 изд. л. Подписиовете Министров СС

Смотреть

Заявка

901347

О. А. Мотовилов

МПК / Метки

МПК: G01B 11/06, G01J 1/58

Метки: визуальный, фотометр

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-180375-vizualnyjj-fotometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Визуальный фотометр</a>

Похожие патенты