Патенты с меткой «микрозондового»
Электронно-оптическая система микрозондового устройства
Номер патента: 997135
Опубликовано: 15.02.1983
Автор: Дер-Шварц
МПК: H01J 37/04
Метки: микрозондового, устройства, электронно-оптическая
...источник 1 электронов эмиттирует пучок электронов либо в результате холодной автоэлектроннойэмиссии, либо в результате смешанной , автотермоэмиссии. В последнем случае 45катод подогревается до температурыпоряцка 1500 С. В обоих случаях эмиссия обеспечивается наложением разности потенциалов между катодом 1 и первым.анодом 2 ускоряющего промежутка, который находится под более положительным потенциалом, чем катодЭлектроны, вышедшие из источника 1, ускоряются, начиная с момента их выхода иэ катода и кончая моментом. выхода из поля ускоряющего промежутка, при этом 555 второй анод 3 находится под .положительным потенциалом относительно первого анода 2. Однако ускоряющий. промежуток работает в таком режиме, что он формирует только...
Способ настройки электронно-оптической системы растрового микрозондового прибора
Номер патента: 1465922
Опубликовано: 15.03.1989
МПК: H01J 37/24
Метки: микрозондового, настройки, прибора, растрового, системы, электронно-оптической
...г ДОСтИГаЕтСЯ МаКСИМаЛЬНаЯ яркость при сохранении оптималъцьх условий фокусировки луча В плОскости ОбъектОдзржа 1 еля,Таким Образом, товышенцая точность настройки ЭОС в предложенном способе достигается за счет Взаим 0;опслняющих факторов, Исключается анализ соб.= СТВЕК)гО эстбрттцятил., ЕТО СцяжаЕт псгрешцости пэлучас.мых статистическис с)3=.д )етй, р)", этОм испОльзуютсч "а 1(т(я 1(р т-"ттг а СТ р ГК 11 )ОС, 3138 Чя ция которьх легко МО-ут быть измере= цы с высо(0.-.:. Тэчцлстью, . ПсследоВатя.:т Нсаст: оператцсй цастроики ОбеспячВает ЛОследОВсгтРЛЬНОя сОВмещяеие 01 тктЯСК.Х ОСЕЙ ЮСТКРУЯ 1 ЫХ Э)ТЕМЯТО)3 ЭОС и рс 117 Л с 3 гтуглы ца(лона,-уча к Осям э их элРтентОБ беэ х Дшения т 3 аЦЯЕ ЕастГРОЯЕЦЬ)Х ЭЯЕЦТОВИ р и м з р,. Способ...