Способ изготовления интегральных микролинз

(53) 666.1.053,6 (56) Брегеда И. ных микролин электростимули метрия, 1985, й (54) СПОСОБ РАЛЬНЫХ МИК(088.8)Д. и др. Матрицаз, изготовленнаярованнойдиффузи6, с.31 - 33,ИЗГОТОВЛЕНИЯРОЛИНЗ градиент- методом и. - АвтоНТЕГзом,На одноподложки н формируюта составляющи ваемых микр сторону сте сплошной сл дальнейшем ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(57) Изобретение относится к интегральной оптике и может быть использовано при из-. Изобретение относится к интегральнои оптике, а именно к способам обработки стекла, и может быть использовано при изготовлении как единичных микролинз, так и матриц интегральных микролинз, предназначенных для устройств оптической обработки информации и волоконно-оптических систем связи.Целью изобретения является улучшение сферичности и воспроизводимости микролинз.Способ осуществляют следующим обраи из поверхностеи стеклянной а местах будущих микролинз люминиевые диски диаметром м 0,1 - 0,2 диаметра изготавли олинз, а на противоположную клянной подложки наносят ой алюминия, выполняющий в роль катода, 8 поверхность готовлении матриц и единичных интегральных микролинэ, предназначенных для устройств обработки и передачи оптической информации. С целью улучшения сферичности и воспроизводимости микролинз в способе изготовления интегральных микролинз на поверхности стеклянной подложки формуют алюминиевые диски диаметром 0,1 - 0,2 диаметра изготавливаемых микролинз, Затем осуществляют электростимулированную диффузию ионов рубидия в междисковые зоны подложки, удаление алюминиевых дисков и диффузию серебра в полученные матрицы на стеклянной подложке. Полученные микролинзы имеют высокую степень сферичности, без искривлений и других нарушений поверхности,подложки осуществляют электростимулиро-ванную диффузию ионов рубидия иэ расплава нитрата рубидия, анод при этомпогружен непосредственно в расплав. Затем алюминиевые диски удаляют и в стеклянную подложку внедряют ионы серебраиз расплава нитрата серебра поддействиемвнешнего стимулирующего поля. В результате в стекле формируются микролинзы,имеющие хорошую сферичность, а в промежутках между ними отсутствуют неконтролируемые зоны с повышенным показателемпреломления. Для изготовления микролинзможет быть использовано любое натрий-силикатное стекло с содержанием г)а 20 не ниже 70 ь,Ниже приведен конкретный примеросуществления способа.П р и м е р. На подложке стекла отфотопластин размером 30 х 30 х 1,25 мм припомощи термического вакуумного напыле1694502 Составитель Т.НикульниковаТехред М.Моргентал Корректор М,Максимишинец Редактор А.Маковская Заказ 4123 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 ния и фотолитографии создают алюминиевые диски диаметром 20 мкм и толщиной 1,5 мкм. На противоположную поверхность стеклянной подложки наносят сплошной слой алюминия толщиной 1,5 мкм, выполняющий в дальнейшем роль катода, Стеклянную подложку поверхностью с алюминиевыми дисками приводят в соприкосновение с расплавом нитрата рубидия, в который погружен платиновый электрод, выполняющий роль анода. К аноду и катоду прикладывают постоянное напряжение величиной 20 В, под действием которого в поверхность подложки осуществляется внедрение ионов рубидия при температуре380 + 5 С в течение 3 мин. По окончании , диффузии алюминиевые диски удаляют пу тем травления в растовре КОН, По окончании травления подложку приводят в соприкосновение с расплавом нитрата серебра. Формирование микролинз осуществляют электростимулированной диффузией ионов серебра из расплава нитрата серебра при температуре 2605 С в течение 90 мин , при внешнем стимулирующем напряжении50 В. В результате диффузии ионов серебра , на стеклянной подложке формируются мат ,рицы микролинз, представляющие собой ; полусферу диаметром 160 мкм, Полученные микролинзы имеют вь 1 сокую степень сферичности, без искривлений и других нарушений поверхности, что обусловлено отсутствием неконтролируемых зон диффузии ионов серебра,Для того, чтобы формируемые микролинзы имели сферическую форму, необходимо, чтобы диаметр алюминиевого дискаравнялся 0,1 - 0,2 диаметра формируемой5 микролинзы,Применение предлагаемого способа посравнению с существующими обеспечивает:отсутствие искажений формы и улучше 10 ние сферичности изготавливаемых микролинэ;отсутствие дефектных областей в промежутках между линзами;увеличение выхода годных иэделий за15 счет повышения воспроизводимости микролинз,Формула изобретенияСпособ изготовления интегральныхмикролинз путем нанесения на одну сторо 20 ну стеклянной подложки сплошного алюминиевого покрытия, а на другуюмаскирующего слоя из алюминия с последующей электростимулированной диффузиейв нее ионов серебра из расплава азотно 25 кислого серебра, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью улучшения сферичности и воспроизводимости микролинз, маскирующийслой выполняют из алюминиевых дисков диаметром, равным 0,1-0,2 диаметра микро 30 линз, затем из расплава нитрата рубидияосуществляют электростимулированнуюдиффузию ионов рубидия в свободные зоныстеклянной подложки, после чего удаляюталюминиевые диски и осуществляют диффу 35 зию серебра.