Зондовое устройство

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 14 829 А 19) а) 4 Н 05 К 1/ РЕТЕНИ оль- ного Ь.) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ ПИСАНИЕ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Пензенский филиал Всесоюзнонаучно-исследовательского технолческого института приборостроени(56) Авторское свидетельство СССР 728227, кл. Н 05 К 1/11, 1973,(57) Изобретение может быть испзовано для измерения поверхност и удельного сопротивлений полупроводниковых (ПП) материалов, в частности, четырехзондовым методом, Цельизобретения - улучшение эксплуатационных характеристик - достигаетсятем, что предметный столик состоитиз неподвижной и подвижной частей23 и 24 соответственно и противовеса 25. На неподвижной части 23 закреплен кронштейн 26, в котором установлен ходовой винт 27, взаимодействующий с противовесом 25. Подвижная часть 24, на которую устанавливается ПП структура 28, постоянноподжата к ходовому винту 27 пружиной. 3 ил.Изобретение относится к радио технике и может быть использованодля измерения поверхностного и удельного сопротивлений полупроводниковых материалов, в частности, четырехзондовым методом.Цель изобретения - улучшение эксплуатационных характеристик за счетобеспечения возможности измерения1 Опараметров полупроводниковой структуры по всей поверхности беэ отключения вакуумной присоски и беэ пере, мещения измеряемой структуры отно сительно поверхности предметного, столика.На фиг. 1 изображено эондовоеустройство; на фиг. 2 - предметныйстолик; на фиг. 3 - зондовая головка с предметным столиком,Зондовое устройство состоит изчетырехзондовой головки 1, предметного столика 2 пантографа 3, демпфера 4, стойки 5, станины 6, манипулятора 7, рукоятки 8 подъема демпфера 4, регулятора 9 нагрузки, вакуумной присоски 10, грузов 11, регулировочных винтов 12 и 13, обоймы 14,подвески 15, оси 16, станины 17,винта 18, который служит для установки оси 16 в центральную плоскостьмежду потенциальными зондами 19 запрессованными в изолирующий корпус20. В четырехзондовой головке распола.гается цара подвижных токовых зондов21, К торцам зондов прикреплены эле 35ктрические выводы 22. Предметный столик 2 состоит из неподвижной 23 иподвижной 24 частей и противовеса 25,На неподвюкной части 23 предметногоЩстолика 2 закреплен кронштейн 26, вкотором установлен ходовой винт 27,взаимодействующий с противовесом 25,Подвюкная часть 24 предметного столика 2, на которую устанавливается полупроводниковая структура 28 постоянно поджата к винту 27 пружиной 29,Зондовое устройство работает следующим образом.На подвижную часть 24 предметногостолика 2 помещают полупроводниковуюструктуру 28, включают вакуумную присоску 10. Опускают рукоятку 8, вследствие чего срабатьнзает демпфер 4, иголовка 1 плавно опускается на структуру 28. Пары зондов 19 ь 21 прижимаются к поверхности полупроводниковой структуры 28, При неодновременномкасании зондами поверхностЛ структуры 28 контактирование всех четырех зондов 19 и 21 с указанной поверхностьюдостигается эа счет балансированияпредметного столика 2 вокруг оси 16.Производят измерение по линии, совпадающей с осью касания. Для измерения в точках, не лежащих на этой линии, осуществляют подъем зондовойголовки 1, поворотом винта 27 смещают подвижную часть 24 предметногостолика 2 на необходимую величину,опускают зондовую головку 1 и продолжают измерение. Для того, чтобыцентр тяжести предметного столика 2находился симметрично относительнопотенциальных зондов 19 при смещении подвюкной части 24, предметныйстолик 2 снабжен противовесом 25,который при повороте винта 27 смещается на ту же величину, что и подвижная часть 24 предметного столика2, но в противоположную сторону. Внеподвижной части 23 выполнен паз,в котором перемещается подвижнаячасть 24 и который позволяет подсо"единить вакуумную присоску 10.Для оценки величины перемещенияподвижной части 24 на неподвижнойчасти 23 могут бьггь нанесены риски,для более точного определения перемещения винт 27 может бьггь выполненс нониусным отсчетом (в качестве винта может быть использован обычныймикрометр).Предварительная балансировка предметного столика 2 может быть осуществлена установкой регулировочного элемента, например винта (не показан), наподвюкной части 24 или противовесе 25для этого в них выполняют отверстие срезьбой. Вращением регулировочногоэлемента обеспечивают горизонтальноеположение предметного столика 2, т.е.совпадения центра тяжести предметногостолика 2 с плоскостью симметрии четырехзондовой головки 1, и фиксируютрегулировочный элемент в этом положении,Смещение центра тяжести предметного столика 2 от смещения винта 27 можно компенсировать соответствующейвыборкой материала в противовесе 25.Таким образом, предлагаемое исполнение предметного столика позволяетпроводить измерения без выключениявакуумной присоски и без смещения полупроводниковой структуры относительно поверхности предметного столика, 1406829что улучшает эксплуатационные характеристики зондового устройства.Формула изобретения5Зондовое устройство по авт.св, В 728227, о т л и ч а ю щ е е - с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей, предметный столик дополнительно снабжен подвижной частью и противовесом, кинематически связанным с неподвижнойчастью, причем подвижная часть и противовес размещены на неподвижной части с возможностью перемещения друготносительно друга во взаимообратном направлении в плоскости, параллельной оси качания предметного столика, а вес противовеса равен весуподвижной части предметного столика.