ZIP архив

Текст

(ОСУДАРСТВЕННЫИ КОпО изОБРетениям иПРИ ГКНТ СССР ИТЕТКРЫТИ Я ИСА И РЕТЕ ТОРСК ВИДЕ ТВУ технический институт М,Миронович, Н.Н.Кольство СССР3/064, 1983.льство СССР3/064, 1982. ится к технологии с к б аллизующег сил икатног Изобликато егос стекла ния вм нт олстопл шение кристали температурь оустойчивости ль лизационразмягче(57) Изобретение отноликатов, к производстся бариевого алюм ретение относится к технологии в, к производству кристаллизируюариевого алюмоборосиликатного реднаэначенного для испольэовароэлектронике в качестве ситаллодля межслой ной изоляции еночных микросхем.изобретения - повыной способностиния, улучшение вод стекла.Синтез стекол осуществляют в газовойили электрической печи при 1300 Ч.20 С.При укаэанном режиме стекло хорошо варится и осветляется и может быть использовано для изготовления различных иэделийтехнического назначения методами отливки, прессования и изготовления гранулята,При выработке стекло не кристаллизуется.Конкретные составы стекла и их свойства приведены в таблице,Использование данного стекла в толстопленочной микроэлектронике для межслойной изоляции толстопленочных элементов(5)5 С 03 С 3/064, 10/О стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве ситаллоцемента для межслойной изоляции толстопленочных микросхем. С целью повышения кристаллизационной способности и температуры размягчения, улучшения водо- устойчивости стекло включает следующие компоненты, мас,%: 5102 5,0 -12,0; В 20 з 30,0 - 34,0; А 120 э 18,0 - 20,0; ВаО 27,0-31,0;1 п 20 э 4,0 - 5,0; Т 102 5,0-8,0, Стекло кристаллизуется в интервале температур 750- 900 С, имеет температуру размягчения 620+10 С, водоустойчивость 99,0-99,5 %.1 табл. позволяет получить влагостоикие изоляционные слои с удельным электрическим сопротивлением не ниже 10 Ом. 19 д18 10, удельной емкостью 160 пФ/см, пробивным напряжением при толщине диэлектрика 45 - 50 мкм выше 600 В устойчивых зк циклическому воздействию температур и,( электрической нагрузки, что свидетельствует о перспективности использования этого стекла для диэлектрических паст Формула иэобрет ия Стекло, включающее 510., В.Оз, А 120 з СО Ва 0,1 п 20 з, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с (, ) целью повышения кристаллизационнои спо,собности и температуры размягчения, улучшения водоустойчивости, дополнительно содержит Т 102 при следующем соотношении компонентов, мас.% .)102 5,00-12,00 В 203 30,00-34,00 А 1203 18,00-20,00 ВаО 27,00 -31 00 1 п 203 4,00-5,00 Т 02 5,00-8,001669880 Химиче кие составы н сновнье свтйства стекол Показатель для стекла состава Компонент, мас.ь,характеристика 12,0 5,7 8,5 120 840 е 9,0 5,0 Вао 5,0 4,4 5,0 4,0 4,5 50 7,0 7,5 8,0 6,5 5,0 2 то 620 + 1 О 620 В 1 О 620 В 1 О 620 т 1 О 6201 О 620 " 10 58+ 2 58 т 2 58- 2 58+ 2 58 2 58 12 Волоустойчивость потери при кипячении, Х 0,8 0,95 1,0 050 0,87 0,92 Составитель Г.Буровцева Редактор М. Самерханова Техред М,Моргентал Корректор О,КравцоваЗаказ 2712 Тираж 300 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 В,ОрА 1,0,Кристаллнэационная способность( ) и характер кристаллизациив температурном интервале обвига микросхем Поведение стекол на подловкенэ керамики 22 ХС прн 850 СоТемпература размягчения, С Термический коэффицнентт линейного расиирення И10 ),град 34,0 Эг,О 31,0 30,0 335 31,020,0 19,0 18,5 19,4 18,031,0 290 28,5 , 30,0 29,5 27,0 600-1000 600-1000 600-1000 600-1000 600-1000 600-1000В температурном интервале 750-900 С стекла кристаллиэуются с образованием хоровей мелкокрнсталлнческой структуры н достаточным количеством стеклофазы лля обеспечения растекания и адгеэии закристаллиэованного матерналл к и;донке Закристаллизованные с хоронег ра .теклемостьа и алгеэней к подлонкепокрытия, беэ трещин,

Смотреть

Заявка

4740959, 27.07.1989

БЕЛОРУССКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

НЕМКОВИЧ ИРИНА КОНСТАНТИНОВНА, МИРОНОВИЧ НАТАЛЬЯ МИХАЙЛОВНА, КОЛОСОВА НАТАЛЬЯ НИКОЛАЕВНА, ЗОБОВА ТАТЬЯНА ФЕОФАНОВНА

МПК / Метки

МПК: C03C 10/00, C03C 3/064

Метки: стекло

Опубликовано: 15.08.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1669880-steklo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Стекло</a>

Похожие патенты