Способ определения оптической анизотропии прозрачных образцов

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 164 О 542 505 0 01 В 11/3 РЕТЕНИЯ :. Ия ОПТИЧЕРАЧНЫХ ОБ(54) СПОСОСКОЙ АНИЗОРАЗ ЦОВ(57) Изобретеной технике иисследованияски напряжеобъектов, что ОПРЕДЕЛЕРОПИИ ПРО к измерительпользовано для .цества оптичееоднородных ической дефекние относится может быть ис структуры ве нных фазовоактуально в опт зобра а принципиальрте Изобретение относится к измерительой технике и может быть испо: эовано для сследования структуры вещества оптичеки напряженных фазово-неоднородных бъектов, что актуально в оптической дефекоскопии, кристаллооптике, полупроводниовом и оптическом приборостроении. ализующего спокой анизотропии ная схемасоб опрепрозрачнУстрония, даюс плоским2, поворотситель 5,анализатотель 8. ства шение точноанизотропии, линейного изветствую щего я интенсивноеренционной области привысоты микбразцов,ствл тся ле 2 разделяетения на два равляется к ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР СКОУУ СБИДЕТЕЛЬС(71) Черновицкий государственный университет(56) Оптико-электронные приборы для научных исследований/Под ред, Л.А.НовицкогоМ.; Машиностроение, 1986, с, 332 и 333. Цель изобретения - повь сти определения оптической что обусловлено диапазоном мерения интенсивности, соот четырем порядкам изменени сти в нулевой полосе интерф картины, а также расширение менения за счет определения ронеровностей поверхности о тоскопии, кристаллооптике, полупроводниковом и оптическом приборостроении, Цель изобретения - повышения точности определения оптической анизотропии, что обусловлено диапазоном линейного измерения интенсивности, соответствующего четырем порядкам изменения интенсивности в нулевой полосе интерференционной картины, а также расширение области применения эа счет определени высоты микронеровностей поверхности образцов. В способе используют высококогерентное излучение с плоским волновым фронтом, формируют опорный и объектный пучки, проецируют интерференционную картину в плоскость регистрации, измеряют распределение интенсивности и азимутов поляризации в нулевой полосе, по которым определяют оптическую анизотропию и высоту миронеровностей поверхности образца. 1 ил. деления оптичес ых образцов.йство содержит источник 1 иэлучещий высококогерентное излучение волновым фронтом, светоделитель ные зеркала 3 и 4, оптический смемагнитооптический модулятор б, р 7 и фотоэлектронный умножиПредлагаемый способ одующим образом, Полупрозрачная пластин учение,от источника 1 из ка; объектный, который наказ 1012 Тираж 393 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035; Москва, Ж, Раушская нэб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г Ужгород, ул,Гагарина, 101 исследуемому образцу 9, а также нэ опорный, который поворачивается зеркалом 3 в направлении оптического смесителя 5, на котором строго соосно смешиваются. опор. ное и объектное поля, в результате чего фор-. мируется нулевая интерференционная полоса, световые колебания в которой модулируются, проходя через магнитооптический модулятор 6, Поляризатор 7 преобразует модуляцию азимутов поляризации в нулевой интерференционной полосе в модуляцию интенсивностей, которую наблюдают на экране осциллографа и по которой определяют величину азимута поляризации с точностью до 10, что соответствует удвоению частоты модулирующего магнитного поля. Фотоэлектронный умножитель 8 регистрирует значение интенсивности в нулевой полосе в ситуации отключенного магнитооптического модулятора 6. Далее, путем перемещения образца 9, определяют новые указанные значения и, таким образом, накапливают соответствующие статистические массивы данных, по которым определяют оптическую анизотропию и высоту микронеровностей поверхности образца 9.Формула изобретения Способ определения оптической анизот ропии прозрачных образцов, заключающийсяв том, что пропускают монохроматическое линейно поляризованное излучение через образец, формируют интерференционную картину, анализируют интенсивность излу чения, прошедшего через поляризационный анализатор, и определяют оптическую анизотропию прозрачных образцов, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точнт сти определения оптической анизот ропии и расширения области примененияза счет определения высоты микронеровностей поверхности образцов, используют высококогерентное излучение с плоским волновым фронтом, формируют опорный 20 и объектный пучки, соосно смешивают этипучки, проецируют интерференционную картину в плоскость регистрации, измеряют распределение интенсивности и азимутов поляризации в нулевой полосе интерфе ренционной картины и по ним определяютоптическую анизотропию и высоту микро- неровностей поверхности образцов.