Способ получения сверхпроводящего тонкого слоя
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1632382
Авторы: Вильхельмус, Корнелис, Хенрикус
Текст
П у Н 01 Ь 39/ ГОСУД фСТ 8 ЕНН 1 зй ИЭОЬРЕТЕНИЯМ ПРИ ГИИТ СО:РНОМИТЕТощъпищм ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯПАТЕНТУ 91, Бюп. У 8филип Глоэламп брик Кер, Корнэонкус МутМария Ван ус Хорнелн Хенрикус А с Альберту 35, (6), р.882 в МКЯ БухароВцретсоп 3-24. Ьвтгаст.а ТеврегаС е 1 в, Арг щих свойств я реакции межи сверхпрово 3 э ,Р 4(72) Виль хельмлис Адривнуссарс и ХенрикуХал (Ю)(56) РЬув Ееч В8823, 987 .Ехепдед Ав 1 ца оЕ НСВТдцсйога, Апай Изобретение относится к технологии получения сверхпроводяаоас тонких сло-вЦелью изобретения является повыщение критической темпеоатуры и улучюение сверхпроводяслоя эа счет исключениду материалом подложкидящим тонким слоем.Исключение взаимодействия сверхпроводящего тонкого слоя ТЗа Сц Отс подложкой достигается эа счет того, что сверхпроводящий тонкий слой осс сдают на подложке, поверхность которой состоит из соединения, имеющего. состав, лежащий на линии раздела фаз с УВа СцОфаэоаой диаграммы УО- ВаО - СцО. 2(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХПРОВОДЯЩЕГО ТОНКОГО СЛОЯ(57) Изобретение относится к технологии получения плнок сверхпроводников, Целью изобретения является по вьаение критической температчры Та пленок и улучщенне нх сверхпроводящих свойств, Взаимодействие УВаСцО- пленок с материалом подложки (МРО, 81),приводит к ухудшению сверхпроводящих свойств. Для исключения этого взаимодействия предложено перед нанесением планки УВаСцэО т наносить на подложку слоЯ У ВаСцО. Способ позволяет наносить пленки УВагСц 0 т-ЙТс" 90 К Нанлучщне результаты были получены при использовании подложек, поверхность которых состоит из У ВаСцО, .На фиг. прдставпена диаграмма фазового состояния У О - ВаО - СцО, на которой показаны как УВа СцзОт 6а так н ТВаСцО - соединения, находящиеся на линии раздела Фаз; на фиг.2 результат измерения электрического сопротивления сверхпроводящего тонкого слоя на подложке иэ У ВаСцО в зависимости от температуры.Свврхпрлводящий тонкий слой ТВаСцЗОт , температурная заьисмность электросопротнвления котар 1 го показана на фиг.2, был нанесен ; рн помощи плаэжнного распыления на подложку иэ ТвВаСцО, Посла нанес1632382 ния сверхпроводящий тонкий .лой бьн подвергнут окислению при 900 С а течение 24 ч и затем охлажден до 20 фС за 8 ч.:н,йст ел. за счет искд:енкреакдии между материалом подпоакии сверхпрводящим тонкки словсверхпроводящий тонкий слой наносятна подлояху, состав которой соответствует линни разддча фаз мааду материалом поалоакн н саерхпроводящимтонким слоем на диаграмме состоянияУ О - ВаО - СцО,2.Способ по и.1, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что поверхность подложки прдставяет собой слой изУ ВаСиО. Формула изобретения 1.Способ попучения сверхпроводящего тонкого слоя, состоящий а нанесении слоя ТВаСцОтна подпояску, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повиюания критической температур:я и улучшения сверхпроводящих Сц 0 15 20 15 10 00 100 200-ПК) 015 28 цС 07 Состзвитесдь И.ФальсковскийТекред Л,Кравчук Корректор С,Черни Редактор Л.Лежнина Под 1 Ис и Ое Тираж 355 Заказ 559 ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям нри ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5
СмотретьЗаявка
4356251, 28.07.1988
Н. В, Филип Глоэлампевфабрнкен
ВИЛЬХЕЛЬМУС КОРНЕЛИС КЕР, КОРНЕЛИС АДРИАНУС ХЕНРИКУС АНТОНИУС МУТСАРС, ХЕНРИКУС АЛЬБЕРТУС МАРИЯ ВАН ХАЛ
МПК / Метки
МПК: H01L 39/00
Метки: сверхпроводящего, слоя, тонкого
Опубликовано: 28.02.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1632382-sposob-polucheniya-sverkhprovodyashhego-tonkogo-sloya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения сверхпроводящего тонкого слоя</a>
Предыдущий патент: Излучатель света
Следующий патент: Магнетрон
Случайный патент: Устройство для заполнения пустот строительных панелей утеплителем