Способ изготовления тонкопленочных оптических волноводов из оксидных материалов

(19) (111 782 1) 5 6 02 В 6/10 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ В таб- ф и расказателяи, полу- ы 4 (= (д веденному в формуле лице приведены экспе четные значения при преломления Л волнов ченной распылением =0,25) на различные изобретения риментальны ращения по одной пленк стекла ТК одложки. вксп 1,6109 0,251,6153 0,311,6117 0,334 0,020 0,021 0,028 0,026 О, 030 О, 030 ая дисперсия Лл попособу. тонкопленочодов, равная Ьл=эффективные покады волновода, измеы Х,=546 нм и о, при( (0,1 я постоянной (см. При э лученных ных опттом волновод по данному ческих волно где л 1 и лр -реломления м а длине волн соответствен на и остаетГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Могилевское отделение Институтафизики АН БССР(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ВОЛНОВОДОВ ИЗ ОКСИДНЫХ МАТЕРИАЛОВ(57) Изобретение относится к оптическимволноводам и может быть использовано приизготовлении оптических интегральных схем Изобретение относится к оптическим волноводам и может быть использовано при изготовлении оптических интегральных схем для оптоэлектронных систем передачи и обработки информации.Цель изобретения - расширение класса материалов для изготовления тонкопленочных оптических волноводовс минимальной волноводной дисперсией и упрощение технологии их получения.На чертеже приведена зависимость волноводной дисперсии от относительной катионной фракции материала подложки тонкопленочного оптического волновода.Способ осуществляется следующим образом.Осаждение тонкой волноводной пленки производится распылением мишени в газовой среде при общем давлении 8 1(Г 4 - 2 к Х 10тор и парциальном давлении кислорода (2 - 5) 10тор, при этом показатели преломления распыляемой мишени и и подложки л удовлетворяют соотношению, придля оптоэлектронных систем передачи и обработки информации. Цель изобретения - расширение класса материалов для изготовления тонкопленочных оптических волноводов с минимальной волноводной дисперсией и упрощение технологии их изготовления. Способ заключается в осаждении тонкой волноводной пленки на подложку путем распыления мишени в газовой среде при общем давлении 8 10- 2 10тор и парциальном давлении кислорода (2 - 5) 10 тор. При этом показатели преломления распыляемой мишени и подложки зависят от относительных катионных фракций используемых материалов и удовлетворяют соотношению, приведенному в формуле изобретения. 1 ил.1597823 формула изобретения итель А. ШКравчукбретениям Раушская Патент, г Сост ехред А ираж 46 алькоКорректор Л. ПатайПодписноеоткрытиям при ГКНТ СССРнаб., д. 4/5Ужгород, ул. Гагарина, 1 О Реда ктор С. П а тру шеваЗаказ 3054 та по из Ж - 35, мбинат кривые 1 и 2 на чертеже для материала мишени из стекла ТК 14 и ТК 20 соответственно) .Предлагаемый способ изготовления тонкопленочных оптических волноводов с минимальной волноводной дисперсией отличается простотой технологии. Кроме того, данный способ расширяет класс материалов для изготовления оптических волноводов, так как позволяет получать волноводы из материалов с меньшим показателем преломления, чем показатель преломления материала подложки. 15Способ изготовления тонкопленочных оптических волноводов из оксидных материалов, заключающийся в осаждении тонкой пленки на подложку путем распыления мишени в газовой среде, отличающийся тем, что, с целью расширения класса материалов для изНИИПИ Государственного коми13035, Москва Производственно-издательский. готовления тонкопленочных оптических волноводов с минимальной волноводной дисперсией и упрощения технологии их получения, осаждение тонкой пленки. на подложку осуществляют при общем давлении 8 10 4 - 2 Х )(10тор и парциальном давлении кислорода (2 - 5) 10тор,а показатели преломления материала распыляемой мишени и и подлож. ки и, удовлетворяют соотношению и + +Л)и0,2(0,33 -) (0,33 - Р )"- 15(, - 0,1);, - приращение показателя преломления осаждаемой пленки;и- относительные катионные фракции материала подложки и мишени соответственно, при этом , изменяется в пределах отдо 0,11 .