Устройство для диффузионного легирования

Номер патента: 845750

Опубликовано: 15.06.1985

Автор: Сорокин

МПК: H05H 7/00

Метки: ускоренных, электронов, энергии

...Ц, /Б , Крометого, значениене зависит от изменений тока пучка на поглотитель ввидуодинакового влияния их на все резуль-таты регистраций,На фиг.1 изображено устройстводля осуществления предлагаемого способа; на фиг.2 - распределение обратнорассеянных электронов по поверхности поглотителя; на фиг.З - зави- .симость относительного изменения потока обратнорассеянных электронов,вышедших из поверхности поглотителяза пределами дбластир включающей область, на которую непосредственноподает широкий пучок электронов, отэнергии электронов в пучке,Устройство содержит циркониевыйпоглотитель 1, тонкие сцинтилляторы,2 и 3, сцинтиляционные датчики 4и 5, а для регистрации обратнорассеянных электронов, вышедших за пределами области диаметром 2 ТУ...

Номер патента: 1582921

Опубликовано: 27.12.1996

Авторы: Колмакова, Пащенко, Сарманов

МПК: H01L 21/306

Метки: арсенида, галлия, консервации, межоперационной, пластин

Способ межоперационной консервации пластин арсенида галлия, включающий очистку поверхности пластин от углеродосодержащих загрязнений, обработку в концентрированной перекиси водорода, отмывку в деионизованной воде, сушку в потоке инертного газа, отличающийся тем, что, с целью увеличения времени консервации уровня углеродосодержащих загрязнений, обработку в концентрированной перекиси водорода проводят в течение не менее 5 мин, а после сушки в потоке инертного газа половину пластин дополнительно обрабатывают в концентрированном растворе водного аммиака в течение не менее 3 мин, сушат в потоке инертного газа и не более чем через 12 мин приводят в контакт попарно рабочие поверхности пластин, обработанных только в концентрированной перекиси...

Номер патента: 1304673

Опубликовано: 20.08.1996

Авторы: Дмитриев, Зайцев, Нечаев, Чернявский, Швецов

МПК: H01L 21/477

Метки: класса, пластин, полупроводниковыми, структурами, термообработки

1. Способ термообработки пластин с полупроводниковыми структурами класса A3B5, включающий размещение пластин и источника компоненты B5 в контейнере, герметизацию контейнера, нагрев контейнера в потоке неокисляющего газа до температуры термообработки и выдержку при этой температуре, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических параметров полупроводниковых структур, их воспроизводимости и технологичности обработки, герметизацию контейнера осуществляют в процессе нагрева при 450 - 550°С.2. Устройство для термообработки пластин с полупроводниковыми структурами класса A3B3, включающее контейнер и герметизирующую крышку, отличающееся тем, что в торцевой части стенок...

Номер патента: 949310

Опубликовано: 07.08.1982

Авторы: Ишманов, Пепеляев

МПК: F27B 7/24

Метки: барабаном, вращающимся, зазора, камерой, между, неподвижной, уплотнения

...камерой 2 содержит закрепленную на кольце 3 упорную обечайку 4 корытообразного профиля, на отогнутых полках которой сегментными зажимами 5 закреплен эластичный уплотняющий элемент 6, контактирующий с наружной поверхностью защитного кольца 7, закрепленного на упорной обечайке 8 шайбой 9. Уплотняющий эластичный элемент 6 и упорная обечайка 4 образуют замкнутую кольцевую полость а с входным патрубком 10 и выходным патрубком (не показан). На упорной обечайке 8 закреплено кольцо 11, входящее в промежуток между кольцами 12 шайбы 13, закрепленной на кольце З,имеющем патрубок 14, образующее лабиринтное и аэродинамическое уплотнения. 5 0 15 20 25 Зо 35 40 4Описанный вариант уплотнения (фиг. 2) работоспособен при температуре отходящих...

Номер патента: 577379

Опубликовано: 25.10.1977

Авторы: Базанов, Нестеров

МПК: F27B 7/24

Метки: барабаном, вращающимся, зазора, камерой, между, неподвижной, уплотнения

...опоясывающие упорные обечайки 3 и 4, эластичные уплотняющие элементы 5 и 6, выполненные в виде петель, образованных перегнутыми по длине лентами, например, из термостойкой или обычной тран О спортерной ленты, металлической ленты, лен ты из капрона и др.Концы лент прижаты к упорным обечайкам 3 и 4 с помощью прижимных устройств 7 и 8, стягиваемых болтами 9. К упорной обечайке 4 прикреплен экранирующий тепловые 3 излучения корпуса барабана 1 лист 10, например, теплоизоляционная фольга, перекрывающая зазор между упорными обе чайками 3 и 4,. Между упорными обечайками 3 и 4 и уплотняющими элементами 5 и 6 уложены теплоизолирующие прокладки 11 и 12 из листового или шнурового асбеста, каолинового волокна и др.При сборке к упорной обечайке...