Устройство для осаждения пленок твердых растворов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1574697
Авторы: Абдулзаде, Галущак, Заверуха, Сендерская
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1574697 Я 30 В 23/О 51) Б ПИСАНИА ВТОРСКОМ ТЕН ТЕЛЬСТВ вердых тел,1972, с. 338,бразо Аешь Ж яропо ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(71) Ивано-Франковский институт нефтии газа(56) Поверхностные свойства тПод ред. М. Грина. М.: Мир,рис, 5.12.(54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ(57) Изобретение относится к устройствамдля получения полупроводниковых материалов. Цель изобретения - поддержание постоянного давления смешанных паров компоИзобретение относится к выращиванию кристаллов, в частности к устройствам для получения полупроводниковых материалов.Целью изобретения является поддержание постоянного давления смешанных паров компонентов.На чертеже представлено устройство, общий вид, разрез.Устройство содержит вакуумную камеру 1, корпус которой выполнен из спектрально- чистого графита и подключен с помощью электродов 2 к источнику тока. В камере 1 размещен испаритель 3, содержащий смесь компонентов твердого раствора. Над испарителем установлена подложка 4, снабженная системой охлаждения 5 и механической заслонкой 6. Между испарителем 3 и подложкой 4 закреплена перегородка 7, выполненна из упругого материала и снабженная д сселирующим соплом 8, установленным центру,нентов. Устройство содержит обогреваемую вакуумную камеру. В камере размещены испаритель для смеси компонентов и подложка, закрепленная над испарителем и снабженная системой охлаждения. Между подложкой и испарителем установлена упругая перегородка с дросселирующим соплом. При нагреве камеры до температуры испарения компонентов пары смешивают в испарителе, а затем в нижней части камеры. При прохождении паров через сопло упругая перегородка деформируется. Пары поступают в верхнюю часть камеры. При этом поддерживается определенное давление над испарителем и обеспечивается стабильность состава осаждаемых паров на подложке, Получают пленки (РЬЬе)(ЯпТе). 1 ил. стройство работает следую После загрузки испарителя 3 компонентами твердого раствора его устанавливают в нижней части камеры 1. Подложку 4 с системой охлаждения 5 и механической заслонкой 6 монтируют в верхней части камеры 1, затем ее вакуумируют. Нагрев камеры 1 до заданной температуры, необходимой для испарения компонентов твердого раствора, осуществляют подачей электроэнергии через электроды 2. Образуемые при нагреве пары предварительно смешиваются внутри испарителя 3 и заполняют нижнюю часть камеры 1. При достижении определенного значения давления испаряемые пары через трубчатое сопло 8, деформируя перегородку 7, поступают в верхнюю часть вакуумной камеры 1. При открытии механической заслонки 6 за счет разности температур, создаваемой системой охлажде1574697 Фоомула изобретения зния 5, проис", эдит осаждение паров на поверхности подложки 4. Потеря давлений в трубчатом сопле 8 позволяет поддерживать определенные давления над испарителем и обеспечить этим стабильность состава осаждаемых паров на подложке 4. В данном устройстве получают пленки1 У Утвердых растворов соединений А В из механической смеси порошкообразных компонентов, например (РЬЯе) (ЯпТе) , для элементов синхросхем. При этом обеспечивается экономия за счет сокращения брака на 12%. Устройство для осаждения пленок твердых растворов, содержащее обогреваемую вакуумную камеру, размещенные в ней один напротив другой испаритель для смеси компонентов твердого раствора н охлаждаему 1 о подложку, отличающееся тем, что, с целью поддержания постоянного давления смешанных паров компонентов, ваку умная камера снабжена перегородкой с дросселирующим соплом в центре, выполненной из упругого материала и установленной между подложкой и испарителем.Составитель Н. Давыдова Редактор Н. Швыдкая Техред А. Кравчук Корректор Л Патай Тираж 343 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открыгиям при ГКНТ С Р 1 3035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательскии комбинат Патент, г. Ужгород, ул а ар г ина 101
СмотретьЗаявка
4363676, 13.01.1988
ИВАНО-ФРАНКОВСКИЙ ИНСТИТУТ НЕФТИ И ГАЗА
ГАЛУЩАК МАРЬЯН АЛЕКСЕЕВИЧ, АБДУЛЗАДЕ АЛИБАЙРАМ МАШАДИГУСЕЙНОВИЧ, ЗАВЕРУХА ОСТАП ВАСИЛЬЕВИЧ, СЕНДЕРСКАЯ ГАЛИНА МАРЬЯНОВНА
МПК / Метки
МПК: C30B 23/02
Метки: осаждения, пленок, растворов, твердых
Опубликовано: 30.06.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1574697-ustrojjstvo-dlya-osazhdeniya-plenok-tverdykh-rastvorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для осаждения пленок твердых растворов</a>
Предыдущий патент: Устройство для выращивания монокристаллов из раствора расплава
Следующий патент: Устройство для молекулярно-лучевой эпитаксии
Случайный патент: Имитатор радиосигналов