154613
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 154613
Текст
, В. Спивак, Н, Н. Седов и Р, Д. Иванов ПОСОБ ИССЛЕДОВАН ВРАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАПЕРЕХОДЕ Заявлено 8 м в Комитет по делам изобрете Опубликовано в Бюллетене изоая 1962 г. за777219/26.9ний и открытий при Совете Министрбретений и товарных знаков1 О ов СССРза 1963 г. Известен способ исследования распределения потенциала в р-и - переходе, основанный на наблюдении перехода при помощи электронного микроскопа и измерении при этом величины искажения изображения перехода. Этот способ обеспечивает измерение потенциала порядка 0,3 Ь с разрешающей способностью в 0,1 микрона.По предложенному согласно изобретению способу исследования распределения потенциала в р-и - переходе определяют искажение зеркального электронно-оптического изображения вторичной электронной эмиссией и по характеру искажений устанавливают ширину и распреде.ление потенциала в р-и - переходе, Это позволяет повысить точность измерения распределения потенциала в р-и - переходе.При осуществлении исследования распределения потенциала в р-и - переходе по предложенному способу поверхность полупроводника тщательно шлифуется и полируется общепринятыми методами. Объекты промываются спиртом и дистиллированной водой. В некоторых случаях для увеличения геометрических размеров р-и - перехода, выходящего на поверхность образца, делается косой срез. Объект помещается в держатель образца, что позволяет подавать разность потенциалов вдоль его поверхности, а также между последней и катодом освещающей пушки,При проведении измерений к р-и - переходу с помощью батареи прикладывается фиксированная разность потенциалов в запирающем направлении, В целом потенциал образца относительно катода электронной пушки может меняться с помощью отдельной батареи с делителем, Путем изменения потенциала на делителе можно добиться, чтобы потенциал катода пушки соответствовал эквипотенциальной поверхности, которая названа нулевой. Поскольку отражение электронов прималых значениях начальных скоростей и при где 1 А - напряжение на р-п - переходе;д - ширина р-и - перехода;а Е - напряженность ускоряющего электроны поля на катоде, происходит от нулевой эквипотенциали, то слева от точки, где эта эквипотенциальная поверхность входит в образец, наблюдается характерное зеркальное изображение, а справа, где первичные электроды достигают поверхности образца, - пятно вторичной эмиссии.Меняя общий потенциал образца на некоторую величину, измеряемую вольтметром, тем самым меняют нулевую эквипотенциальную поверхность, которая разделяет область зеркального изображения и вторичной эмиссии. При этом пятно вторичной эмиссии сдвигается по поверхности образца, Величина этого сдвига может измеряться по фотографиям или с помощью сетки линий, нанесенных на поверхность флуоресцирующего экрана.Таким образом определяются точки (точнее, линии) на поверхности образца, имеющие определенный потенциал,Пройдя весь диапазон потенциалов на образце и откладывая соответствующие точки на графике, получают кривую распределения потенциала в р-п - переходе. Предмет изобретения Составитель М. МрочкоТекред Т. П. Курилко Корректор Т. Хромнсва 1 едактор В. Я, Парнес Поди. к печ. 15/711 - 68 г. Формат бум. 70 К 108/16 Объем 0,18 изд. л.Зак. 1873/6 Тираж 1225 Цена 4 к"иЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4. Типография, пр. Сапунова, 2. Способ исследования распределения потенциала в р-и - переходе, основанный на наблюдении перехода при помощи электронного микроскопа, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения распределения потенциала, определяют искажение зеркального электронно-оптического изображения вторичной электронной эмиссией и по характеру искажений устанавливают ширину и распределение потенциала в р-п - переходе.
СмотретьЗаявка
777219
МПК / Метки
МПК: G01N 23/225, G01R 31/26
Метки: 154613
Опубликовано: 01.01.1963
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-154613-154613.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">154613</a>
Способ приготовления образцов пленок, нанесенных на поверхность кремниевой подложки, для электронно микроскопических исследований
Номер патента: 1465739
Опубликовано: 15.03.1989
Авторы: Головчанский, Марченко
МПК: G01N 1/28, G01N 23/225
Метки: исследований, кремниевой, микроскопических, нанесенных, образцов, пленок, поверхность, подложки, приготовления, электронно
...комбинат "Патент", г.ужгород, ул, Гагарина,101 3 14657 к мнатной температуре является насыщ иным),При температуре раствора менее Зф С увеличивается продолжительностьо процесса, а использование раствора с температурой более 80 С приводит к растворению,самой отделяемой пленки.В таблице приведены результаты р ализации способа приготовления о разцов при различных параметрах п оведения процесса.П р и м е р. Проводят отделенир пренки ниобия (%) толщиной 1000 А,апыленной на кремниевую подложку (100) в 453-ном растворе КОН при 65 С. Время отделения пленки составет около 5 мин при скорости растрения самой пленки .60-70 А/мин. осле отделения с помощью специальой сетки кусочки пленки помещают в стиллированную воду. Свертыванияки не...
Устройство для автоматического распределения образцов жидкости
Номер патента: 1671149
Опубликовано: 15.08.1991
Автор: Теруаки
МПК: B01L 3/02
Метки: жидкости, образцов, распределения
...10 20 25 30 35 40 45 50 55 чает сопротивление и повышается давление воздуха, идущего через трубки 7 и 11. Датчик 16 давления выявляет это увеличение давления и вырабатывает сигнал, подаваемый на многоходовой клапан 8. В ответ на этот сигнал клапан 8 отсоединяет трубку 7 от первого входа 9 и соединяет трубку 7 с вторым входом 10, тем самым подсоединяя трубку 7 к трубке 14. Затем поршень воздушного цилиндра 15 перемещается в направлении стрелки А, В результате этого сыворотка всасывается в распределительный наконечник 3. Одновременно переключатель 17 давления определяет, засорен наконечник 3 или нет, Когда определенное количество сыворотки введено в наконечник 3. поршень останавливается и в наконечнике 3 остается это количество...
Способ шлифования криволинейных поверхностей торцевой поверхностью круга и приспособление для шлифования по этому способу архимедовой спирали
Номер патента: 70554
Опубликовано: 01.01.1948
Автор: Веннер
МПК: B24B 1/00, B24B 19/08
Метки: архимедовой, криволинейных, круга, поверхностей, поверхностью, спирали, способу, торцевой, шлифования, этому
...круга и проходящей (на фиг. 1) через точку В.Предлагаемое приспособление для шлифования собрано на основной плите 4 (фиг. 3), снабженной цапфой 1 (точка В на фиг, 1) и имеющей направляющий паз 5 (фиг. 3 и 4) (ось А,А, на фиг. 1), по которой перемещается палец 3 (точка С на фиг, 1). Цапфа 1 расположена по оснаправляющего паза б в плоскости торца шлифовального круга 2. На цапфу 1 насажена поворотная плита б, несущая на себе салазки 7. Эги салазки во время работы двигаются вдоль направляющих поворотной плиты б (по оси А-А на фиг. 1). На салазках 7 смонтирован шпиндель 8 (полюс О на фиг. 1), несущий обрабатываемое изделие 9. Вращением винта 10 (фиг. б) осуществляется перемещение ползуна 1 (фиг, 5) поперек салазок 7, Движение ползуна...
Система автоматического распределения расходов пара вторичного перегрева между параллельно работающими парогенераторами
Номер патента: 566058
Опубликовано: 25.07.1977
Авторы: Вознесенский, Рябой
МПК: F22B 35/10
Метки: вторичного, между, пара, параллельно, парогенераторами, перегрева, работающими, распределения, расходов
...путевые выключателя 19-22 открытия регулирующих органов 2-5. 2 ОПоляризованные переключающие устройства 10 имеют на выходе контакты 23,24.В установившемся состоянии сигналы от датчиков расходов первичного 7 и вторичного 8 лара на каждом парогенераторе 25 взаимно уравновеи;еяы. На выходе соответствующих измерительных блоков 6 и суммирлсщях блоков 9 сигналы равпы нулю, Регулирующие блоки 1 находятся в состоянии баланса., а ре.,.тярующие органы 2-5 ( зО занимают положения, обеспечивающие соответствие расходов первичного и вторичного дара на каждом парогенераторе при максимальном их открыт(и, т, е, на парогенераторе, несущем больщую нагрузку, регули- З 5 рую(ций орган занимает полностью открытое положение. Обмотки реле 15 - 18...
Паста типа вазелина для защиты поверхности р-п переходов
Номер патента: 150941
Опубликовано: 01.01.1962
Авторы: Антонов, Борисов, Дохман, Иоселевич, Уклонский, Чичерова
МПК: H01B 3/46, H01L 23/18
Метки: вазелина, защиты, паста, переходов, поверхности, р-п, типа
...жидкости с вязкостью от 300 до б 00 сст. В качестве наполнителя используются мелкодисперсные порошки окисей титана, к емнияи алюминия, которые вводятся в зависимости от требуемой консистенции в количествах от 5 до 100% к весу жидкости, Смесь тщательно пе Ъ 150941ретирается и подвергается прогреву в вакууме для удаления летучих составляющих. Полученная высоковязкая вазелиноподобная паста нассится непосредственно на р - и переход, пастой можно также заполять корпус прибора.Предлагаемые пасты могут применяться для защиты переходов как ерманиевых, так и кремниевых полупроводниковых приборов.В качестве исходных компонентов для изготовления пасты КВприменяются: полиметилсилоксановая жидкость ПМСс вязкостью 432 сст (20), белая сажа У-ЗЗЗ,...