Способ определения показателя преломления и толщины одномодового планарного оптического волновода

Номер патента: 1474524

Опубликовано: 23.04.1989

Авторы: Бандровская, Гаврик, Житов, Когут, Козак, Конопальцева, Миголинец, Мучичка, Попович, Шаркань

МПК: G01N 21/41, G02B 6/10

Метки: градиента, непоглощающей, пленки, показателя, преломления, толщине

...Не-Ие лазер с длиной волны излучения=0,63 мкм.п, =пд р =п 1, р =1, 35; и =2,30; п,=п Р 3,40. 10 Временная зависимость показателя п(г) определяется по формулеГп -11"К (с) 15п+1 .где К (г) - отражение от поверхности1пленки, нанесенной напервый контрольный образец.20Временная зависимость толщины наносимой пленки Й(С) определяется по формулеКЧ (г.) с 1Д(, )щ .е,. щ.=3 и ь25 где Ч (С) - производная эффективностьфазового сдвига,К (г) - постоянное значение коэфОфициента отражения награнице подложка - пленка второго контрольного35образца,п-поо и,+и,К- коэффициент отражения отвторого контрольного образца, являющийся результатом интерференции впленке.Профиль показателя преломлениясовместно напыленной пленки Се 8"-МИР,полученной термическим...

Номер патента: 739383

Опубликовано: 05.06.1980

Авторы: Бандура, Пашкуденко, Прохоров

МПК: G01N 21/46

Метки: оптически, показателя, преломления, прозрачных, слоев

...показателя преломления30 вещества в слое.Недостатком известного способа измерейия показателя преломления является также. и относительно узкий интервал используемых толщин слоев (1-20 мкм).Цель изобретения - получение возможности определения показателя преломления оптически прозрачных слоев с неизвестной толщиной беэ их разрушения и увеличения40 пределов измерений.Поставленная цель достигается тем, что в отличие от известного способа, заключающегося в измерении сдвига между системами интерференционных полос, наблюдаемых в микроинтерферометре определяют при последовательном перемещении плоскости визирования по глубине слоя сдвиг от первой системы интерференционных полос, образованны при помощи пер 50 вой по ходу луча поверхностью слоя,...

Номер патента: 1075074

Опубликовано: 23.02.1984

Авторы: Евдокимов, Кравчинский, Штенгер

МПК: G01B 21/02

Метки: интерферометра, оптической, сканирующего, толщины, фабри-перо

...соответствии с изменением порядка интерсЬе"енпплп, а непрерыВкой. Пр 1 этом Оп - тп:ескле толщину сканируеяего интер,.:ромс гра фабри - ПеГо, Определяют гю ж:13. еЕ 5БРГ ЕГ ЛЕж 7 лО,ОПТЕМИ ПО Я В5лсни 5 соседих максимумоводно о порядка для 3, и- Бремя тежду моментам гОяв- ,ления двух максимумов соседних порядков для Я,2Таким образом оптическая толщи в 50 11. Иетсрферометра Оперевеяег11 О г: геоес;ию Ъ ТК Т.Ус: Ройстзо для орегелег 1 я Опт:. - -сохойо й толщи ны и нтерферомето а,. р гали - -уещес -.резгагаемый сг:особ, состоит з 5источника 1 оптического изл.,че - я (спек ральнОй лсмпыустаноц 1 ен ньх госледовательно хог светового луча 1 ОтлиматОраОптиескОго Ьп.ть.гра 3, инерферометра 4 линзы 5,4 С ,Диафрагмы 6 р ( кру 1 лОй Дифр а в." -Вы...

Номер патента: 1117493

Опубликовано: 07.10.1984

Автор: Хавинсон

МПК: G01N 21/45

Метки: газов, жидкостей, интерференционный, оптического, показателя, преломления

...ипривод 16 снова настраивает основнойинтерферометр на максимум интерференционной полосы, При этом В,лина 2 СЕ,+Е," )-Е,+Е,М=ЕС.- )представляет собой изменение суммыоптических путей в воздухе и в вакууме. Таким образом, удвоенное изменение оптической длины ( изменениеоптической разности хода) основногоинтерферометра при перемещении окна11, которое является границей междувоздушной и вакуумной частями интерферометра, равно изменению суммыоптических путей в воздухе и вакууме.Способ реализуется следующим образом.20Излучение от источника 1 монохроматического света делится светоделительным элементом 8 на два пучка,один из которых поступает в основнойинтерферометр, а другой - во вспомогательный, служащий для измерения величины перемещения...

Номер патента: 1345099

Опубликовано: 15.10.1987

Авторы: Вейко, Костюк, Яковлев

МПК: G01N 21/41

Метки: объекта, оптически, показателя, преломления, прозрачного

...стекла с пористостью я =и и фД 2 - продольное смещение изображения, формируемого объективом, м;толщина пластины из пористого высококремнеземногостекла в области определегде ния, м;и - показатель преломленияпластины в области, равнойразмеру маски,Далее маску перемещают по всей поверхности пластины с шагом р ( Й, Области, где изображение элементов рисунка остается резким и неискаженным, а величина смещения - одинаковой,определяют как области одинаковые и однородные по показателю преломления,= 0,2 - 0,65 и толщиной С = 1,0 -- 2,0 мм при маске с размером й = 0,2 - 2,0 мм и размером элемента рисунка Ъ = 50-200 мкм продольное смещение изображения а 1 будет изменяться в пределах 0,12 - 0,4 мм, а показатель преломления и - в пределах 1,15 -...