Способ определения шероховатости поверхности

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИА ЛИСТ ИЧЕСНРЕСПУБЛИК 191 (11 В 1 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ИЯ нох оактив Ч,напца 2. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Челябинский электрометаллургический комбинат(56) Авторское свидетельство СССР йф 1270561, кл. С 01 В 15/00, 1984.Авторское свидетельство СССР1375953, кл, с 01 В 15/02, 1976. 54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИОВЕРХНОСТИ57) Изобретение относится к измериельной технике, в частности к метоам контроля качества поверхности с Изобретение относится к измерительной технике, в частности к методам контроля качества поверхности с использованием ионизирующего излучения,Целью изобретения является повышение точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов путем регистрации отношения пространственно измененных параметров характеристического излучения от одного из элементов состава поверх ности.На чертеже изображена схема устрой ства, реализующая предлагаемый способ измерения шероховатости поверхности.Устройство содержит источник 1 гамма- или рентгеновского излучения. Исследуемый образец обозначен позицией 2, а устройство выделения и измере использованием ионизирующего излучения. Целью изобретения является повышение точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов путем регистрации отношения пространственно измененных параметров характеристического излученияповерхности, флуоресцентное характеристическое излучение одного из элементов, входящих в состав образца,отбирают под углом и его интенсивность измеряют устройством выделенияи измерения интенсивности вторичногохарактеристического излучения. Послеизменения углов падения и регистрацииизмеряют интенсивность излучения.1 ил. ния интенсивности вторичного характеристического излучения - позицией 3.На чертеже изображены углы Ф, и Ч па- ввй,дения первичного излучения и углы Ю,и 11 отбора вторичного излучения припервом и втором измерениях соответственно.В качестве устройства 3 можно испольэовать, например, кристальмо роматор пропорциональный, сцинтилляционный или полупроводниковый счетчикс последующим выделением характеристического излучения пороговыми устройствами и т.п.Способ осуществляется следующим образом,Первичное излучение от радиного источника 1 или рентгентрубки направляют под углом оверхность исследуемого образ1532810 ЛГ Составитель, В,ПарнасовРедактор Т.Парфенова Техред М.Дидык Корректор Л.Бескию аказ 8090/48 Тираж 683 ПодписноеНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС113035, Москва, Я, Раушская наб., д, 4/5.Гагарина, 10 водственно-издательский комбинат Патент", г.ужгоро флуоресцентное характеристическое излучение одного из элементов, входящихв состав образца, отбирают под углом, и его интенсивность измеряют устройством 3. Затем изменяют углы Ч,и Ч относительно условного центрана йоверхности и измеряют интенсивность характеристического излученияпри нОВых значениях углоВ 12 и 2сравнивают их отношение с градуировочной характеристикой, построенной дляобразцов известной шероховатости,С целью повышения экспрессностиизмерения отбор характеристическогоизлучения можно производить одновременно двумя устройствами 3 выделенияи регистрации при различных углахотбора , и, угол Ч не меняется.При этом изменение углов Ч ипроизводят в одном и том же направлении по отношению к контролируемой по"верхности и не обязательно на одну ои ту же величину,25Для получения максимальной чувствительности изменяют углы Ч иодновременно и устанавливают в одном случае максимально, в другом минимально конструктивно возможные. Энергию первич- З 0 ного излучения выбирают исходя из достаточности возбуждения флуоресцирующего элемента,Предлагаемый способ позволяет ра" ботать по единой градуировочной харак. теристике для образцов с резко различным химическим составом и увеличитьчувствительность более чем в 4 раза,т.е. соответственно улучшить точностьопределения шероховатости поверхности,формула изобретения Способ определения шероховатости поверхности, заключающийся в том, что контролируемую поверхность облучают лучком первичного ионизирующего излучения с заданными параметрами, регистрируют интенсивность вторичного характеристического излучения одного из элементов, входящих в состав поверхности, изменяют один из параметров пучка, повторно облучают поверхность пучком первичного излучения, регистрируют интенсивность вторичного характеристического излучения того же элемента, входящего в состав поверхности, и по отношению зарегистрированных интенсивностей определяют величину шероховатости, о т л и ч. а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов, в качестве изменяемого параметра пучка используют угол падения пучка первичного излучения, а угол, под которым регистрируют вторичное излучение, изменяют в том же направлении по отношению к контролируемои поверхности, что и угол падения пучка первичного излучения.