Патенты с меткой «оже-спектроскопии»

Номер патента: 1103128

Опубликовано: 15.07.1984

Авторы: Вдовенков, Городыский

МПК: G01N 23/227

Метки: оже-спектроскопии, поверхности, твердых, тел

...пространственном разрешением лучше 1000 А и разрешанием по энергии 0,2 эВ для энергии 100 эВ.Однако указанные характеристики известного способа не всегда достаточны для решения ряда исследовательских задач.Цель изобретения - повышение чувствительности и разрешающей способности,Поставленная цель достигается тем,что согласно способу оже-спектроскопии поверхности твердых тел, заключающемуся в облучении исследуемой поверхности модулированным по интенсивности первичным пучком электронов,пропускании вторичных электронов через энергетический анализатор и регистрации прошедших через анализаторвторичных электронов в соответствиис параметрами модуляции первичногопучка, модуляцию первичного пучка осу.ществляют путем формирования пакетовл ф,+ аьсо...

Номер патента: 1272198

Опубликовано: 23.11.1986

Автор: Дегтярев

МПК: G01N 23/227

Метки: анализа, зернограничных, количественной, межфазных, оже-спектроскопии, поверхностных, сегрегаций, состава, электронной

...химическим (или другим,но не с помощью электронной 15 оже-спектроскопии, и болееточным, чем последний) методом анализа, ат.7,;1 - интенсивность пика ожеэлектронов для одного из20 химических элементов (входящих в состав объекта) отвнутренней области объекта,отн. ед,П р и м е р. Определяют концентра 25 цию фосфора в области зернограничнойсегрегации стали после закалки при1200 С из соляной ванны в маслеи отпуска при 550 С 1 ч. Непосредственно перед проведением анализа обра 30 зец стали диаметром 3 мм с Ч-образным кольцевым надрезом разрушаютстатическим изгибом в камере спектрометра при комнатной температуре в вакууме 5 ф 10 Па. Поверхность изломаоблучают электронным пучком диаметром около 3 мкм с ускоряющим напряжением 5 кВ. Регистрируют...