Потенциальный зонд для измерения типа проводимости полупроводниковых материалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 150176
Автор: Левинзон
Текст
,Класс 211 11 о 2 СССР ИЗОБРЕТЕНИ ПИСАН К АВТОРС МУ СВИ ЛЬСТВУ Подписная группа97 Д, И. Л ПОТЕНЦИАЛЪНЪЙ ЗОНД ОВОДИМОСТИ ПОЛУПРОВевинзонДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТИПАОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ Заявлено 7 июля 1961 г. залаги изобретений и открытий в 737392/26ри Совете Министров СССР Копнит бликовано в Бюллетене изобретений18 за 1962 г отенциальный потенциальноно Известны потенциальные зонды для измерения типа проводимосгиполупроводниковых материалов.Отличительная особенность описываемого потенциального зондасостоит в том, что он выполнен в виде конусообразного металлического, например латунного, стержня с полостью для жидкого газа. Потенциальный зонд такой конструкции повышает чувствительность измеренияк избыточной концентрации акцепторных примесей.На фиг. 1 схематически изображен описываемый понд, вид сбоку в разрезе; на фиг. 2 - схема включенияго зонда,Зонд 1,представляет собой латунный конусообразный стержень 2с полостью 3. При опускании зонда в сосуд 4 Дюара с жидким азотомон через боковые отверстия в стенках заполняется жидким газом.Включается зонд по обычной схеме потенциального зонда, Через ко такт зонда со слитком 5 пропускается переменный ток от источника регулируемого напряжения,Падение напряжения на контакте и на сопротивлении Р 1, включенм последовательно слитку, подается соответственно на горизонтальный и вертикальный усилители электронного осциллографа 6, на экране которого наблюдается вольтамперная характеристика.Для проведения измерения зонд опускают в сосуд Дюара, где онохлаждается в течение 20 - 30 сек. Затем зонд приводится в контакт сослитком. Хорошая теплопроводность контакта создает в слитке локальную область примесной проводимости, т. е. собственные носители заряда в этой области практически отсутствуют, При этом размеры охлажденной области должны превьппать диффузионную длину неосновныхноси 1 елей заряда, обы рекомбинационные процессы пе искажали разулт:, гов измерений.150176 Предлагаемый зонд может найти применение для контроля слитков полупроводниковнапример германия,по типу проводимости.Ф Предмет изобретения Потенциальный зонд для измерения тяпа проводимости полупроводниковых материалов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности измерения к избыточной концентрации акцепторных примесей, он выполнен в виде конусообразного металлического, например латунного, стержня, снабженного полостью для жидкого газа. оставитель описания М,еси актор Н. Л, Корченко Текред А. А, Кудрявицкая Корректор Н, В. Щербакова пография ЦБТИ, Москва, Петровка, 4. одп. к пеи. 26.1 Хгак. 9675ЦБТИ Комитета по делам изобМосква, Цен ормат бумТираж тсний и о , М. Черк;0 Х 1081/ 150рытий при Совет ский нер, д, 2/6,бъем 0,18 изд. л. Цена 4 коп. нистров СССР
СмотретьЗаявка
737392, 07.07.1961
Левинзон Д. И
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: зонд, полупроводниковых, потенциальный, проводимости, типа
Опубликовано: 01.01.1962
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-150176-potencialnyjj-zond-dlya-izmereniya-tipa-provodimosti-poluprovodnikovykh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Потенциальный зонд для измерения типа проводимости полупроводниковых материалов</a>
Предыдущий патент: Установка для пропитки и сушки статорных обмоток электродвигателей
Следующий патент: Способ получения термопар из углеграфитовых материалов
Случайный патент: Дизель с импульсным турбонаддувом