Способ производства сплавных диффузионных триодов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 140914
Авторы: Лихтман, Самохвалов, Татаренков, Червнявский
Текст
. Е. Лихтман, М. М. Самохва СПОСОБ ПРОИЗВОДСТ ИффУЗИОННЪХ ВА ВПЛАВНЬ ТРИОДОВио аслам изоорстений Заявлено 5 Февраля 1960 т. заи открытий убликоваио в Бюллетене изобретеии 1 Л 17 за 1961 г Известные способы производства вплавных диффузионных триодов с использованием шаблонов основаны на ручном выполнении ряда трудоемких операций, основными из которых являются нанесение слоя сурьмы и эмиттерного сплава на пластины полупроводникового кристалла, осуществляемое путем надевания их на острие иглы и опускания в нужное место кристалла при беспрестанном наблюдении в микроскоп. Кроме быстрой утомляемости оператора и невозможности произвести точное дозирование количества сурьмы и эмиттерного сплава, соединительный слой базы в переходах получается низкого качества.Предлагаемый способ отличается тем, что создание соединительного слоя базы в переходах получается загрузкой мслкодисперсного порошка сурьмы в лунки или отверстия шаблона с дозированием количества сурьмы путем изменения размеров лунок или отверстий шаблона. Нанесенную сурьму выплавляют непосредственно пз шаблона на пластину полупроводника с последующей возгонкой вплавленной сурьмы. Это отличие позволило значительно упростить технологию производства триодов и механизировать ряд ручных операций.На чертеже приведено разъемное приспособление, используемое для осуществления предлагаемого способа,Предварительно протравленная и луженая с одной стороны пластинка 1 из полупроводникового материала (германия или кремния) закрепляется на базовой подкладке 2, выполненной, например, в виде кварцевого параллелепипеда, Крепление полупроводниковой пластины может производиться за счет ее припайки к двум никелевым штырьками. Затем подкладка вместе с пластиной вставляется в молибденовую кассету 4. где фиксируется плоскими пружинами 5 и 6. Кассета имеет два штыря 7 для фиксации с. соответствующими отверстиями шаблона 8. Шаблон изготовляется из слюды или кварца и имеет сквозные отвер14(,)914 Иредмег изобретения Способ производства вплавных диффузионных триодов с использованием шаблонов, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии производства триодов, для создания соединительного слоя базы в переходах загружают мелкодисперсный порошок сурьмы в лунки или отверстия шаблона, дозируя количество сурьмы изменением размера лунок или отверстий шаблона, выплавляют сурьму непосредственно из шаблона на пластину германия, после чего производят возгонку вплавленной сурьмы.:оставптель В. Г. Гуф Гекрсд А. Л. Камышцпкс(армавм. 7,1Н1 пра.к 12омпстс по делам изобрери Совете Министров СЦептр, М. ееркасскийКоми 1 ета .о делам изобпппгтров СССР, Моска едактор И С Кудривпева0,18 пад л. Цена 4 коп.одп. к печ 14.Х011 т открытий ТИ при К ииии и ер., д. Моски бретсний и открытииа, Г)етровка,пографии ЦБТ" прп Совете стия 9 или лунки, в которые после закрепления шаблона на кассете винтами 10 загружают мелкодисперсный порошок сурьмы. Количество сурьмы определяется размерами лунок или отверстиями шаблона. Выплавление сурьмы на полупроводниковую пластину осуществляется непосредственно из шаблона при температуре 650 в водородной печи, Затем шаблон снимается и производится возгонка вплавленной сурьмы при температуре 670 в течение 10 мин.Нанесение эмиттерного сплава осуществляется аналогичным образом. Вновь надевается шаблон с сеткой, в отверстия которой засыпаются шарики эмиттерного сплава с последующим вплавлением и диффузией.Предлагаемый способ найдет широкое применение на предприятиях радиоэлектронной промышленности при изготовлении вплавных диффузионных триодов.
СмотретьЗаявка
654796, 15.02.1960
Лихтман Е. А, Самохвалов М. М, Татаренков А. И, Червнявский А. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/38
Метки: диффузионных, производства, сплавных, триодов
Опубликовано: 01.01.1961
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-140914-sposob-proizvodstva-splavnykh-diffuzionnykh-triodov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ производства сплавных диффузионных триодов</a>
Предыдущий патент: Автомат для изготовления проволочных выводов и припайки их к таблеткам стеклоэмалевых конденсаторов
Следующий патент: Измерительный прибор
Случайный патент: 158513