Способ определения коэффициента распыления материалов

Номер патента: 805862

Опубликовано: 23.10.1982

Автор: Маков

МПК: H01J 27/02

Метки: ионов, пучка

...доли атомарных ионов при получении пучка ионов водорода или его изотопов, напряженность магнитного поля выби рают из условия:50 где В - индукция магнитного поля,Указанная скорость одинакова для всехчастиц в плазме, однако движутся они поразным траекториям в силу различия в 55ларморовском радиусе частиц:01е- ВМ 60 где У, - скорость частиц поперек магнито о потя -- удельный заряд ионов. Врезультате кроме предускорения ионов радиусы ионов Н Н " Нсоответственно,Е - наименьший характерныйразмер отверстия. 20Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором изображен пример источника ионов, реализующий данный способ.Источник содержит газоразрядную камеру, образованную стенками 1, в передней 25стенке 2 выполнено извлекающее...

Номер патента: 1829742

Опубликовано: 10.02.1996

Авторы: Кузьмин, Муксунов, Никифоров, Петров, Староверов, Хрипунов, Шапкин

МПК: H01J 27/02

Метки: ионов, пучка

...при протекании радиального тока, Как уже отмечалось, плазменные электроны при протекании радиального тока свободно двигаются вдоль магнитного поля на электроды с положительным потенциалом со скоростью Че Возможна ситуация, когда скорость направленного движения электронов Ч, и ревышает скорость ионного звука в плазме С,:ЧеС,. Указанное соотношение есть условие возникновения е плазме ионно-звуковой неустойчивости, при которой энергия направленного движения электронов интенсивно трансформируется е тепловую, то есть, происходит нагрев плазл 1 ы и дополнительная ионизация вещества. Оценки показывают, что е зависимости от параметров плазмы, рабочего вещества и геометрии электродов с положительным потенциалом ионно-звуковая неустойчивость...

Номер патента: 1211645

Опубликовано: 15.02.1986

Авторы: Васильев, Коляда, Нагорная, Черепин

МПК: G01N 27/62, H01J 49/26

Метки: вторичной, ионной, компонентов, коэффициентов, образца, эмиссии

...очиЗ 5 щают поверхность от загрязнений,возникающих при контакте поверхности образца с окружающей средой впроцессе пробоподготовки и вакуумирования. После этого с помощью на гревателя с источником питания произ.водят кратковременный 1-2 минразогрев до 800 С для термическогообезгаживания поверхности образца.После остывания образца в камеру 45 напускают из баллонов с редукторамиактивную по отношению к железу газовую смесь - водород и азот, устанавливая парциальные давлениясоответственно 9 1 О и 3 10 Па.50 Выбор в качестве активного газаазотно-водородной смеси обусловлентем, что в зависимости от темпеО 15 20 25 ния определяется по значению токавторичных ионов в реперной (экстремальной) точке.Тип соединения опреде:,лением активного...

Номер патента: 1412516

Опубликовано: 27.12.1996

Авторы: Бернацкий, Власов, Павлов

МПК: H01J 27/26

Метки: ионов, пучка, цезия

Способ получения пучка ионов цезия путем полевой эмиссии ионов с острийного эмиттера в вакууме, отличающийся тем, что, с целью получения пучка однородного состава и субмикронных размеров посредством уменьшения диаметра, угловой расходимости пучка и давления паров цезия в вакуумном объеме, эмиссию ионов осуществляют с нанесенной на него пленки цезия с концентрацией (2 5) 1014 атм/см2, при температуре острия 250 600 К, напряженности электрического поля на вершине острия (4 10) 107 В/см с последующим снижением ее до величины (1 2,5)

Номер патента: 1444904

Опубликовано: 15.12.1988

Авторы: Богомолов, Третьяков

МПК: H01J 49/10

Метки: зарядам, ионов, пучка, селектированного

...двигаться по окружности большего радиуса. Если направление поля противоположно направлению движения иона, то ион тормозитсяв слоев и затем совершает следующийвитоК циклоиды, смещаясь в направлении эмиссионного отверстияТаким Образом, дрейф ионов с выбранным отно"шением Л/7:, в сторону эмиссионногоотверстия осуществляется в том слу"чае, если ионы попадают в слой привстречном направлении электрического 40поля, т.е, за время совершения ионом1/2 оборота в магнитном поле электрическое поле должно измениться на период. Это условие выполняется в томслучае, если ион совершает половинуоборота за время, равное периоду изменения электрического поля, т.е,1Т = -- ,Т2 1где Т, - период обращения иона в магнитном полес 1Т " период изменения...