Способ определения коэффициента распыления материалов

Номер патента: 1400138

Автор: Проценко

ZIP архив

Текст

(51) 5 С 23 С 14/46 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ.К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(46) 07.03.93,Бюл, М 9(56) ИеЬпег С.К. - Еою-Епег 8 у Зрцгеег 1 пе у 1 е 1 дв 1 и Н 8.-РЬув. Кеч,1958, ч. 112, и. 4 р. 1120-1124.Бондаренко И.С. и др. Бесконтактный метод измерения коэффициентов распыления материалов. - Поверхность, 1984, Р 7, с. 23-26.(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТАРАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ(57) Изобретение относится к ионнойтехнике и материаловедению и служит для повышения точности и упрощенияизмерения коэффициента распыленияматериалов. Сфокусированным пучкомионов, например, ксенона с энергией5 кэВ, током 9, 1 10 А, диаметромионного пучка 0,83 10 фсм, с гауссовым распределением плотности токасоздают кратер глубиной, равной диаметру, и одновременно с помощью массспектрометра регистрируют выход вторичных ионов меди. При этом определяют время, в течение которого ростигается максимум выхода расшшенных,частиц, В описании приведено выражение для определения коэффициента распыления; 1 табл.1400138 Коэффици ент распыления8 Погрещность,;% Распыляющий ионе Иатериал Энергияиона,кэВ Предлагаемый способаргон 1 2,3 12,Никель 5 4,9 5 5,9 5 9,1 10: Никель аргон Медь Медь аргон ксенон ПрототипНикель аргон 56,9(ВНИИПИ Заказ 1956 Тираж Подписное Произв-полигр, пр-тиег. Ужгород, уп. Проектная, 4 Изобретение относится к нонной технике и материаловедению н может найти применение для определения коэффициентов распыления различных ма 5 териалов.Целью изобретения является повыше ние точности и упрощение измерения коэффициента распыления материалов,П р и м е р. На стандартную уста новку, включающую ионную пушку и масс-спектрометр, устанавливают исОюедуемый,образец (поликристаллическая медная фольга) так, чтобы распыляющий ионный пучок бып направлен 15 по нормали к поверхности. Сфокусир 9- ванным пучком ионов ксенона с энергией 5 кэВ, током 9, 1 10А, диаметром ионного пучка 0,83 1 О см, с гауссовым распределением плотности тока 20 создают кратер глубиной, равной диаметру, и одновременно с помощью массспектрометра регистрируют выход вторичных ионов меди. Определяют время, при котором достигается максимум вы мода распыленных частиц, которое в данном примере оказалось равным 298 с.В таблице приведены величины коэф-фициентов распыпения Я, которые опреК К, 30 делйлись из выражения Я=- в . в , гдев уК1,2 для гауссового распределения плотности тока в пучке; Е - радиус полного пучка, см;- атомная плотность материала) ат/см 1 С - время З 5 достижения максимального выхода рас- . пьщенных частиц, с; 1 - плотность потока ионов в центре пучка, ион сме с, а также погрешности определения коэффициентов распыления различных материалов предлагаемым способом и прототипом.Как видно из приведенной таблицы, точность определения коэффициента распыления предлагаемым способом в 4-5 раз выше, чем по способу-прототипу. Формула изобретения Способ определения коэффициента распылений материалов, включающий травление поверхности материала ионным пучком и измерение времени достижения максимального выхода распыленных частиц материала, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности и упрощения методики измерения, травпение проводят ионным пучком с гауссовым распределением плотности тока по радиусу пучка, а коэффициент распыления определяют из выраженияЯ - , ат/ионК Йо111где К = 1,2; к - радиус ионного пуч" ка, см; у - атомная плотность материала, ат/см;- время достижений максимального выхода распыленных частиц материала, с; 1 - плотность потока ионов в центре пучка, ион/смф с.

Смотреть

Заявка

4106443, 04.06.1986

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6496

ПРОЦЕНКО А. Н

МПК / Метки

МПК: C23C 14/46

Метки: коэффициента, распыления

Опубликовано: 07.03.1993

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1400138-sposob-opredeleniya-koehfficienta-raspyleniya-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения коэффициента распыления материалов</a>

Похожие патенты