Способ получения пучка ионов цезия
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
Способ получения пучка ионов цезия путем полевой эмиссии ионов с острийного эмиттера в вакууме, отличающийся тем, что, с целью получения пучка однородного состава и субмикронных размеров посредством уменьшения диаметра, угловой расходимости пучка и давления паров цезия в вакуумном объеме, эмиссию ионов осуществляют с нанесенной на него пленки цезия с концентрацией (2 5) 
1014 атм/см2, при температуре острия 250 600 К, напряженности электрического поля на вершине острия (4 10) 107 В/см с последующим снижением ее до величины (1 2,5) 107 В/см.
Описание
Цель изобретения уменьшение давления паров цезия и улучшение параметров пучка, а именно уменьшение диаметра и угловой расходимости пучка и повышение однородности его состава.
Способ состоит в следующем.
В качестве эмиттера ионов берут вольфрамовое острие с радиусом закругления вершины порядка 10-6
10-4 см. На острие наносят пленку цезия с концентрацией N-(2-5) 1014 ат/см2. При температуре из интервала 250 600 К цезий за счет поверхностной диффузии покрывает всю поверхность острия. Вблизи вершины острия создают электрическое поле напряженностью (4 10) 107 В/см, что приводит к мгновенной десорбции слоя цезия с вершины. После этого снижают напряженность электрического поля до (1 2,5) 107 В/см. При этом за счет образования градиента концентрации поля вдоль поверхности адсорбированные атомы цезия будут диффундировать с боковой поверхности острия на его вершину и десорбироваться полем в виде ионов. Поскольку экспериментально установлено, что скорость полевой десорбции резко возрастает с ростом напряженности поля и снижением поверхностной концентрации цезия, то эмиссия ионов преимущественно происходит с небольшого участка поверхности на вершине острия площадью 10-15 10-9 см2, где одновременно имеются и наибольшая напряженность электрического поля и наименьшая поверхностная концентрация цезия. Таким образом, эмиттируемые за счет полевой десорбции ионы цезия образуют пучок малого диаметра и с ограниченной угловой расходимостью.При этом отсутствует испарение цезия в виде нейтральных и многоатомных частиц, и пучок состоит в основном из ионов Cs+.
Изобретение относится к эмиссионной электронике и может быть использовано в технологии и экспериментальной технике. Цель изобретения - разработка способа получения узкого пучка ионов цезия однородного состава с малой угловой расходимостью без напуска паров цезия. Способ включает подачу цезия на острийный эмиттер, приложение к эмиттеру положительного электрического потенциала в вакууме, нанесение цезия на вольфрамовое острие в виде пленки концентрацией (2 - 5)
1014 ат/см2. Установление температуры острия в интервале 250 - 600 К, приложение электрического поля с напряженностью на вершине (4 - 10) 107 В/см и последующее снижение его до (1-2,5) 107 В/см. Улучшены параметры пучка; диаметр, угловая расходимость и однородность состава, а также снижено давление паров цезия в вакуумном объеме. Заявка
4158931/25, 11.12.1986
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе
Бернацкий Д. П, Власов Ю. А, Павлов В. Г
МПК / Метки
МПК: H01J 27/26
Опубликовано: 27.12.1996
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1412516-sposob-polucheniya-puchka-ionov-ceziya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения пучка ионов цезия</a>
Способ диагностики компенсации заряда в ионных пучках магнитного сепаратора
Номер патента: 1580456
Опубликовано: 23.07.1990
Авторы: Дацко, Земсков, Стукан, Шишленко
МПК: H01J 49/26
Метки: диагностики, заряда, ионных, компенсации, магнитного, пучках, сепаратора
...на это защитным увеличением потенциала, 15".) 5635 40 45 50 то зя счет отсоса электронов потенциал объема пучка достигнет значенийзондирующего импульса, т.е. 25 В. Ноэто кяк ряз тот максимальньп (пороговый) потенциал пространства пучка,который дает предел возможности использовать изотопные пучки в целяхкачественного разделения изотопов в магнитных сепараторах.Воздействие импульса осуществляют на пучок в его начальном участке с плотной пучковой. плазмой, Это обусловлено темчто, как показали первые испытания предлагаемого способа, в плотности тока и,токе быстрых ионов генерирует плотная пучковая плазма, сконцентрированная на его начальном участке (там, где пучок интенсивно ионизует неионизованный пар источника при выходе его...
Устройство для получения интенсивных ионных пучков
Номер патента: 1108943
Опубликовано: 07.02.1993
Авторы: Пузиков, Семенов, Сивко, Харченко, Чайковский
МПК: H01J 3/04
Метки: интенсивных, ионных, пучков
...замедления расходящегося пучка. В этом случае даже использованиеэлектродов замедления оптимальнойгеометрии приводит к большим потерямпучка ионов, .Этого можно избежать,если на вход системы замедления подавать сходящийся пучок с углом схо"димости, который бы обеспечивал формирование в промежутке замедлениянерасходящегося пучка,. что устранитпотери ионного:.пучка. Величину требуемого угла сходимости можно определить несколькими способами: электродинамическим расчетом, иСходя изгеометрии электродов замедления,экспериментально, а также используясимметрию электродов ускорения и замедления и известные расчеты для пушек Пирса. 108943 6 статические линзы,. Однако использо.вание конструкций линз, известныхиз литературы, не дало...
Детектор ионных пучков
Номер патента: 1123392
Опубликовано: 23.03.1986
Авторы: Аруев, Байдаков, Мамырин
МПК: G01T 1/29
Метки: детектор, ионных, пучков
...тритий способны накапливаться на поверхностях по мере работы с ними, причем их удаление связано с большими трудностями. Таким образом, при работе прибора даже с минимальными количествами трития со временем происходит увеличение фона,Цель изобретения - обеспечение возможности измерений ионных токов при наличии в приборе-активной газовой компоненты.Цель достигается тем, что в детекторе ионных пучков для масс-спектрометра, включающем размещенные в вакуумной камере ионно-электронный преобразователь, анализатор энергий электронов, сцинтиллятор и регистрирующее устройство, сцинтиллятор выполнен в вице монолитного экрана из СаГ (Еи) с вакуумно-плотным защитным2слоем фоторезиста, а в качестве защитнбго слоя сцинтиллятора использован фоторезист...
Устройство для сепарации по массам трубчатых ионных пучков• « •—i -««в п 1 с»mm
Номер патента: 418206
Опубликовано: 05.03.1974
МПК: B01D 59/44, G01N 27/62
Метки: i••, v•(•, ионных, массам, пучков, с»mm, сепарации, трубчатых
...системы к ого ферромаг е поле созд оля на нитные атушек нитного ается с изолятор 1, ферромагленоиды 3, цплиндри418206 Таким образом, в деазимутаторе вращательный момент, приобретенный в азимутаторе, компенсируется и ионы выходят из сепаратора без азимутальной скорости, но разделенные по 5 массам, При такой структуре полей сепараторобеспечивает фокусировку ионного пучка, имеющего расхождение в радиальном направлении. Кроме того, в сепараторе отсутствует хроматическая аберрация, связанная с на чальным разбросом угловых скоростей ов ионов, выходящих из источника.Существенной особенностью устройства является его транзитивность: оно работает как с компенсированнЬми, так и с некомпенсиро ванными пучками. Это связано с тем, что поля Е и Н...
Способ сепарации по массам ионных пучков
Номер патента: 444101
Опубликовано: 25.09.1974
МПК: G01N 27/62
Метки: ионных, массам, пучков, сепарации
...д, , условия равновесия выполняться не будут, и. они будут смещаться в зависимости. от массы либо на большие, либо на меньшие радиусы.1 аким образом, осуществляется сепарация ионов по массам. датем для того, чтобы компенсировать закрутку, йриобретенную ионами в радиальном магнитном доле, их вновь пропускают через радиальное магнит. ное поле, равное первому по величине, но противополоао направленное. В результате получают ионы без азимутальной скорости, но уже разделенные по массам.При оолее точном РассмотренииСоставитель Г, Йв т Ро ВЗ.РедакторЗ 1 Ъердохлеоова ТехредА.Чавутньяк Корректор.11,6 елр 8 сор Изд Мй/2 Тираж Яф Заказ 5Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, 113 О...
Предыдущий патент: Способ межоперационной консервации пластин арсенида галлия
Следующий патент: Светочувствительные соединения в вакуумных фотолитографических процессах
Случайный патент: Форма выполнения глиномялки, охарактеризованной в пат. № 13695 и № 18232