Неразрушающий способ контроля адгезии металла к диэлектрику

Номер патента: 1323940

Автор: Зайдман

ZIP архив

Текст

ОЮЗ СОВЕТСКИХОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ БО 2394 ПУБЛИН и 4 б 01 Х 27 46 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ г г; У ДЕТЕЛ К АВТОРСКОМ зовано в микро никовой технике. ности и других воляет упростить разец с ассимет либо в процесс ния, либо в п анизатропии само чают через перек, мерителю тока. П вия повышенной ют изменение нап полярности вклю воляет судить об лектрику. В усло ности происходит верхности диэлек вается ток, что контроля адгезии 1 ил. кл. б РУ ЕЗИ54) НЕРОЛЯ АИКУ ГОСУДАРСТВЕННЫИ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Томский политехнический институт им. С. М. Кирова(56) Зайдман С. А. Твердотельный источник тока с высоким внутренним сопротивлением, - Приборы и системы управления, 1982,8, с. 25.Авторское свидетельство СССР491085, 01 М 19/04, опублик. 1975, ( АЗ ШАЮЩИй СПОСОБ КОНТР ДГ И МЕТАЛЛА К ДИЭЛЕКТ(57) Изобретение относится к способам контроля механической прочности соединений металл-диэлектрик и может быть испольэлектронике, полчпроводкабельной промышленобластях. Способ позпроцесс измерения. Обрией, заложенной в нем е технологии изготовлередварительно созданной го диэлектрика, подклюючатель полярности к изомещают образец в условлажности и регистрируравления тока при смене чения образца, что позадгезии металла к диэвиях повышенной влажсорбция пленки на потрика, при этом увеличи- повышает достоверность металла к диэлектрикч.323940 формула изобретения Составитель Е. АнисимовРедактор А. Лежнина Техред И. Верес Корректор В. БутягаЗаказ 2959/48 Тираж 776 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к способам определения прочности и может быть использовано в кабельной технике, микроэлектронике и полупроводниковой технике,Целью изобретения является упрощение 5 процесса измерения,На чертеже приведена принципиальная схема устройства для осуществления предлагаемого способа.Диэлектрик 1, на который нанесены металлические электроды 2, зажимаются между токоотводящими электродами 3, которые подсоединены к измерительному прибору 4 через переключатель 5 полярности при этом образец помещен в камеру 6 влажности.Способ осуществляют следующим образом.Образец с асимметрией, заложенной в технологии изготовления его или в предварительно созданной анизотропии самого диэлектрика , помещают в камеру 6 влажности, затем подсоединяют его к регистратору тока и в замкнутой цепи образец-измерительный прибор 4 регистрируют генерируемый образцом ток, Далее производят переключение полярности образца, поворачивая его на 80 или меняя местами токоподводящие проводники 3 измерительного прибора, что также можно сделать с помощью переключателя 5, после чего регистрируют смену направления тока, что явля- З 0 ется гарантией генерации тока образцом, а следовательно, доказывает наличие хорошей адгезии металла к диэлектрику,Контроль адгезии металлических покрытий на диэлектрическом основании данным способом можно проводить только для асимметричных структур металл - диэлектрик - металл. Такие ассиметричные структуры имеются в микроэлектронике, когда на диэлектрическую подложку (ситалл, керамика, сапфир, брокерит и т, д.) наносят резистивные пленки из алюминия или тантала, из золота или никеля и т. д., а также осуществляют многослойное покрытие с разным количеством слоев металла на каждой из сторон диэлектрика, или, если имеется градиент концентрации носителей заряда, вдоль самого диэлектрика. Неразрушающий способ контроля адгезии металла к диэлектрику, при котором на образце измеряют электрические параметры, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения, образец с асимметрией проводящих слоев или с анизотропией диэлектрика помещают в камеру влажности, регистрируют ток, генерируемый образцом, производят переключение полярности образца и по смене направления генерируемого тока судят об адгезии металла с диэлектриком.

Смотреть

Заявка

4034711, 07.03.1986

ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. С. М. КИРОВА

ЗАЙДМАН СОФЬЯ АРОНОВНА

МПК / Метки

МПК: G01N 27/46

Метки: адгезии, диэлектрику, металла, неразрушающий

Опубликовано: 15.07.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1323940-nerazrushayushhijj-sposob-kontrolya-adgezii-metalla-k-diehlektriku.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Неразрушающий способ контроля адгезии металла к диэлектрику</a>

Похожие патенты