Способ определения адгезии металлической пленки к диэлектрической подложке

ОЮЗ СОВЕТСКИХ ОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 131 19/О 1) 4 Йе:"ский нко,(56) А Р 4918Тех ССР 74. вочник ен Л.бл. 1 ИЯ АДГЕЗИ ДИЭЛЕКТРИ И МЕЧЕСКОЙ емаст 4,5 пытадля и их ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ ИСАНИЕ ИЗО А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ нститут72) О,И.Палий, П.Д.Петра .Н.Каспиров и В.А.Карпов 53) 620.179.4 (088,8) орское свидетельство Скл . С 0 1 1)1 19/04 ф 19 логия тонких пленок, С од ред. Л.Майссела, Р. Советское радио, 1977,(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНТАЛЛИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ КПОДЛОЖКЕ(57) Изобретение относитсятельной технике, предназначопределения адгезии металли пленок к диэлектрическим подложкам и позволяет повысить точность опре деления путем учета протяженностисоединения пленок с подложкой, Впленке 2 выполняют сквозные прорезипо логарифмической сходящейся илирасходящейся спирали 3 с непрерывноуменьшающимся шагом, начало и конецкоторой переходит в окружности 4,5.Витки спирали 3 выполняют до отделения пленки 2 от подложки 1. Логарифмическая спираль 3, проходя по различным участкам соединения, позволяет контролировать площадь контактирования пленки 2 с подложкой 1 назначительной протяженности. В качестве параметра, характеризующего адгезию металлической пленки 2 к диэлектрической подложке 1, определяюткость или электросопротивление учка 6 пленки 2 между окружностями310699 Составитель В.СвиридовРедактор А.Ревин Техред М.Хопанич Корректор С,Черни Заказ 1883/39 Тираж 777 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г,Ужгород, ул.Проектная,4 1 1Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам определения адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам,Цель изобретения - повышение точности определения адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам путем учета протяженности соединения пленки с подложкой,На чертеже изображена схема осуществления предлагаемого способа,Способ осуществляют следующим образом.На диэлектрическую подложку 1наносят одним из известных способовиспытуемую металлическую пленку 2.В пленке 2 с помощью индентора выполняют сквозные прорези по логарифмической сходящейся или расходящейся спирали 3 с непрерывно уменьшающимся шагом, начало и конец которойпереходят в окружности 4 и 5,Витки спирали 3 выполняют до отделения пленки 2 от подложки 1. Приэтом пленка 2 разделяется на триучастка, один из которых ограниченокружностью 4 и лежит внутри ее,второй ограничен окружностью 5 илежит за ней, а третий лежит междуокружностями 4 и 5. ЛогариФмическаяспираль 3 с непрерывно изменяющимсяшагом ее витков, проходя по различным участкам соединения, позволяетконтролировать площадь контактирования пленки 2 с подложкой 1 значительной протяженности, При сходящейся спирали 3 отделение пленки 2 отподложки 1 происходит по меньшейплощади, чем при расходящейся спирали 3. Подключают участок 6 пленкимежду окружностями 4 и 5 к измерительному электрическому мосту (непоказан) и измеряют его емкость илиэлектросопротивление, которые служат параметрами, характеризующими адгезию металлической пленки 2 и диэлектрической подложки 1 и изменяющимися при отделении пленки 2 от подложки, Использование емкости или электросопротивления в качестве электрического параметра повышает точность начала отделения пленки 2 от подложки 1.10 П р и м е р. На подложку из ситалла СТ 38-1 размером 60 48 1,0 мм наносят пленку никеля ионно-плазменным напылением на установке УРМ 3,279,026 и доращивают пленку до толщины порядка 10 мкм химическим осаждением. Прорези в пленке выполняют стальным индентором с радиусом 0,15 мм, Величина нагрузки на индентор составляет 350 г.Наружный диаметр окружности составля ет 40 мм, Измеряют емкость участкапленки между окружностями с помощью моста переменного тока Р 5010. Величина емкости составляет 84 пФ, а электросопротивления - 1,73 кОм, 25 Формула изобретения Способ определения адгезии металлической пленки к диэлектрической 30 подложке, заключающийся в том, чтов пленке выполняют сквозные прорезипо спирали с непрерывно уменьшающимся шагом до отделения пленки от подложки и определяют параметр, характе ризующий адгезию, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью повышения точности определения, прорезинаносят по логарифмической сходящейся или расходящейся спирали, начало щ) и конец которой переходят в окружности, а в качестве параметра, характеризующего адгезию, определяютемкость или электросопротивлениеучастка пленки между окружностями.