Устройство для определения адгезии пленок к подложке

(72) Авторы изобретен льский,и проекой промышленноеж,Казанский учи оисследова ико-фотографич 1) Заявитель титут ПРЕДЕЛЕН К ПОДЛОЖК ть ае-,при скрайИзобретение относится к испытательной технике, а именно к устройствам для определения адгезии пленок к подложкам скрайбйрованием.Известно устройство для определения. адгезии пленок к цодлокке скрайбирова-. 5 нием, содержащее держатель, закрепленный в держателе резец с режущей кромкой и силоизмерительный механизм Я .Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является устройство для определения адгезии пленок к подложке скрайбированием, содержащее подвижный стол для закрепления подложки, держатель, закрепленные в держателе два резца спараллельными режущими кромками и измерительный прибор, при этом режущие кромки резцов выполнены разными по ширине, а резцы установлены в од 3 щ ряд с зазором между ними 2)Общим недостатком этих устройств является низкая точность определениябировании, поскольку они Петрик, В. М. Смирнов, Л. Т.:ГроссЮФ ДФ Сидоров р: не позволяют исключи иэ величины нагрузки при скрайбировании силы трения режущих кромок о поверхности подложки и покрытия и определить момщт касания резцами поверхности подлаккй.Бель изобретения - повыпение точности определения адгении.Бель достигается тем, что в устройст ве для опредежния адгезии пленок к подложке скрайбированием, содержаиЬЬю подвижный. стол для закрепления пщрищ- ки, держатель, закрепленные в деркате ле два резца с парвллеа ными режущими кромками и измеритеьный прибор, режущие кромки резцов выполнены равными ло йирине, а резцы установлены в держателе один за другим с заходом одной режущей кромки за дегутаПри этом устройство снабжено связано ным с измерительным прибором датчиком глубины погружения резцов, закрепленным на держателе за резцами.На фиг. 1 изображена схема предлаг мого устройства; на фиг. 2 - подложка3 МИ 74 4 нт.касания резцами которого поступает через преобразована фиг, 3 - блок- тель 19 на регистратор 16. При этомприбора, сигнал с преобразователя 19 поступает жит основание 1, ус- на блок 18 управления обмоткой 17 с возможностью пере-электромагнитного нагружателя 4, и репленный на основа- дальнейшее перемещение держателя 6 с связанный с послед- резцами 7 и 8 прекращается, а механиитный нагружатель ческие нагрузки на режущие кромки 9 рибор 5, держатель и 10 преобразуются тензометрическими ержателе 6 один за 10 датчиками 13 и 14 усилия скрайбироваи 8 с равньми по ния и электрические импульсы, которые мками 9 и 10 и через блок 15 обработки и индикации одом одной режущей поступают также на регистратор 16, Так режущую кромку 10, как режущие кромки 9 и 10 резцов 7 1 погружения резцов Б и 8 выполнены равными по ширине, тона держателе 6 за усилия Рт , Г трения резцов 7 и 8тИ в тР 2ный с измеритель- о поверхность подложки 20 также равны, поэтому они практически полностью ибор 5 (фиг, 3) со компенсируются в блоке 15 обработки 12 постоянного тока, 2 о и индикации. Так как,резцы 7 и 8 устатчиков 13 и 14 уси новлены с заходом одной режущей кромки езцов 7 и 8, блока 9 эа другую режущую кромку 10, то нации, регистратора резец 8 воздействуют сила Гтрения ктромагнитного нагру- от двух боковых поверхностей режущей 18 управления и дат з кромки 9, а на резец 7 воздействует ружения с преобра- сила ГЯ, трения тоЖко от одной повеРхности режущей кромки 10. Поэтому сиает следующим об- лы Г 3, Г трения режущих кромок9 и 10 о пленку 21 наполовину компенпляют подложку 20 щ сируются.пленкой 21. Настра- На выходе блока 15 обработки и инбины погружения дикации получают сигнал, состоящий из чника 12 постож- разности адгезионной составляющей усикасания резцами лий Га Гд адгезии и составляющей20, Подводят ре усилий бокового трения Г 6, ф Г б ф Ве 0 резцов 7 и 8 до личина составляющей усилий бокового остью пленки 21. трения ГВ, Г на несколько порядков столу 2 относительно меньше составляющей усилий Гц, Г тепенно перемещая. ,адгезии, поэтому этой величиной при ойтеля 4, погружают ределении адгезии пленок 21 к подложке су 21, которые свои при скрайбировании пренебрегают ии 9 и 10 скрайби- на выходе регистратора 16 получают веэтом режущие кром- личину адгезии пленки 21 к подложке 20,и 8 воспринимают равную разности усилий с, Рс скрайи гс скрайбирова бирования режуцих кромок 9 и 10 рези 21, которые скла- цов 7 и 8.43Га , Гд преодоле- Устройство позволяет повысить точГтр тР тРения о ность определения адгезии пленок к под 20 и усилий Р ложке при скрайбировании, поскольку1режущих кромок исключает скрайбирование резцами под. При скрайбирова- ложки и влияние величины трения режу 50и 9 и 10 пленки . щих кромок резцов о поверхность подложя слои опреде- . ки и бокового трения о пленку с покрытием в момеподложки, вид сверхусхема, измерительногоУстройство содертановленный на неммещения стол 2, закнии 1 кронштейн 3,ним через электромагн4 и измерительный п6, закрепленные в ддругим два резца 7ширине режущими кроустановленные с захкромки 9 за другуюи датчик 11 глубинь7 и 8, закрепленныйрезцами 7 и 8 и связанным прибором 5,Измерительный прстоит из источникатензометрических далия скрайбирования р15 обработки и индика16, обмотки 17 элежателя 4 с блокомчика 3.1 глубины погзователем 19.Устройство работразом.На столе 2 эакрес нанесенной на нееивают датчик 11 глурезцов 7 и 8, от истоного тока на моментповерхности подложкижущие кромки 9 и 3.касания их с поверхнСообщают движениерезцов 7 и 8 и, посдержатель 6 от нагружарезцы 7 и 8 в плеюми режущими кромкамРуют пленку 21. Прики 9 и 10 резцов 7на себя усилия ГС 1ния со стороны пленкдываются иэ усилийвая адгезии, усилийповерхность подложкиГ; бокового трения9 и 10 о пленку 21нии Режущими кромкам21 с последней удаляютсленной толццвы до тех пор, пока датчик11 глубины погружения резцов 7 и 8 недостигнет поверхности подложки 20.Момент достижения резцами 7 и 8 поверхности попложки 20 фиксируется датчиком 11 глубины погружения, сигнал с Формула изобретения 1. Устройство для определения адгеэиипленок к подложке скрайбированием, со5 081874 6 держащее подвижкый стол для закрепле- с измерительным прибором датчиком глуния подложки, держатель, закрепленные бины погружения резцов, закрепленным в держателе два резца с параллельными на держателе за резцами. режущими кромками н измерительный прибор, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что 1 В - Источники информаши, с целью повышения точности определения принятые во внимание при эксцертизе адгезил, режущие кромки резцов выполне, Патент фРГ И 1956098, ны равными по ширине, а резцы установ- кл. С, 01 М 19/04, 1978. лены в держателе один за другим с захо дом одной режущей кромки за другую. 10 2. Авторское свидетельство СССР2. Устройство по п, 1, о т л и ч а ю- Ж 605155, кл, 5 01 И 19/04, 1974 щ е е с я тем, что оно снабжено связанным (прототип.М 1874 Составитель В. Свиридоведактор Н. Киштулинед Техред З.Палий Корректор У, Пономаренко коз 9700/62ВНИИП лиал ППП фПатентф, г. Ужгород, ул Проектная, 4 Тираж Государст делам изо , Москва,887нного комитета тений и открь