Испаритель

(22) Заявлено 2 7.01.72(21) 1741832/ 1) М. Кл. С 23 С 13/ присоединением заявкиасударстееннын камнтетСеаата Министров СССРпе делам изобретенийи открытий 23) Приоритет) ИСПАРИТЕЛЬ Изобретение касается нанесения покры-тий в вакууме,и может использоватьсядпя получения тонких пленок методом тер.4мического,испарения.Известен испаритепь, содержащий тюкнагреватель и загрузочное устройство, Ти-гель установлен неподвижно, Материал иэ,оагрузочного устройства подают в зону на,пыпения,Однако при испарении металла из твердойфазы известный испаритепь не может обеспечить равномерное испарение металлизатора;при условии непрерывной работы установки;;так как ввод новых порций холодного ме-;таппа в зону испарения изменяет температуру, а следовательно, и интенсивность испарения.цепь изобретения - повышение равномености покрытий при испарении вешеств изтвердой фазы путем загрузки новых порцит 2в тигель вне эоны испарения при непрерырпом процессе,Это достигается тем, что испаритель,снабжен допопнптепытым затрузочным уст 1 ройством, установленным симметрично ос струкция преттрой-тор оны новному относительно нагревателя, тележ- кой, выполненной с воэможностью пЕремещения между загрузочными устройствами, прттчем тигель установлен на тележке, а рас стояние между загрузочными устройствами) не превышает длину тигля.На чертеже изображена конлагаемого испаритепя.Испаритель имеет тигель 1 с испаряео 1 мым металлом, подвижную тележку 2, совершающую возвратно-поступательное дви жение, нагреватель 3 загрузочных ус ств 5 и 4, расположенных по обе сот нагревателя 3.15 Металл 6 испаряется в зоне испарения,за счет нагрева металла от нагревателя 3, которым может быть элемент сопротивле 1 ния, электронный луч или другой источник нагрева, В процессе испарения металла мед ,пенно перемешается тележка 2, на которой неподвижно установлен тигель 1 с испаряемым металлом 6. Скорость движения тележки 2 дня равно;,;ерного испарения металла должна быть величиной постоянной, что; обеспечивает одинаковое количество метал532659 3,дет зв пределы зоны испарения и попадет под загрузочное устройство. При этом не допускается выход тигля с металлом зв пределы эоны испарения, Минимальная величина хода тележки в одну и другую сторону от зоны испарения равна поповине длины тигля, при общей длине тигля не менее, чем в 2 раза превышающей длину эоны испарения, Загрузочные устройства 4 и 5 в этоМслучае располагаются непосредственно эвзоной испарения. Процессы испарения и загрузки метаппа при движении тигля 1 в одном и другом направлении аналогичны,Составитель Л. АнисимоваТехред М, Левицкая Корректор В. Куприянов Редактор Л. Лашкова Заказ 5543/256, Тираж 1068 ПодписноеПНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская, набд. 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ла, вводимого в зону, испарения в единицу ремени. В случае, когда допускаются неоторые отклонения скорости испарения,ижение тележки 2 может осуществляться . переменной скоростью или с остановка, Скорость движения тележки зависит рт мощности нагревателя, протяженности зоны испарения, природы испаряемого металла и топщины слоя испаряемого металла в тигле. Скорость движения тележки 2 должна быть такой, чтобы после выхода тигля 1 иэ зоны испарения на дне тигля оставался тонкий слой метвллизатора (при- мерно 10% от обшей толщины опоя металпа перед испарением).1 ЬЗагрузка новых порций металла произво1 дится в ту часть тигпя, которая с остатком неиспарившегося металла находится под одним из загрузочных устройств 4 ип 5, Начало загрузки определяется моментоь появпения тигля 1 под загрузочным устрой.М ством, конец загрузки - моментом изменения направления хода тележки ипи ее остановкой, Работа загрузочных устройств 4 и 5 осуществляется автоматически, дпя че , го они снабжены специальными приспособ 2 пениями дпя регулирования количества подаваемого в тигель 1 металла в зависимос 1- 1 ти от его расхода и датчиками начала и конца (остановки) работы, Изменение направления движения тележки 2 осуществпя- ЭО1ется автоматически и происходит после то 4 го, как не менее чем половина тигля выйформула изобретения Испаритепь, содержащий тигель, нвгре ватель и загрузочное устройство, о т и ич а ю щ и й с я тем, что, с целью новы- щения равномерности покрытий цри испаре- нии веществ из твердой фазы путем загруз-. ки новых. порций в тигель вне зоны испвре 4 ния при непрерывном процессе, он снабжен дополнительным загрузочным устройством, установленным симметрично основному;за- грузочному устройству относительно нвгре вателя, тележкой, выполненной с возмож, ностью перемещения между загрузочными устройствами, причем тигель установлен на тележке, а расстояние межд эагрузоч ными устройствами не превышает длину тиг-; ля.