Травитель для халькогенидных стекол (его варианты)

801160483 А СОЮЗ СОВЕТСКИХОРНЮВПНЕПЕИРЕСПУБЛИК 4 рц С 30 В 28/46; Н 01 1. 21/302 РЕ ИОАН ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ компонентов соотнош Метипат ил лат натрия Тиомочевин Ме типовый. этиловый с 25,0 0,7 или 2. Т текол,ем, чт ивност идат илиавитело т лс цтравл тило род н и при сле неистов,етилат или этиат натрияероуглерод 0,5-25,0 0,2-20 0 Остальноег Я Метиловый или этиловый спирт;ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Борисова З.У. Химия стеклообраэ.- ных полупроводников, Л., ЛГУ, 1973, с. 206.Гуревич С.Б, и др. Структура иФсвойства некристаллических полупроИ 9 .водников. Сборник. Л., Наука , 1976, с. 451.(54) ТРАВИТЕЛЬДЛЯ ХАЛЬКОГЕНИДНЫХ СТВОЛ (ЕГО ВАРНАНТЫ).(57) 1. Травитель для халькогенидных стекол, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения селектив" ности травления, он содержит метилат или этилат натрия, тиомочевину иметиловый или этиловый спирт при ирт Остальное ь для халькогенидных и ч а ю щ и й с я елью повышения селекения, он содераит ме, ат натрия, сероуглеый или этиловый спирт соотношениях компоъФ1160483 Составитель Н, ЯрмолюкРедактор Н. Бобкова Техред Л.Коцюбняк Корректор И. Самборская Заказ 3834/50 Тираж 679 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5ул. Проектная, 4 1Изобретение относится к оптико- электронному приборостроению и используется при изготовлении фоторезистор на основе пленок халькоге-е 1нндных стекол путем формования на них рельефа травлением.Цель изобретения - повышение се" лективности травления. П р и м е р 1. Свеженапыпенную пленку состава,Аз 50 Яебб толщиной 0,2 мкм облучают через Фотошаблон светом гелий-неонового лазера. Доза облучения 10 Дж/см . Для формирования рельефа используют травитель, содержащий, Х: тиомочевина 0,7, метилат натрия 25 и метиловый спирт 74,3. Время. растворения облученных участков пленки 2 мин. Через 2 мин подложку с пленкой вынимают из травителя, ополаскивают спиртовым раствором уксусной кислоты и высушивают. Измеряют высоту рельефа толщину необлученных участков пленки) по сдвигу интерференционных полос в микроскопе ИИИ, Толщина оставшейся пленки - (0,18+0,01) мкм - близка к начальной, Опыт с экспонированной пленкой повторяют, измеряя времярастворения незасвеченных участков,30 которое равно 10 мнн, Таким образом, отношение скоростей облученного .и необлученного участковпленки, т.е. селективность травителя, составляет 5: 1.35 П р и м е р 2. Аналогично предыдущему примеру подготавливают пленку состава Аз Яе , толщиной 0,28 мкм. Для формирования рельеФа используют травитель, содержащий, Х: тиомочевина 7, метилат натрия 0,5 и метиловый спирт 92,5. Высота рельефа после травления 0,2610,02 мкм. Время растворения об.лученных участков пленки 3 мин, необлученных 22 мин, Селективность 7,3 ф 1. филиал ППП "Патент", г, Ужгород. гП р и м е р 3. Опыт проводят аналогично предыдущим, но используя пленку состава Аз, Яе б толщиной 0,2 мкм. Используют травитель, содержащий, 3: тиомочевина 1,5, метилат натрия 12, метиловый спирт 86,5. Время растворения облученного участка 0,5 мин, Высота рельефа после травления 0,18+0,01 мкм. Время растворения необлученного участка 6 мин. Селективность 12:1.П р и м е р 4. Опыт проводят аналогично предыдущему, но используют пленку Се Яе 1, облученную через фотошаблон светом аргонового лазера, толщиной 0,3 мкм. Используют травитель, содержащий, Ж тиомочевина 0,9, этилат натрия 4, этиловый спирт 95,1. Время растворения засвеченных участков 12 мин, незасвеченных 2 мин. Селективиость 1:6.П р и м е р 5. Аналогично предыдущим опытам подготавливают пленку состава Аз, Яезо толщиной 0,2 мкм. Для формирования рельефа используют травитель, содержащий, 7.: метилат натрия 25, сероуглерод 0,2 и метиловый спирт 74,8. Время растворения облученного участка пленки 0,8 мин, необлученного 12 мин. Селективность 15:1.П р и м е р 6. Аналогично примеру 1 готовят пленку Аз ,Яе 5 толщиной 0,2 мкм. Для формирования рельефа используют травитель, содержащий, 7: сероуглерод 20, метнлат натрия 5, метиловый спирт 75. Время растворения необлученного участка 3,6 мин, облученного 32 мин. Селективность травителя 9:1.П р и м е р 7. Аналогично примеру 1 готовят лленку состава Аз, Яеб Для формирования рельефа используют травитель, содержащий, Ж: этилат натрия 2, сероуглерод 10.и этиловый спирт 88. Время растворения необлученного участка 1,2 мин, облученного 7 мин. Селективность 6 ф 1.