Тонкопленочный подстраиваемый резистор

(19) (111 А З(511 Н О С 7/ОО ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(72) В,П.Бушланов и В.И.Евдокимов (71) Государственный научно-исследовательский институт теплоэнергетичес кого приборостроения(56) 1, Морозов Г.В. и др. Исследова ние процесса электронмпульсной доводки номинала тонкопленочных нихромовых резисторов.-В кн,; Современные металлы и сплавы в приборостроении. М., 1972, с. 19-21.2. Авторское свидетельство СССР326645, кл. Н 01 С 17/00, 1969 (прототип),(54) (57) ТОНКОПЛЕНОЧ 11 Ь 1 Й ПОДСТРАИВАЕМБ 1 Й РЕЗИСТОР, содержащий диэлектрическую подложку с размещенным на нейподстраиваемым резистивным элементоми контактными площадками, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения стабильности номинала резистора путем обеспечения возможности его подстройки после изготовлениярезистора и в процессе его эксплуатации, он снабжен электроискровым планарным электродом, размещенным на диэлектрической подложке и выполненнымс острием, ориентированным на подстраиваемьн резистивный элемент,Заказ 3090/49 Тираж 683 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5ма и ФФилиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в технологии изготовления тонкопленочных подстраиваемых резисторов, используемых, например, в датчиках 5 для настройки термокомпенсирующих цепейИзвестен тонкопленочный подстраиваемый резистор, содержащий расположенные на диэлектрической подложке резистивный элемент и контактные площадки1Недостаток известного тонкопленочного подстраиваемого резистора состоит в нестабильности номинала резистора вследствие погрешности, возникающей при саморазогреве резистивного элемента.Наиболее близким к изобретению техническим решением является тонкопленочный подстраиваемый резистор, содержащий диэлектрическую подложку с размещенным на ней резистивным элементом и контактными площадками 2.Недостаток известного тонкопле 25 ночного подстраиваемого резистора заключается в нестабильности номинала резистора, так как невозможна подстройка после изготовления резистора и в процессе его эксплуатации. ЗОЦель изобретения - повышение стабильности номинала резистора путем обеспечения возможности его подстройки после изготовления резистора и в процессе его эксплуатации. 35Поставленная цель достигается тем, ч,о тонкопленочный подстраиваемый резистор, содержащий диэлектрическую подложку с размещенным на ней подстра иваемым резистивным элементом и кон О тактными площадками, снабжен электро- искровым планарным электродом, размещенным на диэлектрической подложке и выполненным с острием, ориентированным на подстраиваемый резистивныйэлемент,На чертеже схематично изображентонкопленочный подстраиваемый резистор,Тонкопленочный подстраиваемый резистор содержит диэлектрическую подложку 1 с размещенными на ней резистивным элементом 2, контактнымиплощадками 3 и выводами 4. На расстоянии нескольких микрон от резистивногоэлемента 2 на диэлектрической подложке 1 расположен планарный электроискровой электрод 5 с выводом 6.Подстройка номинала резистора осуществляется следующим образом,Прикладывают достаточно высокое напряжение к электроду 5 и к контактнойплощадке 3, например, от заряженногоконденсатора. В результате возникаетэлектрический пробой среды между контактной площадкой 3 и резистивнымэлементом 2, при этом происходит эррозия материала резистивного элемента 2 и изменение его сопротивления.При увеличении плотности тока в канале ра ряда может быть получен дуговой разряд, при этом в резистивномэлементе 2 интенсивно образуется кратер дуги и изменение сопротивлениярезистора. Так как воздействие разряда локальное, а время этого воздействия небольшое, то существенного перегрева резистивного элемента не возникает. Следовательно, сопротивлениерезистора может контролироваться непрерывно в течение всей операции подстройкиИзобретение позволяет упроститьоперацию подстройки тонкопленочныхрезисторов, повысить ее производительность и точность на всех этапах изготовления и эксплуатации тонкопленочныхрезисторов.