Ионный коллектор масс-спектрометра

Номер патента: 1075331

Опубликовано: 23.02.1984

Автор: Коляда

МПК: H01J 49/26

Метки: вторичной, ионно-ионной, компонент, коэффициентов, образца, полупроводникового, эмиссии

...измерения коэффициентов ВИИЭ компонент образца из полу. проводникового материала.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу определения коэффициентов вторичной ионно-ионной эмиссии компонент образца из полупроводникового материала, в котором производят ионную и температурную очистку поверхности образца в условиях высокого вакуума, напускают активный по отношению к поверхности образца газ и измеряют токи первичных и вторичных ионов, проводимость поверхности образца поддерживают заданной путем изменения температуры в диапазоне, в пределах которого происходит адсорбция активного газа.Активность поверхности полупроводников по отношению к газовой среде тесным образом связана с электронной структурой его поверхности и с ее...

Номер патента: 1078502

Опубликовано: 07.03.1984

Авторы: Коляда, Нагорная, Черепин

МПК: H01J 49/26

Метки: вторичной, значения, ионно-ионной, компонент-поверхности, коэффициентов, относительного, твердых, тел, эмиссии

...при постоянном значении тока ионов первичного пучка ионное легирование производят тем же пучком первичных ионов с энергией, превышающей энергию ионов первичного пучка при распылении, при этом длительность масс-анализа устанавливают больше времени прекращения спада тока вторичных ионов с массой, соответствующей массе ионов первичного пучка.На фиг. 1 - 4 представлены варианты масс-спектров и временные зависимости токов (в.и.и.э.).При проведении масс-анализа происходит распыление ионнолегированного слоя, поэтому в спектре в.и.и.э., снятом в момент времени 0 ТсТ, наблюдаются вторичные токи компонент А (пики А, А, Аз, А 4) и вторичный ток 1-, который складывается из двух составляющих - вторичного тока 1 от ионов первичного пучка, легирующих...

Номер патента: 1460747

Опубликовано: 23.02.1989

Авторы: Кузьмин, Саченко

МПК: H01J 49/26, H01J 49/44

Метки: анализа, вторичных, ионов, энерго-масс-спектрометрического, энергомасспектрометрического

...движения черезэнергоанализатор мешающих высокоэнергетических частиц и излучений,а также нейтральной компоненты, корпус 23 масс-анализатора, которыйобычно имеет тот же потенциал, чтои потенциал на оси масс-анализатора, экран 24 энергоанализатора, потенциал которого райен потенциалу анализируемого образца, источник 25 электрического напряжения постоянногс тока, через который средняя точка парабазного выхода высокочастотного генератора соединена с образцом.Работа устройства происходит сле дующим образом.СЖокусированный пучок первичных ионов высокой энергии, обычно 1 О кэв, направляется на поверхность анализируемого образца, Возникающие 15 в области бомбардировки продукты вторичного излучения, в том числе вторичные ионы, интенсивность...

Номер патента: 234735

Опубликовано: 01.01.1969

Автор: Серебр

МПК: G01N 27/60, H01J 49/44

Метки: анализа, заряженных, массе, однородных, частиц, энергетического

...а частицы определеннойэнергии проходят в выходную щель 4 н попадают на коллектор б. 25 1. Устройство для энергетического анализаоднородных по массе заряженных частиц, содержащее источник и коллектор заряхкеццых 30 частиц и цилиндрический конденсатор, от.гггДанное устройство относится к области исследований состава потоков нерелятивистских зарякенных частиц при изучении вторичной эмиссии, термо- и автоэлектронной эмиссии, процессов взаимодействия потоков заряженных частиц с веществом, электромагнитными полями и т. д.Известны устройства для энергетического анализа заряженных частиц, содержащие источник и коллектор заряхкенных частиц и цилиндрический конденсатор,Такие устройства характеризуются небольшой дисперсией по энергии,...

Номер патента: 127339

Опубликовано: 01.01.1960

Автор: Гинцбург

МПК: H05H 9/00

Метки: ионов, линейный, ускоритель, частиц, элементарных

...изменение высокочастотной диэлектрической проницаемости которого осуществляется при помощи электрического поля, создаваемого в волноводе пластинками и совпадающего по направлению с осьо волновода, или гиротропный материал, например феррит, измеене высокочастотной магнитной проницаемости которого осугцествляется вне 1- ним магитным полем.В показанном на чертеже варианте ускорителя в качестве вещества использован феррит, помещенный в ма нтное поле соленоида , состолЛо 127339 щего из нескольких катушек. Число ампервитков на единицу длины в этом соленоиде делается переменным, что создает периодическую структуру поля. В зависимости от технических требований, соленоид 3 может быть выполнен из ряда катушек, отстоян 1 их одна от другой на...