Способ изготовления микроканальных пластин

% 805448, 9.03.79 (п ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРЙО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ АНИЕ ИЗОБ(56) 1. Шаген П, Элкие преобразователи сронным умножением . -в технике передачи иизображений". Т,1"Мс.13-84. свидетельство СССРН 01 3 43/06,отнп).(54)(57) 1, СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯМИКРОКАНАЛЬНЫХ ПЛАСТИН с заданной ориентацией наклона каналов,включающий соединение волокон в многволоконный блок, резку блока на пластины по параллельным плоскостям, есоставляющим с продольной осью блока заданныи угол накпона каналов, и маркировку наклона каналов в пластинах,отличающийся тем,что,сцелью упрощения технологии и повышениякачества пластин и сборок из них, маркировку осуществляют до операции резки путем создания на поверхности или вобъеме по длинеблока по крайней мереодной метки, параллельной продольнойоси блока.1086480 2 Способ по п,1, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что метку создаюг йзменением регулярности структуры микро- канальной пластины за пределами ее рабочей эоны путем изъятия или добавления одного или групп каналов при соединении волокон в блок.3. Способ по пп.1 и 2, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что резку блока осуществляюг по плоскостям, перпендикулярным плоскости, проходящей через продольную ось блока и метку.4. Способ по пп.1 и 2, о т л ич а ю щ и Я с я тем, что резку блока осуществляюг по плоскостям, наклоненным относительно плоскости, проходящей Изобретение относится к технологии производства электровакуумных приборов (ЭВП).Известен способ изготовления микро- канальных пластин (МКП), включающий 5 операции перетяжки волокон (попых или содержаших растворимый сердечник из металла или стекла), их укладки и сцекания в многовопоконные блоки, резки бло ков на отдельные пластины, кругления,1 О шлифовки и полировки пластин, формирования вторично-эмиссионных слоев в кана лах и нанесения проводяших электродов на торцовые поверхности. При этом дпя уМеньшения обратных связей в ЭВП ис 15 псаьзуют МКП с наклонными каналами. Для этого при изготовлении МКП много- волоконные блоки рвэрезаюг по параллельным плоскостям, наклоненным к оси блока, причем обычно угол между осью20 каналов и торцовой поверхностью попуо чаемых пластин составляет 75-85 Сф.Недостатком этого способа изготовления МКП является то, что на готовой25 пластине направление наклона каналов неизвестно, Это затрудняет испопьзование МКП и ЭВП, в которых необходимо ориеи тировать пластины с наклонными каналами определенным образом (например, в усилителе изображения - ориентировать относительно фотоквтода и экрана,в фЭУ и ВЭУ с шевронной сборкой МКП- ориентировать две пластины отнобительно друг друга). При использовании МКП с наклонными каналами в таких прибо- З 5 через продольную ось блока и метку,на угол, равный заданному углу наклонаканалов в пластинах.5, Способ по цп, 1и 2, о т л ич а ю щ и й с я тем, что на наружнойповерхности и/или в объеме блока создают две метки различного профилятак, что, взятые,попарно с продольнойосью блока, они располагаются в несовпадающих ппоскостях,6. Способ по пп. 1-5, о т л и -ч в ю щ и й с я тем, что при последовательной резке нескольких блоков плоскость резки ориентируют одинаковым образом относительнометок каждого из блокове 2рах необходимо определять направлениенаклона каналов в каждой из пластин инаносить на них какие-либо метки, чтовесьма усложняет производство.Наиболее бпизким техническим решением к изобретению является способ изготовления МКП, включающий соединение волокон в многовопоконный блок, резку блока на пластины по параллельнымппоскостям, составляющим с цродопьнойосью бпока заданный угол наклона канала, и маркировку наклона каналов впластинах (2,При нанесении метки на пластину поизвестному способу пластину устанавливают на цути светового потока в калиброванной оптической системе и вращают вплоть до максимального отклоненияодной из осей калибровочного креста,расположенного перед пластиной, от соответствующей оси креста окуляра, после чего напластине устанавливают метку в точкепересечения окружности пластины с другой осью креста.ФОднако процесс ведется отдельно дпякаждой пластины, что значительно повышает трудоемкость изготовления МКП.Возможна значительная неточность в определении направления наклона каналов,связанная с неточностью юстировки оптической системы и определения максимального отклонения оси калибровочного реста, Во время определения наклона капанвлов (и, в частности, в процессе вращения пластины) велика вероятность загряз3 1086нения поверхностей и каналов МКП, атакже ухудшения качества торцовых поверхностей пластины, которые должныбыть хорошо отполированы, не иметь рисок, потертостей, загрязнений и т.п.Целью изобретения является упрощение технологии и повышение качествапластин и сборок из них.Укаэанная цель достигается тем, чтосогласно способу изготовления микроканальных пластин с заданной ориентацией наклона каналов, включающему соединение волокон в многоволоконныйблок, резку блока на пластины по параллельным плоскостям, составляющим спродольной осью блока заданный уголнаклона каналов, и маркировку наклонаканалов в пластинах, маркировку осуществляют до операции резки путем создания на поверхности или в объеме по длине бпока по крайней мере одной метки,параллельной продольной оси блока.В частности метку создают изменением регулярности структуры микрокаиальноя пластины за пределами ее рабочей эоны путем изъятия или добавленияодного или групп каналов при содиненииволокон в блок,Резку блока осуществляют по плоскостям, перпендикулярным плоскости,проходящей через продольную ось блокаи метку.В другом варианте резку осуществляют по плоскостям, наклоненным относительно плоскости, проходящей через продольную ось блока и метку, на угоп,равный заданному углу наклона каналовв пластинах.В варианте способа на наружной поверхности и/или в объеме блока создают две метки различного профиля так,что, взятые попарно с продольной осьюблока, они располагаются в несовпадаюших плоскостях,При последовательной резке нескольких блоков плоскость резки ориентируют .одинаковым образом относительно метоккаждого из блоков. На фиг.1 показан общий случай изготовления МКП с меткой по предлагаемо- му способу, аксонометрии; на фиг,2 -, соответствующая ортогональная проекция; на фиг.З и 4 - варианты предлагаемого способа, различающиеся,ориентацией плоскости резки многоволоконного блока; .на фиг,5 - вариант способа с двумя метками; на фиг. 6 -варианты об480 4разования,меток в объеме многовопоконного блок.Многоволоконный блок 1 (см.фиг.1и 2), собранный, например, иэ большого5 чиспа отдельных вапокон, имеет в сеченииформу круга. Вдопь его наружной поверхности наносят продольную метку, напри-мер в виде лыски 2. Затем блок режутпо параллельным плоскостям 3-5, наклоненным к продольной оси блока ОХ подзадайным углом наклона канала оС, йапримц о =80 . Части многовопоконного блока 1, полученные после его резки (например, части 6 и 7), проходят затем15 общеизвестные операции при изготовлении МКП; кругление, шлифовка, полировка, нанесение электродов и т,д. При достаточной глубине лыски 2 на блоке 1поспе кругления и других операций на0 боковой поверхности пластины сохраняются лыски 2, одинаково ориентированные у всех пластин относительно плоскости наклона каналов в МКППо варианту изготовления пластин(фиг,З) после сбразования на. поверхности блока Т метки 8,например ввиде лыски, параллельной оси 0 блока,блок 1 разрезают по плоскостям 9-11,наклоненным к оси блока под углом накло 30 на м. и перпендикулярным плоскости проходящей через ось блока Ои метку 8(т,е. по плоскостям, перпендикулярнымплоскости данной фигуры). МКП, образованные иэ участков 12 и 13 блока 1, З 5 имеют метки в виде лыски 8, причемэти метки находятся совместно с осямипластин в плоскости, параллельной плоскости наклона каналов пластин.По другому варианту изготовления 40 МКП с метками (фиг,4) на поверхностимноговопоконного блока 1 образуютметку 14 (например, в виде глубокойриски), параллельную продольной осиблока, а затем блок 1 разрезают по па раллельным плоскОстям 15-17, наклоненным к оси блока и к плоскости, содержащей эту ось и метку 14, на заданныйугол наклона каналов оС . МКП, образованные из участков 18 и 19 блока 1, 50 имеют метки 14 в виде рисок, причемэти метки находятся совместно с осямипластин в плоскости, перпендикулярнойплоскости наклона каналов пластин.По варианту изготовления МЕП с двумяметками .(фиг,5) на поверхности многоволоконного блока 1 создают метку 20, например в виде лыски, и метку другого про;филя 21 в виде, например, риски. Причем мет1086480 ьки параллельны оси блока 1 и, взятые по"- лярной ему горизонтальной плоскостипарно, с этой осью находятся, например, в двух направлениях; продольном - напревв перпендикулярных плоскостях. Затем ление, перпендикулярное плоскости ножа,блок 1 разрезают по параллельным плос- и поперечном - направление вдоль ножакостям 22-24, наклоненным к продольная 5 (параллельно его плоскости),оси блока 1 на заданный угол наклона Перед операцией резки блок с нанеканалов ос, МКП, образованные иэ учас сенной на его, боковой поверхйости проков 25 и 26 блока 1, имеюткаждая дольной меткой закрепляют (наклеивают)две метки: в виде лыски 20 и риски 21. торцовой поверхностью на оправке таПри этом метки 20 находятся совместно ким образом, что центр симметрии (или10с осями пластин в плоскости, параллель центр тяжести) торцовой поверхностиной плоскости наклона канвпов, а взаимное блока и метка находятся на горизонтальрасположение меток 21 и 20 однозначно ной прямой, параллельной поверхностиопределяет расположение торцовых по- технологического стола.для этого передверхностейпластин. В совокупности меъ. 15 закреплением бпока на его торцовойки 20 и 21 указывают не только .плос-поверхности наносят риску, соединяющуюкость, но и направление наклона каналов центр симметрии торцовой поверхностив МКП. блока и метку, а при закреплении блокаНв фиг. 5 показан вариант создания в оправке укаэанную риску совмещаютпродольных меток на примере МКП с 20 с рискоя, нанесенной по вертикальнойобрамлением из монолитного стекла. Для поверхности оправки. Оправку с эакрепэтого в процессе укладки отдельных во- ленным на ней блоком развертывают влокон в многоволоконном блоке 27 из- горизонтальной плоскости так, что уголменяют регулярность укладки отдельных между продольной осью блока и направвопокон, например, путем укладки допоп- лением прс,дального перемещения техно 25нительного вацокна (или нескольких воло- логического стола равен заданному углукон) 28 ипи пропуска 29 в укладке наклона каналов МКП. Развернутый наволокон. После этого многоволоконный заданный угол наклона блок поступатель- .блок обжимают цилиндром из монолитного ным перемещением технологическогостекла 30, что закрепляет структуру с З 0 стола в поперечном направлении разреметками 27-28, параллельными валок- звют. После этого перемещают техналоюм блока. Иосле резки такого блока по гический стол с блоком в продольном на-,параллельным ппоскостям, наклоненным к правлении под нбж на расстояние, равноепродольной оси блока, образуются пласти- толщине МКП (с припуском на последуюны, на торцовых поверхностях которых З 5 щие шлифовку и полировку) и повторяютимеются метки 27 и 28, одинаково ориен- резку блока, для чего снова перемещаюттированные к направлению наклона кана- технологический стол с блоком в попелов в пластинах. речном направлении и т.д.При сборке МКП с метками, указываю- Данный способ обеспечивает упрощещими наклон каналов, в шевронные кон ние технологии и повышение качестваструкции достаточно развернуть их меч- МКП. В частности, повышается точность .ками в противоположные стороны или со маркировки наклона каналов в МКП, так . вместить эти метки (в зависимости от . как маркировка ведется не отдельно для принятого варианта нанесения меток каждой пластины, а обеспечивается прас на многоволоконный блок и резки блока), 45 тыми технологическими операциями, одМноговолоконный блок разрезают на новременно для всех изготавливаемых иэ станке который содержит вертикально данного блока пластин. В результате этоЭрасположенный алмазный нож и горизон- го точность маркировки наклона в МКПалька сположенный технологический фактически оказывается сравнимой с точстоп где размещено поворотное приспо ностью выполнения заданного наклонаВсобление с оправкой для крепления блока, каналов при резке блока. Кроме того, испричем на вертикальной поверхности оп- ключаются загрязнения и ухудшение каеется риска параплельная плос- чества поверхности МКП, которые возкости технологического стола. Техноло- можны при известных способах, а также гический стол имеет воэможность пе- й т воэможность пе облегчается Сборка пластин в "шевмещения относительно ножа в перпендику роран"..Над Зак ираж 683ударствеиного комизобретений, и открытсква, Ж, Рауш одписное Фютиал ППГ 1 Патентф, г.Ужгород, уаЛроектная.Т ВНИИПИ Гос по дедам 1.23035, Моета СССР ийкаа наб., д.4/5